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光刻用准分子激光器能量稳定性影响因素分析

石海燕 赵江山 宋兴亮 沙鹏飞 单耀莹 王倩 翟晔 周翊

石海燕, 赵江山, 宋兴亮, 沙鹏飞, 单耀莹, 王倩, 翟晔, 周翊. 光刻用准分子激光器能量稳定性影响因素分析[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(11): 3540-3546.
引用本文: 石海燕, 赵江山, 宋兴亮, 沙鹏飞, 单耀莹, 王倩, 翟晔, 周翊. 光刻用准分子激光器能量稳定性影响因素分析[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(11): 3540-3546.
Shi Haiyan, Zhao Jiangshan, Song Xingliang, Sha Pengfei, Shan Yaoying, Wang Qian, Zhai Ye, Zhou Yi. Analysis on factors affecting energy stability of excimer laser for lithography[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(11): 3540-3546.
Citation: Shi Haiyan, Zhao Jiangshan, Song Xingliang, Sha Pengfei, Shan Yaoying, Wang Qian, Zhai Ye, Zhou Yi. Analysis on factors affecting energy stability of excimer laser for lithography[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(11): 3540-3546.

光刻用准分子激光器能量稳定性影响因素分析

基金项目: 

国家重大科技专项(2012zx02701001-010)

详细信息
    作者简介:

    石海燕(1987-),女,硕士生,主要从事准分子激光器及激光能量稳定性方面的研究.Email:shihaiyan@aoe.ac.cn

  • 中图分类号: TN248.2

Analysis on factors affecting energy stability of excimer laser for lithography

  • 摘要: 以Cymer公司为例归纳总结了ArF准分子激光器双腔放大结构及相应的脉冲能量稳定性的发展历程,讨论了双腔能量放大机制对脉冲能量稳定性的影响,重点分析了MOPRA结构较MOPA结构在能量稳定性方面的优缺点.着重阐述了放电腔内工作气体成分、配比、电极间流速对脉冲能量稳定性的影响以及相应的改善措施,并结合影响脉冲能量稳定性的因素简述能量控制系统在稳定脉冲能量上的应用.
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出版历程
  • 收稿日期:  2014-03-11
  • 修回日期:  2014-04-15
  • 刊出日期:  2014-11-25

光刻用准分子激光器能量稳定性影响因素分析

    作者简介:

    石海燕(1987-),女,硕士生,主要从事准分子激光器及激光能量稳定性方面的研究.Email:shihaiyan@aoe.ac.cn

基金项目:

国家重大科技专项(2012zx02701001-010)

  • 中图分类号: TN248.2

摘要: 以Cymer公司为例归纳总结了ArF准分子激光器双腔放大结构及相应的脉冲能量稳定性的发展历程,讨论了双腔能量放大机制对脉冲能量稳定性的影响,重点分析了MOPRA结构较MOPA结构在能量稳定性方面的优缺点.着重阐述了放电腔内工作气体成分、配比、电极间流速对脉冲能量稳定性的影响以及相应的改善措施,并结合影响脉冲能量稳定性的因素简述能量控制系统在稳定脉冲能量上的应用.

English Abstract

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