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几种紫外薄膜材料的光学及损伤特性分析

张乾 焦宏飞 程鑫彬 马彬 季一勤

张乾, 焦宏飞, 程鑫彬, 马彬, 季一勤. 几种紫外薄膜材料的光学及损伤特性分析[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(4): 1230-1234.
引用本文: 张乾, 焦宏飞, 程鑫彬, 马彬, 季一勤. 几种紫外薄膜材料的光学及损伤特性分析[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(4): 1230-1234.
Zhang Qian, Jiao Hongfei, Cheng Xinbin, Ma Bin, Ji Yiqin. Analysis of optical and damage properties for several ultraviolet thin film materials[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(4): 1230-1234.
Citation: Zhang Qian, Jiao Hongfei, Cheng Xinbin, Ma Bin, Ji Yiqin. Analysis of optical and damage properties for several ultraviolet thin film materials[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(4): 1230-1234.

几种紫外薄膜材料的光学及损伤特性分析

基金项目: 

国家自然科学基金青年基金(61008030,61108036)

详细信息
    作者简介:

    张乾(1987- ),男,硕士生,主要从事紫外-可见-近红外光学薄膜方面的研究。Email:96zhangqian@tongji.edu.cn;焦宏飞(1982- ),男,博士,讲师,主要从事薄膜光学及光子晶体相关方面的研究。Email:jiaohf@tongji.edu.cn

    张乾(1987- ),男,硕士生,主要从事紫外-可见-近红外光学薄膜方面的研究。Email:96zhangqian@tongji.edu.cn;焦宏飞(1982- ),男,博士,讲师,主要从事薄膜光学及光子晶体相关方面的研究。Email:jiaohf@tongji.edu.cn

  • 中图分类号: O484

Analysis of optical and damage properties for several ultraviolet thin film materials

