大口径反射镜子孔径拼接自检验精度分析

闫力松; 王孝坤; 郑立功; 王润强; 张学军

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

大口径反射镜子孔径拼接自检验精度分析

闫力松, 王孝坤, 郑立功, 王润强, 张学军

文章导航 > 红外与激光工程 > 2014 > 43(6): 1920-1924

闫力松, 王孝坤, 郑立功, 王润强, 张学军. 大口径反射镜子孔径拼接自检验精度分析[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(6): 1920-1924.

引用本文:

闫力松, 王孝坤, 郑立功, 王润强, 张学军. 大口径反射镜子孔径拼接自检验精度分析[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(6): 1920-1924.

Yan Lisong, Wang Xiaokun, Zheng Ligong, Wang Runqiang, Zhang Xuejun. Large-diameter mirror stitching accuracy analysis based on self-test[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(6): 1920-1924.

Citation:

Yan Lisong, Wang Xiaokun, Zheng Ligong, Wang Runqiang, Zhang Xuejun. Large-diameter mirror stitching accuracy analysis based on self-test[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(6): 1920-1924.

大口径反射镜子孔径拼接自检验精度分析

1.
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,吉林长春 130033;
2.
中国科学院大学,北京 100049;
3.
长春奥普光电技术股份有限公司,吉林长春 130033

基金项目:

国家自然科学基金（61036015）;国家高技术研究发展计划（O8663NJ090）

详细信息

作者简介:
闫力松（1988-），男，博士生，主要从事光学检测技术方面的研究。Email：yanlisong1988@163.com

中图分类号: O439;O436.1

Large-diameter mirror stitching accuracy analysis based on self-test

1.
Key Laboratory of Optical System Advanced Manufacturing Technology,Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China;
2.
University of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100049,China;
3.
Changchun UP Optotech Co.Ltd,Changchun 130033,China

摘要: 为了解决大口径反射镜子孔径拼接精度评价的问题，提出了自检验的子孔径拼接精度分析方法，实现了对大口径反射镜拼接精度的分析评价，同时提供了一种拼接精度检测方法。自检验即利用子孔径检测面形对拼接获得的拼接结果进行拼接精度检验。讨论了相应的精度评价指标及计算方法，并结合工程实例，利用600 mm 干涉仪实现了对800 mm 平面镜的拼接测量。以自检验的评价方式对拼接精度进行了分析，结果表明，拼接结果是准确的，同时验证了以自检验方式评价拼接精度的可靠性与准确性。
- 光学检测 /
- 精度分析 /
- 大口径反射镜 /
- 子孔径拼接 /
- 自检验
Abstract: In order to solve the problem evaluating the stitching accuracy of large-diameter reflecting mirror, a kind of stitching accuracy evaluating method called self-test was proposed in the article, realizing the analysis and evaluation to the stitching accuracy of large-diameter reflector mirror, while providing a method measuring the stitching precision. Self-test was a kind of method testing the accuracy of stitching result with sub-aperture measuring result. In the article, relative accuracy evaluation indexes and their calculation methods were discussed. As a project example, 800 mm plane mirror was splicing measured with a 600 mm interferometer and stitching accuracy was evaluated with the self-test method. It shows that the stitching is accurate and it's reliable and precise to assess stitching accuracy by the way of self-test at the same time.
- optical testing /
- accuracy analysis /
- large mirror /
- sub-aperture stitching /
- self-test

[1]	Thun en J G, Kwon O Y. Full aperture testing with subaperture test optics[C]//SPIE, 1982, 351: 19-27.
[2]
[3]
[4]	Chow W W, Lawrence G N. Method for subaperture testing interferogram reduction[J]. Opt Lett, 1983, 8: 468-470.
[5]
[6]	Jeson S C, Chow W W, Lawrence G N. Subaperture testing approaches: a comparison[J]. Appl Opt, 1984, 23: 740-745.
[7]	Stuhlinger T W. Subaperture optical testing: experimental verification[C]//SPIE, 1968, 656: 118-127.
[8]
[9]
[10]	Chen Shanyong, Li Shengyi, Dai Yifan. Iterative algorithm for subaperture stitching interferometry for general surfaces[J]. J Opt Soc Am A, 2005, 22(9): 1929-1936.
[11]	Chen Shanyong, Li Shengyi, Dai Yifan, et al. Iterative algorithm for subaperture stitching test with spherical interferometers[J]. J Opt Soc Am A, 2006, 23(5):1219-1226.
[12]
[13]	Wang Q, Chen J B, Zhu R H, et al. A new technique for testing large optical flat[C]//SPIE, 1993, 2003: 389-397.
[14]
[15]	Peng Su. Absolute measurements of large mirrors[D]. USA: The University of Arizona, 2008.

