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GaAs/Al0.3Ga0.7As QWIP 暗电流特性HRTEM 研究

胡小英 刘卫国 段存丽 蔡长龙 韩军 刘钧

胡小英, 刘卫国, 段存丽, 蔡长龙, 韩军, 刘钧. GaAs/Al0.3Ga0.7As QWIP 暗电流特性HRTEM 研究[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(9): 3057-3060.
引用本文: 胡小英, 刘卫国, 段存丽, 蔡长龙, 韩军, 刘钧. GaAs/Al0.3Ga0.7As QWIP 暗电流特性HRTEM 研究[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(9): 3057-3060.
Hu Xiaoying, Liu Weiguo, Duan Cunli, Cai Changlong, Han Jun, Liu Jun. Dark current of GaAs/Al0.3Ga0.7As quantum well infrared photodetector by HRTEM[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(9): 3057-3060.
Citation: Hu Xiaoying, Liu Weiguo, Duan Cunli, Cai Changlong, Han Jun, Liu Jun. Dark current of GaAs/Al0.3Ga0.7As quantum well infrared photodetector by HRTEM[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(9): 3057-3060.

GaAs/Al0.3Ga0.7As QWIP 暗电流特性HRTEM 研究

基金项目: 

西安工业大学光电工程学院重点院长基金(13GDYJZ01);总装先进制造(51318020303);陕西教育厅项目(12Jk0980);国防基础研究项目(A0920110019);陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室开放基金(ZSKJ201401)

详细信息
    作者简介:

    胡小英(1978- ),女,讲师,博士,主要从事新型光电器件,微电子技术方面的研究。Email:490027874@qq.com

  • 中图分类号: TN215

Dark current of GaAs/Al0.3Ga0.7As quantum well infrared photodetector by HRTEM

  • 摘要: 采用金属有机物化学气相沉积法(MOCVD)生长GaAs/Al0.3Ga0.7As 量子阱材料,制备300 m300 m 台面,内电极压焊点面积为20 m20 m,外电极压焊点面积为80 m80 m 的单元样品两种。用变温液氮制冷系统对样品进行77 ~300 K 暗电流特性测试。结果显示,器件暗电流曲线呈现出正负偏压的不对称性。利用高分辨透射扫描电镜(HRTEM)获得样品纳米尺度横断面高分辨像,分析结果表明:样品横断面处存在不同程度的位错及不均匀性。说明样品内部穿透位错造成相位分离是引起量子阱光电性能变差的根本原因,不同生长次序中AlGaAs 与GaAs 界面的不对称性与掺杂元素的扩散现象加剧了暗电流曲线的不对称性。
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-06-10
  • 修回日期:  2013-07-25
  • 刊出日期:  2014-09-25

GaAs/Al0.3Ga0.7As QWIP 暗电流特性HRTEM 研究

    作者简介:

    胡小英(1978- ),女,讲师,博士,主要从事新型光电器件,微电子技术方面的研究。Email:490027874@qq.com

基金项目:

西安工业大学光电工程学院重点院长基金(13GDYJZ01);总装先进制造(51318020303);陕西教育厅项目(12Jk0980);国防基础研究项目(A0920110019);陕西省薄膜技术与光学检测重点实验室开放基金(ZSKJ201401)

  • 中图分类号: TN215

摘要: 采用金属有机物化学气相沉积法(MOCVD)生长GaAs/Al0.3Ga0.7As 量子阱材料,制备300 m300 m 台面,内电极压焊点面积为20 m20 m,外电极压焊点面积为80 m80 m 的单元样品两种。用变温液氮制冷系统对样品进行77 ~300 K 暗电流特性测试。结果显示,器件暗电流曲线呈现出正负偏压的不对称性。利用高分辨透射扫描电镜(HRTEM)获得样品纳米尺度横断面高分辨像,分析结果表明:样品横断面处存在不同程度的位错及不均匀性。说明样品内部穿透位错造成相位分离是引起量子阱光电性能变差的根本原因,不同生长次序中AlGaAs 与GaAs 界面的不对称性与掺杂元素的扩散现象加剧了暗电流曲线的不对称性。

English Abstract

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