  • 摘要: 为进一步改善大型固体激光器3倍频用薄膜的光学及损伤特性,利用不同的测试方法系统对比研究了电子束蒸发方式制备的几种紫外薄膜的光学常数、晶体结构、表面粗糙度以及弱吸收和其激光损伤特性间的相互关系。研究表明:薄膜的弱吸收和其禁带宽度共同制约了其激光损伤阈值,而薄膜因晶相结构的产生而增大的表面粗糙度对其激光损伤阈值无影响。大弱吸收的薄膜其损伤表现为非常微小的吸收点向外扩张构成的较大的破坏点,而低弱吸收的薄膜其损伤则表现为瞬间吸收引起大的损伤。
  • [1] Yuan Jingmei, Tang Zhaosheng, Qi Hongji, et al. Analysis of optical property for several ultraviolet thin film materials[J]. Acta Optica Sin, 2003, 23(8): 984-988. (in Chinese) 袁景梅, 汤兆胜, 齐红基, 等. 几种紫外薄膜材料的光学常 数和性能分析[J]. 光学学报, 2003, 23(8): 984-988.
    [2]
    [3] Ji Yiqin, Liu Huasong, Zhang Yanmin. Test and analysis of optical film constants [J]. Infrared and Laser Engineering, 2006, 35(5): 513-518. (in Chinese) 季一勤, 刘华松, 张艳敏. 光学薄膜常数的测试与分析[J]. 红外与激光工程, 2006, 35(5): 513-518.
    [4]
    [5] Stolz C, Caputo M, Griffin A, et al. BDS thin film UV antireflection laser damage competition [C]//SPIE, Laser-Induced Damage in Optical Materials, 2010, 7842: 784206-784206.
    [6]
    [7]
    [8] Ji Yiqin, Cui Yuping, Liu Huasong, et al. Test and analysis of optics thin film loss[J]. Infrared and Laser Engineering, 2008, 37(3): 505-508. (in Chinese) 季一勤, 崔玉平, 刘华松, 等. 光学薄膜的损耗测试与分析[J]. 红外与激光工程, 2008, 37(3): 505-508.
    [9] Stenzel O, Wilbrandt, Yulin S, et al. Plasma ion assisted deposition of hafnium dioxide using argon and xenon as process gases [J]. Optical Material Express, 2011, 1 (2): 278-292.
    [10]
    [11] Thielsch R, Gatto A, Heber J, et al. A comparative study of the UV optical and structural properties of SiO2, Al2O3, and HfO2 single layers deposited by reactive evaporation, ion-assisted deposition and plasma ion-assisted deposition [J]. Thin Solid Films, 2002, 410(1-2): 86-93.
    [12]
    [13] Liu M, Lee C, Kaneko M, et al. Influence of ion assistance on LaF3 films deposited by molybdenum boat evaporation[J]. Applied Optics, 2012, 51(15): 2865-2869.
    [14]
    [15]
    [16] Thielsch R, Duparre A, Schulz U, et al. Properties of SiO2 and Al2O3 films for use in UV optical coatings [C]//SPIE, Optical Thin Films V, 1997, 3133: 183.
    [17]
    [18] Ma B, Ding T, Jiao H, et al. LIDT of HfO2/SiO2 HR films by different test modes at 1064nm and 532 nm [C]//SPIE, Laser-Induced Damage in Optical Materials, 2010, 7842: 78420E-11.
    [19] Jiao H, Cheng X, Lu J, et al. Effects of substrate temperatures on the structure and properties of hafnium dioxide films[J]. Applied Optics, 2011, 50(9): C309-C315.
    [20]
    [21]
    [22] Lu Jiangtao, Cheng Xinbin, Shen Zhengxiang, et al. Volume and interface absorptions of single layer [J]. Acta Phys Sin, 2011,60(4): 047802. (in Chinese) 鲁江涛, 程鑫彬, 沈正祥, 等. 单层膜体吸收与界面吸收研 究[J]. 物理学报, 2011,60(4): 047802.
    [23] Tian Junlin, Shen Lin, Zhang Yundong, et al. Research progress of deep-ultraviolet optical coatings [J]. Optical Manufacture, 2009(3): 50-56. (in Chinese) 田俊林, 申林, 张云洞, 等. 深紫外波段光学薄膜研究进展[J]. 激光与光电子学进展, 2009(3): 50-56.
  • [1] 陆健, 谢知健, 张宏超.  连续激光辐照硅太阳电池损伤特性的光束诱导电流表征 . 红外与激光工程, 2022, 51(2): 20220022-1-20220022-8. doi: 10.3788/IRLA20220022
    [2] 王锐东, 马军, 王成龙, 俞天智.  线性菲涅尔式聚光集热系统研究进展 . 红外与激光工程, 2021, 50(11): 20210452-1-20210452-19. doi: 10.3788/IRLA20210452
    [3] 王劲凯, 孟立新, 张立中, 王佳男, 张暾.  次镜支撑结构硬涂层阻尼减振设计与仿真 . 红外与激光工程, 2021, 50(12): 20210344-1-20210344-9. doi: 10.3788/IRLA20210344
    [4] 夏盛强, 蔡继兴, 张潇允, 辛潮, 李婧祎, 金光勇.  毫秒-纳秒组合脉冲激光辐照熔石英的温度场应力场数值分析 . 红外与激光工程, 2021, 50(S2): 20200415-1-20200415-9. doi: 10.3788/IRLA20200415
    [5] 常浩, 陈一夫, 周伟静, 郭威.  纳秒激光脉冲辐照太阳能电池损伤特性及对光电转化的影响 . 红外与激光工程, 2021, 50(S2): 20210296-1-20210296-8. doi: 10.3788/IRLA20210296
    [6] 郑天然, 王方, 孙喜博, 胡东霞.  基于光场分布特性分析的高功率激光吸收体设计方法研究 . 红外与激光工程, 2019, 48(10): 1005010-1005010(6). doi: 10.3788/IRLA201948.1005010
    [7] 吴朱洁, 潘云香, 赵竞元, 陆健, 沈中华, 倪晓武.  毫秒激光辐射K9玻璃的激光损伤研究 . 红外与激光工程, 2019, 48(8): 805005-0805005(8). doi: 10.3788/IRLA201948.0805005
    [8] 黄国俊, 陆益敏, 程勇, 田方涛, 米朝伟, 万强.  脉冲激光沉积法制备红外光学SiC薄膜特性研究 . 红外与激光工程, 2019, 48(7): 742003-0742003(5). doi: 10.3788/IRLA201948.0742003
    [9] 张明鑫, 聂劲松, 孙可, 韩敏.  组合激光辐照单晶硅的热作用数值分析 . 红外与激光工程, 2018, 47(11): 1106011-1106011(8). doi: 10.3788/IRLA201847.1106011
    [10] 马宏平, 程鑫彬, 张锦龙, 王占山, 唐永建.  不同工艺制备的人工节瘤的损伤生长特性 . 红外与激光工程, 2017, 46(5): 521001-0521001(6). doi: 10.3788/IRLA201746.0521001
    [11] 徐均琪, 苏俊宏, 葛锦蔓, 基玛 格拉索夫.  光学薄膜激光损伤阈值测量不确定度 . 红外与激光工程, 2017, 46(8): 806007-0806007(7). doi: 10.3788/IRLA201746.0806007
    [12] 王玺, 方晓东.  KrF激光和脉冲CO2激光损伤K9玻璃的实验对比与分析 . 红外与激光工程, 2016, 45(12): 1206009-1206009(5). doi: 10.3788/IRLA201645.1206009
    [13] 赵阳, 何宇, 焦宏飞, 张锦龙, 程鑫彬, 刘华松, 李刚正, 吴晓鸣.  铥激光器腔镜用高损伤阈值氧化物薄膜的研制 . 红外与激光工程, 2016, 45(5): 521001-0521001(5). doi: 10.3788/IRLA201645.0521001
    [14] 潘永强, 田爱玲, 杭凌侠.  单层二氧化钛薄膜的偏振散射特性 . 红外与激光工程, 2015, 44(10): 3015-3019.
    [15] 阿卜杜萨拉木.图尼亚孜, 程鑫彬, 鲍刚华, 焦宏飞, 王占山.  偏振分光膜中节瘤的激光损伤特性 . 红外与激光工程, 2015, 44(8): 2461-2466.
    [16] 林红雪, 朱晨光, 李敏, 汪海珍.  薄膜型低燃温红外诱饵的辐射性能研究 . 红外与激光工程, 2014, 43(10): 3193-3198.
    [17] 周炜, 欧阳程, 吴敬, 高艳卿, 黄志明.  锰钴镍铜氧薄膜红外探测器制备与性能研究 . 红外与激光工程, 2014, 43(4): 1073-1079.
    [18] 梁巍巍, 殷瑞光, 李慧, 赵宏鹏, 张文攀.  激光损伤四象限探测器对制导武器的影响 . 红外与激光工程, 2013, 42(10): 2672-2676.
    [19] 刘士军, 李钱陶, 熊长新, 杨长城.  用于红外光学窗口的多层保护膜 . 红外与激光工程, 2013, 42(1): 185-189.
    [20] 李修, 王瑜, 徐艳芳, 冉军, 莫黎昕, 李路海.  柔版印刷金属网栅光电性能研究 . 红外与激光工程, 2013, 42(12): 3295-3299.
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-08-05
  • 修回日期:  2013-09-03
  • 刊出日期:  2014-04-25

