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基于Nd:YAG激光回馈干涉效应的PZT精密测量技术与系统

邓勇 刘宁 曹红蓓 郭龙秋

邓勇, 刘宁, 曹红蓓, 郭龙秋. 基于Nd:YAG激光回馈干涉效应的PZT精密测量技术与系统[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(10): 3434-3438.
引用本文: 邓勇, 刘宁, 曹红蓓, 郭龙秋. 基于Nd:YAG激光回馈干涉效应的PZT精密测量技术与系统[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(10): 3434-3438.
Deng Yong, Liu Ning, Cao Hongbei, Guo Longqiu. Nd:YAG laser feedback interference effects based PZT precision measurement technology and system[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(10): 3434-3438.
Citation: Deng Yong, Liu Ning, Cao Hongbei, Guo Longqiu. Nd:YAG laser feedback interference effects based PZT precision measurement technology and system[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(10): 3434-3438.

基于Nd:YAG激光回馈干涉效应的PZT精密测量技术与系统

基金项目: 

国家自然科学基金(60827006)

详细信息
    作者简介:

    邓勇(1965-),男,副教授,主要从事测试技术及仪器方向的研究。Email:dengy@ntu.edu.cn

  • 中图分类号: TN249

Nd:YAG laser feedback interference effects based PZT precision measurement technology and system

  • 摘要: 压电陶瓷在精密控制中具有重要作用,而其在快速控制中的实际高频响应却缺少有效且精密的方法。总结了目前测量压电陶瓷特性的方法,分析了测量中存在的困难和不足,使用基于激光回馈干涉原理的Nd:YAG微片激光回馈干涉测量系统对压电陶瓷的动态特性进行了研究。使用两种压电陶瓷在100 Hz~7 kHz驱动电压下对位移响应进行了测量,相应测量位移范围7~34 nm。测量精度达到纳米量级,对较高的振动频率实现了准确测量。该方法具有很高的测量精度,对被测对象要求较低。
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出版历程
  • 收稿日期:  2014-02-06
  • 修回日期:  2014-03-13
  • 刊出日期:  2014-10-25

基于Nd:YAG激光回馈干涉效应的PZT精密测量技术与系统

    作者简介:

    邓勇(1965-),男,副教授,主要从事测试技术及仪器方向的研究。Email:dengy@ntu.edu.cn

基金项目:

国家自然科学基金(60827006)

  • 中图分类号: TN249

摘要: 压电陶瓷在精密控制中具有重要作用,而其在快速控制中的实际高频响应却缺少有效且精密的方法。总结了目前测量压电陶瓷特性的方法,分析了测量中存在的困难和不足,使用基于激光回馈干涉原理的Nd:YAG微片激光回馈干涉测量系统对压电陶瓷的动态特性进行了研究。使用两种压电陶瓷在100 Hz~7 kHz驱动电压下对位移响应进行了测量,相应测量位移范围7~34 nm。测量精度达到纳米量级,对较高的振动频率实现了准确测量。该方法具有很高的测量精度,对被测对象要求较低。

English Abstract

参考文献 (27)

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