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基于非理想标准镜的子孔径拼接干涉检测技术研究

闫力松 王孝坤 罗霄 曾雪锋 郑立功 张学军

闫力松, 王孝坤, 罗霄, 曾雪锋, 郑立功, 张学军. 基于非理想标准镜的子孔径拼接干涉检测技术研究[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(1): 178-183.
引用本文: 闫力松, 王孝坤, 罗霄, 曾雪锋, 郑立功, 张学军. 基于非理想标准镜的子孔径拼接干涉检测技术研究[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(1): 178-183.
Yan Lisong, Wang Xiaokun, Luo Xiao, Zeng Xuefeng, Zheng Ligong, Zhang Xuejun. Sub-aperture stitching interferometry based on non-ideal standard mirror[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(1): 178-183.
Citation: Yan Lisong, Wang Xiaokun, Luo Xiao, Zeng Xuefeng, Zheng Ligong, Zhang Xuejun. Sub-aperture stitching interferometry based on non-ideal standard mirror[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(1): 178-183.

基于非理想标准镜的子孔径拼接干涉检测技术研究

基金项目: 

国家自然科学基金(61036015);国家高技术研究发展计划(O8663NJ090)

详细信息
    作者简介:

    闫力松(1988-),男,博士生,主要从事光学检测技术方面的研究。Email:yanlisong@yahoo.cn

  • 中图分类号: TH74

Sub-aperture stitching interferometry based on non-ideal standard mirror

  • 摘要: 在大口径光学镜面的检测中,随着参考镜尺寸的增加,加工精度的制约,重力变形,温度,环境等因素的影响使得参考镜在检测中已经不能作为理想平面镜。文中基于最大似然估计(ML)算法,Zernike 多项式拟合对利用非理想平面镜作为参考镜的子孔径拼接检测建立了一套合理的拼接算法和数学模型。并结合工程实例,完成了对2.5 m3.5 m 椭圆形平面镜的模拟拼接实验,拼接前后全孔径面形误差分布是一致的,其PV 值和RMS 值的偏差分别为0.022 与0.001 3 。全口径相位分布的PV 值与RMS 值的相对误差分别为2.81%与0.81%。实验结果表明:利用ML 拼接算法可以高精度地完成对参考镜为非理想平面的大口径平面镜的拼接检测。
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-05-11
  • 修回日期:  2013-06-13
  • 刊出日期:  2014-01-25

基于非理想标准镜的子孔径拼接干涉检测技术研究

    作者简介:

    闫力松(1988-),男,博士生,主要从事光学检测技术方面的研究。Email:yanlisong@yahoo.cn

基金项目:

国家自然科学基金(61036015);国家高技术研究发展计划(O8663NJ090)

  • 中图分类号: TH74

摘要: 在大口径光学镜面的检测中,随着参考镜尺寸的增加,加工精度的制约,重力变形,温度,环境等因素的影响使得参考镜在检测中已经不能作为理想平面镜。文中基于最大似然估计(ML)算法,Zernike 多项式拟合对利用非理想平面镜作为参考镜的子孔径拼接检测建立了一套合理的拼接算法和数学模型。并结合工程实例,完成了对2.5 m3.5 m 椭圆形平面镜的模拟拼接实验,拼接前后全孔径面形误差分布是一致的,其PV 值和RMS 值的偏差分别为0.022 与0.001 3 。全口径相位分布的PV 值与RMS 值的相对误差分别为2.81%与0.81%。实验结果表明:利用ML 拼接算法可以高精度地完成对参考镜为非理想平面的大口径平面镜的拼接检测。

English Abstract

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