高速电光调制器波导测试系统滤光片的研制

付秀华; 唐昊龙; 刘国军; 刘凤娥; 张静

高速电光调制器波导测试系统滤光片的研制

1.
长春理工大学光电工程学院,吉林长春 130022;
2.
中国兵器工业标准化研究所,北京 100089

基金项目:

国家自然科学基金（60977052）

详细信息

作者简介:
唐昊龙（1988-），男，博士生，主要从事光学薄膜方面的研究。Email：thl19880514@163.com；付秀华（1963-），女，教授，博士生导师，博士，主要从事薄膜技术方面的研究。Email：goptics@126.com

唐昊龙（1988-），男，博士生，主要从事光学薄膜方面的研究。Email：thl19880514@163.com；付秀华（1963-），女，教授，博士生导师，博士，主要从事薄膜技术方面的研究。Email：goptics@126.com

中图分类号: O484

Research and development of filter in high speed electro-optic modulator waveguide measurement system

1.
School of Electro-Optical Engineering,Changchun University of Science and Technology,Changchun 130022,China;
2.
Norinco Group Standardization Research Institute,Beijing 100089,China

摘要: 为了实现对基于BaTiO3薄膜的高速电光调制器波导精确测试，研制出了一种深背景、高截止度的滤光片，用于提高测试系统信噪比，排除杂光干扰。该滤光片采用双离子束溅射的制备方法，以Nb和SiO2作为沉积材料，借助TFCalc和Macleod软件进行膜系设计和工艺反馈分析，通过正交矩阵法简化了辅助离子源工艺参数的优化过程，保证了采用优化后的工艺制备的薄膜具有更低的吸收，利用实时标定薄膜材料沉积速率等方法，解决了膜层厚度精确控制等问题。制备的滤光片通带中心波长为1 550.1 nm，通带宽度5.1 nm，光密度在-0.1~30 dB处的波长间隔为1.9 nm，满足了波导精确测试系统的使用要求。
- 薄膜 /
- 高截止度滤光膜 /
- 双离子束溅射 /
- 波导测试系统
Abstract: Design and manufacture of higher rejection rate filters which meet the needs of accurate measurement of BaTiO3 single crystal film high-speed electro-optic modulator waveguide devices were focused on. The filters were used to improve the signal-to-noise ratio of the test system and eliminate stray light interference. The films were prepared by the depositing method of dual ion beam sputtering, Nb and SiO2 were chosen as deposition materials. The coating was designed and optimized with the help of Macleod and TFCalc software, orthogonal matrix method was used to optimize the process parameters of assist ion source. The absorption of film was reduced by using optimized process parameters, the problem of film thickness accuracy controlling was solved by using the method of real-time calibration of the deposition rate. Test transmission spectrum of the filter, center wavelength is 1 550.1 nm, the pass band width is 5.1 nm, the wavelength interval of optical density from -0.1 dB to - 30 dB is 1.9 nm, the using requirements of the waveguide accurate measurement system is achieved.
- thin films /
- filter film with high rejection rate /
- dual ion beam sputtering /
- waveguide measurement system

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Research and development of filter in high speed electro-optic modulator waveguide measurement system

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高速电光调制器波导测试系统滤光片的研制

1. 长春理工大学光电工程学院,吉林长春 130022;

2. 中国兵器工业标准化研究所,北京 100089

English Abstract

Research and development of filter in high speed electro-optic modulator waveguide measurement system

1. School of Electro-Optical Engineering,Changchun University of Science and Technology,Changchun 130022,China;

2. Norinco Group Standardization Research Institute,Beijing 100089,China

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高速电光调制器波导测试系统滤光片的研制

1. 长春理工大学 光电工程学院,吉林 长春 130022; 2. 中国兵器工业标准化研究所,北京 100089

English Abstract

Research and development of filter in high speed electro-optic modulator waveguide measurement system

1. School of Electro-Optical Engineering,Changchun University of Science and Technology,Changchun 130022,China; 2. Norinco Group Standardization Research Institute,Beijing 100089,China

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2. 中国兵器工业标准化研究所,北京 100089

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