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基于8-11μm红外窗口系统中减反射与保护膜的研制

付秀华 杨金也 刘冬梅 张静 寇洋

付秀华, 杨金也, 刘冬梅, 张静, 寇洋. 基于8-11μm红外窗口系统中减反射与保护膜的研制[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(12): 3889-3893.
引用本文: 付秀华, 杨金也, 刘冬梅, 张静, 寇洋. 基于8-11μm红外窗口系统中减反射与保护膜的研制[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(12): 3889-3893.
Fu Xiuhua, Yang Jinye, Liu Dongmei, Zhang Jing, Kou Yang. Design and preparation of anti-reflection and protective film in 8-11 μm infrared detection system[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(12): 3889-3893.
Citation: Fu Xiuhua, Yang Jinye, Liu Dongmei, Zhang Jing, Kou Yang. Design and preparation of anti-reflection and protective film in 8-11 μm infrared detection system[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(12): 3889-3893.

基于8-11μm红外窗口系统中减反射与保护膜的研制

详细信息
    作者简介:

    付秀华(1963-),女,教授,博士生导师,主要从事光学薄膜尧光学工艺及测试方面的研究。Email:goptics@126.com

    通讯作者: 杨金也(1984-),男,硕士,主要从事光学薄膜方面的研究。Email:Yang_jinye@163.com
  • 中图分类号: O484

Design and preparation of anti-reflection and protective film in 8-11 μm infrared detection system

