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单层二氧化钛薄膜的偏振散射特性

潘永强 田爱玲 杭凌侠

潘永强, 田爱玲, 杭凌侠. 单层二氧化钛薄膜的偏振散射特性[J]. 红外与激光工程, 2015, 44(10): 3015-3019.
引用本文: 潘永强, 田爱玲, 杭凌侠. 单层二氧化钛薄膜的偏振散射特性[J]. 红外与激光工程, 2015, 44(10): 3015-3019.
Pan Yongqiang, Tian Ailing, Hang Lingxia. Polarized light scattering of single titanium dioxide thin film[J]. Infrared and Laser Engineering, 2015, 44(10): 3015-3019.
Citation: Pan Yongqiang, Tian Ailing, Hang Lingxia. Polarized light scattering of single titanium dioxide thin film[J]. Infrared and Laser Engineering, 2015, 44(10): 3015-3019.

单层二氧化钛薄膜的偏振散射特性

基金项目: 

陕西省自然科学基础研究计划(2014JM8333);陕西省教育厅专项科研计划(2013JK1108);兵器预研支撑基金(9140A18020114BQ03251)

详细信息
    作者简介:

    潘永强(1974-),男,教授,硕士生导师,博士,主要从事薄膜工艺与薄膜检测技术的研究。Email:pyq_867@163.com

  • 中图分类号: O484

Polarized light scattering of single titanium dioxide thin film

  • 摘要: 为了用散射法研究单层薄膜表面粗糙度的变化规律,以光学薄膜矢量光散射理论为基础,分析了单层二氧化钛薄膜分别在完全相关和完全非相关模型下的偏振双向反射分布函数,以及P偏振入射光引起的P偏振的BRDFpp随散射方位角的变化关系。理论研究结果表明:随着散射方位角的变化,P偏振入射光引起的P偏振的BRDFpp强烈依赖于膜层界面粗糙度的相关特性。在完全相关模型下,随着入射角的增加,BRDFpp随着散射方位角变化时所出现的谷值会随着入射角的增加而减小。
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出版历程
  • 收稿日期:  2015-02-24
  • 修回日期:  2015-03-20
  • 刊出日期:  2015-10-25

单层二氧化钛薄膜的偏振散射特性

    作者简介:

    潘永强(1974-),男,教授,硕士生导师,博士,主要从事薄膜工艺与薄膜检测技术的研究。Email:pyq_867@163.com

基金项目:

陕西省自然科学基础研究计划(2014JM8333);陕西省教育厅专项科研计划(2013JK1108);兵器预研支撑基金(9140A18020114BQ03251)

  • 中图分类号: O484

摘要: 为了用散射法研究单层薄膜表面粗糙度的变化规律,以光学薄膜矢量光散射理论为基础,分析了单层二氧化钛薄膜分别在完全相关和完全非相关模型下的偏振双向反射分布函数,以及P偏振入射光引起的P偏振的BRDFpp随散射方位角的变化关系。理论研究结果表明:随着散射方位角的变化,P偏振入射光引起的P偏振的BRDFpp强烈依赖于膜层界面粗糙度的相关特性。在完全相关模型下,随着入射角的增加,BRDFpp随着散射方位角变化时所出现的谷值会随着入射角的增加而减小。

English Abstract

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