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基于最大似然估计算法的子孔径拼接检测技术

闫公敬 张宪忠

闫公敬, 张宪忠. 基于最大似然估计算法的子孔径拼接检测技术[J]. 红外与激光工程, 2015, 44(7): 2206-2210.
引用本文: 闫公敬, 张宪忠. 基于最大似然估计算法的子孔径拼接检测技术[J]. 红外与激光工程, 2015, 44(7): 2206-2210.
Yan Gongjing, Zhang Xianzhong. Sub-aperture stitching testing technology based on maximum likelihood estimation algorithm[J]. Infrared and Laser Engineering, 2015, 44(7): 2206-2210.
Citation: Yan Gongjing, Zhang Xianzhong. Sub-aperture stitching testing technology based on maximum likelihood estimation algorithm[J]. Infrared and Laser Engineering, 2015, 44(7): 2206-2210.

基于最大似然估计算法的子孔径拼接检测技术

基金项目: 

国家自然科学基金(61036015);国家高技术研究发展计划(O8663NJ090)

详细信息
    作者简介:

    闫公敬(1964-),男,副教授,主要从事光学检测技术方面的研究。Email:yan_gong_jing@163.com

  • 中图分类号: O439;O436.1

Sub-aperture stitching testing technology based on maximum likelihood estimation algorithm

  • 摘要: 大口径平面镜作为光学系统的重要组成部分, 其面形精度对系统成像具有重要影响。子孔径拼接检测作为大口径光学平面反射镜检测的常用手段, 子孔径拼接算法是该技术的核心。研究了平面子孔径拼接算法, 基于最大似然估计与正交化Zernike多项式拟合建立了一套合理的拼接算法与数学模型, 基于该算法模型可以有效实现对大口径平面镜的拼接检测, 同时编写了相应的拼接程序, 并利用100 mm干涉仪对120 mm的平面镜进行了拼接检测, 给出了拼接检测与全口径检测的对比结果, 对比结果表明: 拼接所得全孔径相位分布与全口径检测结果的RMS值偏差分别为0.002, 验证了算法的可靠性与准确性。
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出版历程
  • 收稿日期:  2014-11-20
  • 修回日期:  2014-12-17
  • 刊出日期:  2015-07-25

基于最大似然估计算法的子孔径拼接检测技术

    作者简介:

    闫公敬(1964-),男,副教授,主要从事光学检测技术方面的研究。Email:yan_gong_jing@163.com

基金项目:

国家自然科学基金(61036015);国家高技术研究发展计划(O8663NJ090)

  • 中图分类号: O439;O436.1

摘要: 大口径平面镜作为光学系统的重要组成部分, 其面形精度对系统成像具有重要影响。子孔径拼接检测作为大口径光学平面反射镜检测的常用手段, 子孔径拼接算法是该技术的核心。研究了平面子孔径拼接算法, 基于最大似然估计与正交化Zernike多项式拟合建立了一套合理的拼接算法与数学模型, 基于该算法模型可以有效实现对大口径平面镜的拼接检测, 同时编写了相应的拼接程序, 并利用100 mm干涉仪对120 mm的平面镜进行了拼接检测, 给出了拼接检测与全口径检测的对比结果, 对比结果表明: 拼接所得全孔径相位分布与全口径检测结果的RMS值偏差分别为0.002, 验证了算法的可靠性与准确性。

English Abstract

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