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高精度标准镜支撑结构的研究与设计

丁玲 王涛 杨洪波 贾宏光

丁玲, 王涛, 杨洪波, 贾宏光. 高精度标准镜支撑结构的研究与设计[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(4): 1172-1175.
引用本文: 丁玲, 王涛, 杨洪波, 贾宏光. 高精度标准镜支撑结构的研究与设计[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(4): 1172-1175.
Ding Ling, Wang Tao, Yang Hongbo, Jia Hongguang. Investigation and design for structure of high-precision reference mirror[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(4): 1172-1175.
Citation: Ding Ling, Wang Tao, Yang Hongbo, Jia Hongguang. Investigation and design for structure of high-precision reference mirror[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(4): 1172-1175.

高精度标准镜支撑结构的研究与设计

基金项目: 

中国科学院“三期”创新工程

详细信息
    作者简介:

    丁玲(1987- ),女,博士生,主要从事精密机械结构设计方面的研究。Email:dingling7891@126.com;杨洪波(1963- ),男,硕士,研究员,博士生导师,主要从事光机电集成计算机辅助工程技术的研究。Email:yanghb@vip.163.com

    丁玲(1987- ),女,博士生,主要从事精密机械结构设计方面的研究。Email:dingling7891@126.com;杨洪波(1963- ),男,硕士,研究员,博士生导师,主要从事光机电集成计算机辅助工程技术的研究。Email:yanghb@vip.163.com

  • 中图分类号: TH703

Investigation and design for structure of high-precision reference mirror

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  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2013-08-21
  • 修回日期:  2013-09-24
  • 刊出日期:  2014-04-25

高精度标准镜支撑结构的研究与设计

    作者简介:

    丁玲(1987- ),女,博士生,主要从事精密机械结构设计方面的研究。Email:dingling7891@126.com;杨洪波(1963- ),男,硕士,研究员,博士生导师,主要从事光机电集成计算机辅助工程技术的研究。Email:yanghb@vip.163.com

    丁玲(1987- ),女,博士生,主要从事精密机械结构设计方面的研究。Email:dingling7891@126.com;杨洪波(1963- ),男,硕士,研究员,博士生导师,主要从事光机电集成计算机辅助工程技术的研究。Email:yanghb@vip.163.com

基金项目:

中国科学院“三期”创新工程

  • 中图分类号: TH703

摘要: 为了保证高精度光学元件面形检测精度,必须对干涉仪标准镜自身的面形精度进行严格控制。在考虑标准镜自重的情况下,采用有限元方法研究了不同胶点数量及分布形式、不同的镜框支撑方式对参考面面形精度的影响。根据研究结果,针对球面标准镜面形精度要优于/40的要求,设计了口径150mm的标准镜的支撑方式,采用123点胶接、镜框底面六点的挠性支撑方式,经有限元分析得到:参考面面形的PV值为7.36nm,RMS值为1.52nm;并验证了温度变形较自重变形很小。结果表明,各项指标满足设计要求,证明了结构设计的合理性。

English Abstract

参考文献 (19)

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