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玻璃基片上双层多模光波导的制备

郝寅雷 曾福林 王志坚 胡文学 陈斯聪 杨建义 王明华

郝寅雷, 曾福林, 王志坚, 胡文学, 陈斯聪, 杨建义, 王明华. 玻璃基片上双层多模光波导的制备[J]. 红外与激光工程, 2015, 44(10): 3000-3004.
引用本文: 郝寅雷, 曾福林, 王志坚, 胡文学, 陈斯聪, 杨建义, 王明华. 玻璃基片上双层多模光波导的制备[J]. 红外与激光工程, 2015, 44(10): 3000-3004.
Hao Yinlei, Zeng Fulin, Wang Zhijian, Hu Wenxue, Chen Sicong, Yang Jianyi, Wang Minghua. Manufacturing of double-layered multimode optical waveguides in glass substrate[J]. Infrared and Laser Engineering, 2015, 44(10): 3000-3004.
Citation: Hao Yinlei, Zeng Fulin, Wang Zhijian, Hu Wenxue, Chen Sicong, Yang Jianyi, Wang Minghua. Manufacturing of double-layered multimode optical waveguides in glass substrate[J]. Infrared and Laser Engineering, 2015, 44(10): 3000-3004.

玻璃基片上双层多模光波导的制备

基金项目: 

国家自然科学基金(61428502);浙江省自然科学基金(Y1100665);中兴通讯产学研合作项目

详细信息
    作者简介:

    郝寅雷(1974-),男,副教授,博士后,主要从事玻璃基集成光学器件方面的研究。Email:haoyinlei@zju.edu.cn

  • 中图分类号: TN256

Manufacturing of double-layered multimode optical waveguides in glass substrate

  • 摘要: 在光学玻璃基片上制作了双层掩埋式多模光波导芯片,这种芯片中的上、下两层光波导均通过熔盐离子交换和电场辅助离子迁移形成。对光波导的横截面以及输出光斑进行了观察,并进行了损耗和串扰测试。研究结果表明:双层多模光波导芯片中上、下两层光波导芯部横截面尺寸分别为29 m19 m和31 m20 m;两层波导的输出光斑尺寸相互匹配;两层波导传输损耗分别为1.000.32 dB/cm和0.780.35 dB/cm;两层光波导之间的串扰在17.7dB左右。这种玻璃基片上的双层多模光波导可以使板级光互连的互连密度增大一倍,提高EOCB的性能。
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出版历程
  • 收稿日期:  2015-02-11
  • 修回日期:  2015-03-10
  • 刊出日期:  2015-10-25

玻璃基片上双层多模光波导的制备

    作者简介:

    郝寅雷(1974-),男,副教授,博士后,主要从事玻璃基集成光学器件方面的研究。Email:haoyinlei@zju.edu.cn

基金项目:

国家自然科学基金(61428502);浙江省自然科学基金(Y1100665);中兴通讯产学研合作项目

  • 中图分类号: TN256

摘要: 在光学玻璃基片上制作了双层掩埋式多模光波导芯片,这种芯片中的上、下两层光波导均通过熔盐离子交换和电场辅助离子迁移形成。对光波导的横截面以及输出光斑进行了观察,并进行了损耗和串扰测试。研究结果表明:双层多模光波导芯片中上、下两层光波导芯部横截面尺寸分别为29 m19 m和31 m20 m;两层波导的输出光斑尺寸相互匹配;两层波导传输损耗分别为1.000.32 dB/cm和0.780.35 dB/cm;两层光波导之间的串扰在17.7dB左右。这种玻璃基片上的双层多模光波导可以使板级光互连的互连密度增大一倍,提高EOCB的性能。

English Abstract

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