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双光纤相移点衍射干涉仪装调技术

张宇 金春水 马冬梅 王丽萍

张宇, 金春水, 马冬梅, 王丽萍. 双光纤相移点衍射干涉仪装调技术[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(1): 145-150.
引用本文: 张宇, 金春水, 马冬梅, 王丽萍. 双光纤相移点衍射干涉仪装调技术[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(1): 145-150.
Zhang Yu, Jin Chunshui, Ma Dongmei, Wang Liping. Alignment technology for double-fiber phase-shifting point diffraction interferometer[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(1): 145-150.
Citation: Zhang Yu, Jin Chunshui, Ma Dongmei, Wang Liping. Alignment technology for double-fiber phase-shifting point diffraction interferometer[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(1): 145-150.

双光纤相移点衍射干涉仪装调技术

基金项目: 

东北电力大学博士科研启动基金(BSJXM-201218)

详细信息
    作者简介:

    张宇(1985- ),女,讲师,博士,主要从事光学检测方面的研究。Email:521zhangyu2008@163.com

  • 中图分类号: O436.1

Alignment technology for double-fiber phase-shifting point diffraction interferometer

  • 摘要: 为了实现对极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测,引入了双光纤相移点衍射干涉仪,介绍了其工作原理,并对干涉仪的装调方案进行了精密的设计。解决了各个元器件的精确定位问题,保证了进入光纤之前的测试光和参考光严格垂直, 实现了耦合系统与光纤之间最大的耦合效率和干涉条纹最大的条纹对比度, 为最终能够实现极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测提供了前期准备。装调完毕后,利用实验装置对某一光学系统进行了测量,使用十三步相移算法还原被检光学系统波像差,得到了较好的结果,测试结果为:PV 值为37.82 nm,RMS 值为7.83 nm。
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-05-05
  • 修回日期:  2013-06-03
  • 刊出日期:  2014-01-25

双光纤相移点衍射干涉仪装调技术

    作者简介:

    张宇(1985- ),女,讲师,博士,主要从事光学检测方面的研究。Email:521zhangyu2008@163.com

基金项目:

东北电力大学博士科研启动基金(BSJXM-201218)

  • 中图分类号: O436.1

摘要: 为了实现对极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测,引入了双光纤相移点衍射干涉仪,介绍了其工作原理,并对干涉仪的装调方案进行了精密的设计。解决了各个元器件的精确定位问题,保证了进入光纤之前的测试光和参考光严格垂直, 实现了耦合系统与光纤之间最大的耦合效率和干涉条纹最大的条纹对比度, 为最终能够实现极紫外光刻物镜系统波像差的超高精度检测提供了前期准备。装调完毕后,利用实验装置对某一光学系统进行了测量,使用十三步相移算法还原被检光学系统波像差,得到了较好的结果,测试结果为:PV 值为37.82 nm,RMS 值为7.83 nm。

English Abstract

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