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高速电光调制器波导测试系统滤光片的研制

付秀华 唐昊龙 刘国军 刘凤娥 张静

付秀华, 唐昊龙, 刘国军, 刘凤娥, 张静. 高速电光调制器波导测试系统滤光片的研制[J]. 红外与激光工程, 2013, 42(12): 3379-3385.
引用本文: 付秀华, 唐昊龙, 刘国军, 刘凤娥, 张静. 高速电光调制器波导测试系统滤光片的研制[J]. 红外与激光工程, 2013, 42(12): 3379-3385.
Fu Xiuhua, Tang Haolong, Liu Guojun, Liu Feng'e, Zhang Jing. Research and development of filter in high speed electro-optic modulator waveguide measurement system[J]. Infrared and Laser Engineering, 2013, 42(12): 3379-3385.
Citation: Fu Xiuhua, Tang Haolong, Liu Guojun, Liu Feng'e, Zhang Jing. Research and development of filter in high speed electro-optic modulator waveguide measurement system[J]. Infrared and Laser Engineering, 2013, 42(12): 3379-3385.

高速电光调制器波导测试系统滤光片的研制

基金项目: 

国家自然科学基金(60977052)

详细信息
    作者简介:

    唐昊龙(1988-),男,博士生,主要从事光学薄膜方面的研究。Email:thl19880514@163.com;付秀华(1963-),女,教授,博士生导师,博士,主要从事薄膜技术方面的研究。Email:goptics@126.com

    唐昊龙(1988-),男,博士生,主要从事光学薄膜方面的研究。Email:thl19880514@163.com;付秀华(1963-),女,教授,博士生导师,博士,主要从事薄膜技术方面的研究。Email:goptics@126.com

  • 中图分类号: O484

Research and development of filter in high speed electro-optic modulator waveguide measurement system

  • 摘要: 为了实现对基于BaTiO3薄膜的高速电光调制器波导精确测试,研制出了一种深背景、高截止度的滤光片,用于提高测试系统信噪比,排除杂光干扰。该滤光片采用双离子束溅射的制备方法,以Nb和SiO2作为沉积材料,借助TFCalc和Macleod软件进行膜系设计和工艺反馈分析,通过正交矩阵法简化了辅助离子源工艺参数的优化过程,保证了采用优化后的工艺制备的薄膜具有更低的吸收,利用实时标定薄膜材料沉积速率等方法,解决了膜层厚度精确控制等问题。制备的滤光片通带中心波长为1 550.1 nm,通带宽度5.1 nm,光密度在-0.1~30 dB处的波长间隔为1.9 nm,满足了波导精确测试系统的使用要求。
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-03-08
  • 修回日期:  2013-04-14
  • 刊出日期:  2013-12-25

高速电光调制器波导测试系统滤光片的研制

    作者简介:

    唐昊龙(1988-),男,博士生,主要从事光学薄膜方面的研究。Email:thl19880514@163.com;付秀华(1963-),女,教授,博士生导师,博士,主要从事薄膜技术方面的研究。Email:goptics@126.com

    唐昊龙(1988-),男,博士生,主要从事光学薄膜方面的研究。Email:thl19880514@163.com;付秀华(1963-),女,教授,博士生导师,博士,主要从事薄膜技术方面的研究。Email:goptics@126.com

基金项目:

国家自然科学基金(60977052)

  • 中图分类号: O484

摘要: 为了实现对基于BaTiO3薄膜的高速电光调制器波导精确测试,研制出了一种深背景、高截止度的滤光片,用于提高测试系统信噪比,排除杂光干扰。该滤光片采用双离子束溅射的制备方法,以Nb和SiO2作为沉积材料,借助TFCalc和Macleod软件进行膜系设计和工艺反馈分析,通过正交矩阵法简化了辅助离子源工艺参数的优化过程,保证了采用优化后的工艺制备的薄膜具有更低的吸收,利用实时标定薄膜材料沉积速率等方法,解决了膜层厚度精确控制等问题。制备的滤光片通带中心波长为1 550.1 nm,通带宽度5.1 nm,光密度在-0.1~30 dB处的波长间隔为1.9 nm,满足了波导精确测试系统的使用要求。

English Abstract

参考文献 (19)

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