几种紫外薄膜材料的光学及损伤特性分析

    作者简介:

    张乾(1987- ),男,硕士生,主要从事紫外-可见-近红外光学薄膜方面的研究。Email:96zhangqian@tongji.edu.cn;焦宏飞(1982- ),男,博士,讲师,主要从事薄膜光学及光子晶体相关方面的研究。Email:jiaohf@tongji.edu.cn

    张乾(1987- ),男,硕士生,主要从事紫外-可见-近红外光学薄膜方面的研究。Email:96zhangqian@tongji.edu.cn;焦宏飞(1982- ),男,博士,讲师,主要从事薄膜光学及光子晶体相关方面的研究。Email:jiaohf@tongji.edu.cn

基金项目:

国家自然科学基金青年基金(61008030,61108036)

  • 中图分类号: O484

摘要: 为进一步改善大型固体激光器3倍频用薄膜的光学及损伤特性,利用不同的测试方法系统对比研究了电子束蒸发方式制备的几种紫外薄膜的光学常数、晶体结构、表面粗糙度以及弱吸收和其激光损伤特性间的相互关系。研究表明:薄膜的弱吸收和其禁带宽度共同制约了其激光损伤阈值,而薄膜因晶相结构的产生而增大的表面粗糙度对其激光损伤阈值无影响。大弱吸收的薄膜其损伤表现为非常微小的吸收点向外扩张构成的较大的破坏点,而低弱吸收的薄膜其损伤则表现为瞬间吸收引起大的损伤。

English Abstract

参考文献 (23)

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