[1]	王孝坤, 戚二辉, 胡海翔, 苏航, 李凌众, 王晶, 罗霄, 张学军. 超大口径平面反射镜的光学检测（特邀） . 红外与激光工程, 2022, 51(1): 20210953-1-20210953-7. doi: 10.3788/IRLA20210953
[2]	牛龙飞, 蒋一岚, 苗心向, 姚彩珍, 吕海兵, 周国瑞. 大口径反射镜表面颗粒物洁净度控制实验研究 . 红外与激光工程, 2021, 50(12): 20210117-1-20210117-7. doi: 10.3788/IRLA20210117
[3]	秦铭泽, 胡源, 贺文俊, 郑阳, 储雨豪, 袁夕尧, 李文轩. 裂像镜在激光测距机离焦检测中的应用 . 红外与激光工程, 2021, 50(10): 20200454-1-20200454-6. doi: 10.3788/IRLA20200454
[4]	李彬, 雷宏杰. 机载光学大气数据系统数据反演精度分析 . 红外与激光工程, 2021, 50(8): 20200429-1-20200429-6. doi: 10.3788/IRLA20200429
[5]	王晶, 王孝坤, 胡海翔, 李凌众, 苏航. 夏克哈特曼扫描拼接检测平面镜(特邀) . 红外与激光工程, 2021, 50(10): 20210527-1-20210527-7. doi: 10.3788/IRLA20210527
[6]	闫力松, 张斌智, 王孝坤, 黎发志. 平面镜子孔径加权拼接检测算法(特邀) . 红外与激光工程, 2021, 50(10): 20210520-1-20210520-6. doi: 10.3788/IRLA20210520
[7]	相超, 王道档, 窦进超, 孔明, 刘璐, 许新科. 光学偏折子孔径拼接面形检测技术 . 红外与激光工程, 2021, 50(11): 20210105-1-20210105-7. doi: 10.3788/IRLA20210105
[8]	黄宇飞, 白绍竣, 高冀, 吕争, 徐嘉. 大口径空间光学反射镜面形动力学响应分析 . 红外与激光工程, 2019, 48(11): 1114001-1114001(6). doi: 10.3788/IRLA201948.1114001
[9]	闫公敬, 张宪忠. 子孔径拼接检测凸球面技术研究 . 红外与激光工程, 2016, 45(5): 517002-0517002(4). doi: 10.3788/IRLA201645.0517002
[10]	闫公敬, 张宪忠. 基于最大似然估计算法的子孔径拼接检测技术 . 红外与激光工程, 2015, 44(7): 2206-2210.
[11]	戚二辉, 罗霄, 李明, 郑立功, 张学军. 五棱镜扫描技术检测大口径平面镜的误差分析 . 红外与激光工程, 2015, 44(2): 639-646.
[12]	安其昌, 张景旭, 杨飞, 张科欣. 基于结构函数的子孔径拼接算法研究 . 红外与激光工程, 2015, 44(3): 929-933.
[13]	王孝坤. 异形口径离轴非球面光学加工与测试技术 . 红外与激光工程, 2014, 43(9): 2959-2963.
[14]	杨皓聿, 田爱玲, 刘丙才. 大口径抛物面镜子孔径拼接测量 . 红外与激光工程, 2014, 43(4): 1296-1300.
[15]	邓万涛, 汪凯巍, 白剑, 张金春. 高精度子孔径拼接中参考面误差的去除方法 . 红外与激光工程, 2014, 43(4): 1194-1199.
[16]	闫公敬, 张宪忠, 李柱. 子孔径拼接检测光学平面反射镜技术 . 红外与激光工程, 2014, 43(7): 2180-2184.
[17]	郭玲玲, 张星祥, 张立国, 任建岳. 离轴非球面镜检测中坐标系偏差对参数拟合的影响 . 红外与激光工程, 2013, 42(10): 2800-2804.
[18]	闫力松, 王孝坤, 罗霄, 郑立功, 张学军. 采用三角剖分算法的子孔径拼接检测技术 . 红外与激光工程, 2013, 42(7): 1793-1797.
[19]	王宁, 贾辛, 邢廷文. 子孔径拼接检测浅度非球面 . 红外与激光工程, 2013, 42(9): 2525-2530.
[20]	王孝坤. 大口径凸非球面反射镜子孔径拼接检测 . 红外与激光工程, 2013, 42(3): 716-722.

点击查看大图

计量

文章访问数: 184
HTML全文浏览量: 11
PDF下载量: 201
被引次数: 0

大口径反射镜子孔径拼接自检验精度分析

1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所中国科学院光学系统先进制造技术重点实验室,吉林长春 130033;

2. 中国科学院大学,北京 100049;

3. 长春奥普光电技术股份有限公司,吉林长春 130033

作者简介:
闫力松（1988-），男，博士生，主要从事光学检测技术方面的研究。Email：yanlisong1988@163.com

收稿日期: 2013-10-05
修回日期: 2013-11-03
刊出日期: 2014-06-25

基金项目:

国家自然科学基金（61036015）;国家高技术研究发展计划（O8663NJ090）

中图分类号: O439;O436.1

关键词:

摘要: 为了解决大口径反射镜子孔径拼接精度评价的问题，提出了自检验的子孔径拼接精度分析方法，实现了对大口径反射镜拼接精度的分析评价，同时提供了一种拼接精度检测方法。自检验即利用子孔径检测面形对拼接获得的拼接结果进行拼接精度检验。讨论了相应的精度评价指标及计算方法，并结合工程实例，利用600 mm 干涉仪实现了对800 mm 平面镜的拼接测量。以自检验的评价方式对拼接精度进行了分析，结果表明，拼接结果是准确的，同时验证了以自检验方式评价拼接精度的可靠性与准确性。