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飞秒激光微加工中光斑横向超分辨研究

蔡建文 潘雪涛 张美凤 孟飞

蔡建文, 潘雪涛, 张美凤, 孟飞. 飞秒激光微加工中光斑横向超分辨研究[J]. 红外与激光工程, 2015, 44(6): 1790-1793.
引用本文: 蔡建文, 潘雪涛, 张美凤, 孟飞. 飞秒激光微加工中光斑横向超分辨研究[J]. 红外与激光工程, 2015, 44(6): 1790-1793.
Cai Jianwen, Pan Xuetao, Zhang Meifeng, Meng Fei. Transverse spot superresolution in femtosecond laser microfabrication[J]. Infrared and Laser Engineering, 2015, 44(6): 1790-1793.
Citation: Cai Jianwen, Pan Xuetao, Zhang Meifeng, Meng Fei. Transverse spot superresolution in femtosecond laser microfabrication[J]. Infrared and Laser Engineering, 2015, 44(6): 1790-1793.

飞秒激光微加工中光斑横向超分辨研究

基金项目: 

常州现代光电技术研究院开放课题(CZGY008)

详细信息
    作者简介:

    蔡建文(1978-),男,副教授,博士,主要从事双光子三维光信息存储、激光微加工、光电检测等方面的研究。Email:caijw@ustc.edu.cn

  • 中图分类号: O644

Transverse spot superresolution in femtosecond laser microfabrication

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出版历程
  • 收稿日期:  2014-10-18
  • 修回日期:  2014-11-02
  • 刊出日期:  2015-06-25

飞秒激光微加工中光斑横向超分辨研究

    作者简介:

    蔡建文(1978-),男,副教授,博士,主要从事双光子三维光信息存储、激光微加工、光电检测等方面的研究。Email:caijw@ustc.edu.cn

基金项目:

常州现代光电技术研究院开放课题(CZGY008)

  • 中图分类号: O644

摘要: 飞秒激光微加工中焦点光斑横向光场的分布直接影响到激光微加工的精度、分辨率和表面粗糙度等。利用激光束空间整形技术对激光束聚焦光斑进行调制,基于横向超衍射理论和优化算法进行了研究和分析,完成了一种0-结构四环横向相位板的设计。该相位板归一化半径为r1=0.16、r2=0.27、r3=0.49,获得的峰值能量S、焦斑尺寸GT、旁瓣能量MT分别为0.38、0.74、0.20。并且基于该相位板在激光微加工系统中进行了一种光致变色材料的相位板加入前后的对比加工实验,实验结果表明,在飞秒激光微加工系统中使用这种相位板可以有效地减小加工点的尺寸大小。

English Abstract

参考文献 (19)

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