  • 摘要: 随着现代军事空间技术的快速发展,对红外探测器的要求越来越高。同时,对红外光学元件的要求也越来越苛刻。主要研究了硫化锌(ZnS)基底表面减反与保护膜的制备技术,采用介质膜与硬膜复合方法,通过对不同材料的对比分析,最终选取碳化锗(Ge1-xCx)材料作为介质膜与DLC 类金刚石保护膜的过渡层。利用电子束与离子源辅助沉积技术制备介质膜;磁控溅射技术制备过渡层碳化锗;化学气相沉积技术制备DLC 类金刚石保护膜,解决了介质膜与类金刚石保护膜应力匹配的问题,并通过对多种沉积工艺的整合,得到了一套稳定的工艺制备流程。最终在硫化锌基底上制备出的减反射与保护膜平均透过率达到92%,硬度符合要求。
  • [1]
    [2] Yu Donghai, Wang Chengyong, Cheng Xiaoling, et al. Rccent development of magnetron sputtering processes[J]. Vacuum,2009, 46(2): 19-25. (in Chinese) 余东海, 王成勇, 成晓玲, 等. 磁控溅射镀膜技术的发展[J]. 真空, 2009, 46(2): 19-25.
    [3]
    [4] Fu Xiuhua, Jiang Huilin, Fu Xinhua, et al. Study on multi-waveband infrared antireflection and protection film [ J] . Acta ArmamentarII, 2007, 28(10): 1183-1185. (in Chinese) 付秀华, 姜会林, 付新华, 等. 多波段红外增透与保护膜技 术的研究[J]. 兵工学报, 2007, 28(10): 1183-1185.
    [5]
    [6] Tang Jinfa, Gu Peifu, Liu Xu, et al. Modern Optical Thin Film Technology [M]. Hangzhou: Zhejiang University Press, 2006: 239-242. (in Chinese) 唐晋发, 顾培夫, 刘旭, 等. 现代光学薄膜技术[M]. 杭州: 浙江大学出版社, 2006: 239-242.
    [7]
    [8] Li Zhengzhong. Optical Thin Film and Coating Technology[M]. Taipei: Yixuan Book Publishing, 2004: 373-374. (in Chinese) 李正中. 薄膜光学与镀膜技术[M]. 台北: 艺轩图书出版 社, 2004: 373-374.
    [9] Macleod H A. Thin-film Optical Filters [M]. 3rd ed. Philadelphia: Institute of Physic, Publishing, 2001.
    [10]
    [11]
    [12] Fu Xiuhua, Wang Gang, Liu Dongmei, et al. Visible and infrared guidance system development of high pass filter [J]. Chinese Journal of Lasers, 2013, 40 (1): 10107001-1010700. (in Chinese) 付秀华, 王刚, 刘冬梅, 等. 可见与红外制导系统高通滤 光片的研制[J].中国激光, 2013, 40(1): 10107001-10107006.
    [13]
    [14] Zhang C H, Wang Y T, Lu W Q. Single-wavelength monitoring method for optical thin-film coating[J]. Opt Eng, 2004, 43(6): 1439-1444.
    [15] Wang Xiaoyi, Gao Jinsong, Chen Hong, et al. Increasing sp3 hybridized carbon atoms in germanium carbide films by increasing RF power and substrate temperature [J]. Infrared and Laser Engineering, 2012, 41(8): 2167-2172. (in Chinese) 王笑夷, 高劲松, 陈红, 等. 射频功率和衬底温度对碳化锗 膜中sp3 杂化碳原子的影响[J]. 红外与激光工程, 2012, 41(8): 2167-2172.
    [16]
    [17] Ji Yiqin, Liu Huasong, Zhang Yanmin. Test and analysis of optical film constants [J]. Infrared and Laser Engineering, 2006, 35(5): 513-518. (in Chinese) 季一勤, 刘华松, 张艳敏. 光学薄膜常数的测试与分析[J]. 红外与激光工程, 2006, 35(5): 513-518.
  • [1] 张朝阳, 魏俊俊, 邢忠福, 彭志勇, 刘金龙, 陈良贤, 李成明.  金刚石膜表面微结构红外增透性能研究 . 红外与激光工程, 2021, 50(2): 20200199-1-20200199-8. doi: 10.3788/IRLA20200199
    [2] 李晓静, 郑子云, 史戈平, 高永亮.  制备光学金刚石膜的微波谐振腔设计及优化 . 红外与激光工程, 2019, 48(S2): 156-163. doi: 10.3788/IRLA201948.S216001
    [3] 程勇, 陆益敏, 黄国俊, 米朝伟, 黎伟, 田方涛, 王赛.  磁场辅助激光沉积类金刚石膜初探 . 红外与激光工程, 2019, 48(11): 1117002-1117002(5). doi: 10.3788/IRLA201948.1117002
    [4] 陆益敏, 黄国俊, 郭延龙, 程勇, 韦尚方.  双激光制备双层结构类金刚石膜的实验研究 . 红外与激光工程, 2018, 47(11): 1121003-1121003(6). doi: 10.3788/IRLA201847.1121003
    [5] 陆益敏, 郭延龙, 黄国俊, 黎伟, 万强, 唐璜.  脉冲激光沉积低内应力多层类金刚石膜 . 红外与激光工程, 2017, 46(9): 921001-0921001(6). doi: 10.3788/IRLA201746.0921001
    [6] 徐均琪, 苏俊宏, 葛锦蔓, 基玛 格拉索夫.  光学薄膜激光损伤阈值测量不确定度 . 红外与激光工程, 2017, 46(8): 806007-0806007(7). doi: 10.3788/IRLA201746.0806007
    [7] 张圣斌, 左敦稳, 卢文壮.  金刚石衬底的氧化钒薄膜光电特性研究 . 红外与激光工程, 2016, 45(12): 1221001-1221001(8). doi: 10.3788/IRLA201645.1221001
    [8] 左杨平, 卢文壮, 张圣斌, 余亚平, 冯森, 左敦稳.  面向激光防护应用的金刚石/V2O5 膜系设计与制备 . 红外与激光工程, 2015, 44(8): 2491-2495.
    [9] 潘永强, 田爱玲, 杭凌侠.  单层二氧化钛薄膜的偏振散射特性 . 红外与激光工程, 2015, 44(10): 3015-3019.
    [10] 凌晓, 俞树荣, 张俊彦.  沉积气压对类金刚石薄膜结构和性能的影响 . 红外与激光工程, 2014, 43(6): 1878-1882.
    [11] 裘桢炜, 洪津.  偏振遥感器镜头相位延迟特性分析 . 红外与激光工程, 2014, 43(3): 806-811.
    [12] 林红雪, 朱晨光, 李敏, 汪海珍.  薄膜型低燃温红外诱饵的辐射性能研究 . 红外与激光工程, 2014, 43(10): 3193-3198.
    [13] 周炜, 欧阳程, 吴敬, 高艳卿, 黄志明.  锰钴镍铜氧薄膜红外探测器制备与性能研究 . 红外与激光工程, 2014, 43(4): 1073-1079.
    [14] 张乾, 焦宏飞, 程鑫彬, 马彬, 季一勤.  几种紫外薄膜材料的光学及损伤特性分析 . 红外与激光工程, 2014, 43(4): 1230-1234.
    [15] 于盛旺, 安康, 李晓静, 申艳艳, 宁来元, 贺志勇, 唐宾, 唐伟忠.  高功率MPCVD金刚石膜红外光学材料制备 . 红外与激光工程, 2013, 42(4): 971-974.
    [16] 刘士军, 李钱陶, 熊长新, 杨长城.  用于红外光学窗口的多层保护膜 . 红外与激光工程, 2013, 42(1): 185-189.
    [17] 付秀华, 杨永亮, 刘国军, 李琳, 潘永刚, Ewan Waddell.  大面积头罩上类金刚石薄膜均匀性研究 . 红外与激光工程, 2013, 42(1): 181-184.
    [18] 刘华松, 刘杰, 王利栓, 姜玉刚, 冷健, 季一勤.  具有亚表面损伤层基底表面的激光减反膜设计 . 红外与激光工程, 2013, 42(10): 2737-2741.
    [19] 付秀华, 唐昊龙, 刘国军, 刘凤娥, 张静.  高速电光调制器波导测试系统滤光片的研制 . 红外与激光工程, 2013, 42(12): 3379-3385.
    [20] 李修, 王瑜, 徐艳芳, 冉军, 莫黎昕, 李路海.  柔版印刷金属网栅光电性能研究 . 红外与激光工程, 2013, 42(12): 3295-3299.
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出版历程
  • 收稿日期:  2014-04-13
  • 修回日期:  2014-05-19
  • 刊出日期:  2014-12-25

基于8-11μm红外窗口系统中减反射与保护膜的研制

    作者简介:

    付秀华(1963-),女,教授,博士生导师,主要从事光学薄膜尧光学工艺及测试方面的研究。Email:goptics@126.com

    通讯作者: 杨金也(1984-),男,硕士,主要从事光学薄膜方面的研究。Email:Yang_jinye@163.com
  • 中图分类号: O484

摘要: 随着现代军事空间技术的快速发展,对红外探测器的要求越来越高。同时,对红外光学元件的要求也越来越苛刻。主要研究了硫化锌(ZnS)基底表面减反与保护膜的制备技术,采用介质膜与硬膜复合方法,通过对不同材料的对比分析,最终选取碳化锗(Ge1-xCx)材料作为介质膜与DLC 类金刚石保护膜的过渡层。利用电子束与离子源辅助沉积技术制备介质膜;磁控溅射技术制备过渡层碳化锗;化学气相沉积技术制备DLC 类金刚石保护膜,解决了介质膜与类金刚石保护膜应力匹配的问题,并通过对多种沉积工艺的整合,得到了一套稳定的工艺制备流程。最终在硫化锌基底上制备出的减反射与保护膜平均透过率达到92%,硬度符合要求。

English Abstract

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