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量子阱红外探测器双面金属光栅设计优化

周州 耿红艳 刘杰涛 许斌宗 胡海峰 宋国峰 徐云

周州, 耿红艳, 刘杰涛, 许斌宗, 胡海峰, 宋国峰, 徐云. 量子阱红外探测器双面金属光栅设计优化[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(5): 1375-1379.
引用本文: 周州, 耿红艳, 刘杰涛, 许斌宗, 胡海峰, 宋国峰, 徐云. 量子阱红外探测器双面金属光栅设计优化[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(5): 1375-1379.
Zhou Zhou, Geng Hongyan, Liu Jietao, Xu Binzong, Hu Haifeng, Song Guofeng, Xu Yun. Design and optimization of dual-side metal grating for quantum well infrared photodetector[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(5): 1375-1379.
Citation: Zhou Zhou, Geng Hongyan, Liu Jietao, Xu Binzong, Hu Haifeng, Song Guofeng, Xu Yun. Design and optimization of dual-side metal grating for quantum well infrared photodetector[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(5): 1375-1379.

量子阱红外探测器双面金属光栅设计优化

基金项目: 

国家自然科学基金(61036010,61177070);国家重点基础研究发展计划(2011CBA00608,2012CB619203);国家科技重大专项计划项目(2011ZX01015-001);北京市自然科学基金(4112058)

详细信息
    作者简介:

    周州(1987-),男,硕士生,主要从事量子阱红外探测器方面的研究。Email:zhouz@semi.ac.cn

  • 中图分类号: TN215

Design and optimization of dual-side metal grating for quantum well infrared photodetector

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出版历程
  • 收稿日期:  2013-09-02
  • 修回日期:  2013-10-12
  • 刊出日期:  2014-05-25

量子阱红外探测器双面金属光栅设计优化

    作者简介:

    周州(1987-),男,硕士生,主要从事量子阱红外探测器方面的研究。Email:zhouz@semi.ac.cn

基金项目:

国家自然科学基金(61036010,61177070);国家重点基础研究发展计划(2011CBA00608,2012CB619203);国家科技重大专项计划项目(2011ZX01015-001);北京市自然科学基金(4112058)

  • 中图分类号: TN215

摘要: 提出了一种增强量子阱红外探测器耦合效率的双面金属光栅结构。采用三维时域有限差分算法(3D-FDTD)对GaAs/AlGaAs 量子阱红外探测器双面结构金属光栅进行了仿真分析。通过对比不同周期、占空比、金属层厚度结构参数下探测器的电场分布及相对耦合效率,确定了4.8 m 探测器优化的双面金属光栅结构。与顶部和底部单层金属光栅结构比较,双面金属光栅结构探测器相对耦合效率提高到3 倍以上。探测器相对耦合效率随光栅周期变化的双峰曲线特性体现了双面金属光栅结构在双色量子阱红外探测器光耦合方面的潜力。同时该结构还可以应用于单色、双色及多色量子阱焦平面红外探测器。

English Abstract

参考文献 (19)

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