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子孔径拼接检测光学平面反射镜技术

闫公敬 张宪忠 李柱

闫公敬, 张宪忠, 李柱. 子孔径拼接检测光学平面反射镜技术[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(7): 2180-2184.
引用本文: 闫公敬, 张宪忠, 李柱. 子孔径拼接检测光学平面反射镜技术[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(7): 2180-2184.
Yan Gongjing, Zhang Xianzhong, Li Zhu. Technology of sub-aperture stitching testing optical flat mirror[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(7): 2180-2184.
Citation: Yan Gongjing, Zhang Xianzhong, Li Zhu. Technology of sub-aperture stitching testing optical flat mirror[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(7): 2180-2184.

子孔径拼接检测光学平面反射镜技术

基金项目: 

国家自然科学基金(61036015)

详细信息
    作者简介:

    闫公敬(1964-),男,副教授,主要从事光学检测方面的研究工作。Email:yan_gong_jing@163.com

  • 中图分类号: O439;O436.1

Technology of sub-aperture stitching testing optical flat mirror

  • 摘要: 干涉检测作为高精度光学面形加工的基础,其检测精度决定了加工精度。为了解决大口径光学平面反射镜检测问题,基于子孔径拼接算法,提出了一种拼接因子用于重叠区域取值,同时利用 100mm口径干涉仪对120mm口径平面反射镜完成拼接检验,并将拼接检测结果与利用150mm 口径干涉仪直接检测结果进行了对比分析,实验结果表明,拼接结果无拼痕,拼接检测结果与全口径测量结果PV 与RMS 的相对偏差分别为7.25%与7.14%,检测面形是一致的,由此验证了拼接检测的可靠性和准确性。
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-11-14
  • 修回日期:  2013-12-17
  • 刊出日期:  2014-07-25

子孔径拼接检测光学平面反射镜技术

    作者简介:

    闫公敬(1964-),男,副教授,主要从事光学检测方面的研究工作。Email:yan_gong_jing@163.com

基金项目:

国家自然科学基金(61036015)

  • 中图分类号: O439;O436.1

摘要: 干涉检测作为高精度光学面形加工的基础,其检测精度决定了加工精度。为了解决大口径光学平面反射镜检测问题,基于子孔径拼接算法,提出了一种拼接因子用于重叠区域取值,同时利用 100mm口径干涉仪对120mm口径平面反射镜完成拼接检验,并将拼接检测结果与利用150mm 口径干涉仪直接检测结果进行了对比分析,实验结果表明,拼接结果无拼痕,拼接检测结果与全口径测量结果PV 与RMS 的相对偏差分别为7.25%与7.14%,检测面形是一致的,由此验证了拼接检测的可靠性和准确性。

English Abstract

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