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声光调Q CO2激光器的实验研究

何洋 陆君 陈飞 李殿军 郑长彬 谢冀江 郭劲

何洋, 陆君, 陈飞, 李殿军, 郑长彬, 谢冀江, 郭劲. 声光调Q CO2激光器的实验研究[J]. 红外与激光工程, 2015, 44(8): 2280-2285.
引用本文: 何洋, 陆君, 陈飞, 李殿军, 郑长彬, 谢冀江, 郭劲. 声光调Q CO2激光器的实验研究[J]. 红外与激光工程, 2015, 44(8): 2280-2285.
He Yang, Lu Jun, Chen Fei, Li Dianjun, Zheng Changbin, Xie Jijiang, Guo Jin. Experimental researches on acousto-optic Q-switched CO2 laser[J]. Infrared and Laser Engineering, 2015, 44(8): 2280-2285.
Citation: He Yang, Lu Jun, Chen Fei, Li Dianjun, Zheng Changbin, Xie Jijiang, Guo Jin. Experimental researches on acousto-optic Q-switched CO2 laser[J]. Infrared and Laser Engineering, 2015, 44(8): 2280-2285.

声光调Q CO2激光器的实验研究

基金项目: 

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所创新项目(Y25632C120);激光与物质相互作用国家重点实验室自主基础研究课题(SKLLIM1413)

详细信息
    作者简介:

    何洋(1988-),男,研究实习员,硕士,主要从事高功率气体激光器和固体激光器方面的研究。Email:heyang_3g@126.com

  • 中图分类号: TN248.2

Experimental researches on acousto-optic Q-switched CO2 laser

  • 摘要: 为满足13.5 nm极紫外光刻(EUVL)等领域的应用需求,研制了高重复频率、高稳定性的声光调Q CO2激光器。首先,对声光Q开关的工作原理进行了分析,并实验研究了调制信号电压与衍射效率的关系。接着,研究了调制信号占空比对脉冲波形的影响,通过选择适当的占空比消去了脉冲拖尾。然后,对不同重复频率下的脉冲宽度、功率和脉冲幅值稳定性进行了测量和分析。最后,对激光器的光束指向稳定性进行了测量。实验结果表明:该激光器实现了重复频率1~100 kHz连续可调的脉冲输出,在重复频率1 kHz时,获得最小脉冲宽度252 ns和最大峰值功率7 579 W的激光脉冲输出。通过设计以殷钢管为主体的支撑架,使得激光器的脉冲幅值不稳定性小于3%,光束指向稳定性为46.6 rad。该声光调Q CO2激光器可作为高性能种子源在EUVL等领域中得到应用。
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出版历程
  • 收稿日期:  2014-12-05
  • 修回日期:  2015-01-03
  • 刊出日期:  2015-08-25

声光调Q CO2激光器的实验研究

    作者简介:

    何洋(1988-),男,研究实习员,硕士,主要从事高功率气体激光器和固体激光器方面的研究。Email:heyang_3g@126.com

基金项目:

中国科学院长春光学精密机械与物理研究所创新项目(Y25632C120);激光与物质相互作用国家重点实验室自主基础研究课题(SKLLIM1413)

  • 中图分类号: TN248.2

摘要: 为满足13.5 nm极紫外光刻(EUVL)等领域的应用需求,研制了高重复频率、高稳定性的声光调Q CO2激光器。首先,对声光Q开关的工作原理进行了分析,并实验研究了调制信号电压与衍射效率的关系。接着,研究了调制信号占空比对脉冲波形的影响,通过选择适当的占空比消去了脉冲拖尾。然后,对不同重复频率下的脉冲宽度、功率和脉冲幅值稳定性进行了测量和分析。最后,对激光器的光束指向稳定性进行了测量。实验结果表明:该激光器实现了重复频率1~100 kHz连续可调的脉冲输出,在重复频率1 kHz时,获得最小脉冲宽度252 ns和最大峰值功率7 579 W的激光脉冲输出。通过设计以殷钢管为主体的支撑架,使得激光器的脉冲幅值不稳定性小于3%,光束指向稳定性为46.6 rad。该声光调Q CO2激光器可作为高性能种子源在EUVL等领域中得到应用。

English Abstract

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