基于激光干涉法的曲率半径精密检测系统

代雷; 隋永新; 吴迪

基于激光干涉法的曲率半径精密检测系统

1.
中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春 130033;
2.
空军航空大学航空航天情报系,吉林长春 130022

基金项目:

国家科技重大专项支持（2009ZX02205）

详细信息

作者简介:
代雷（1986-），男，硕士，主要从事光学元件加工与检测方面的研究。Email：xiaomao_566@cimop.ac.cn

中图分类号: TH161;TQ171.6⁺

Precision of measuring system of radius of curvature using laser interference method

1.
State Key Laboratory of Applied Optics,Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China;
2.
Air and Space Intelligence Faculty,Air Force Aviation University,Changchun 130022,China

摘要: 为了满足光学元件曲率半径精密检测的需求，设计了应用激光干涉方法的曲率半径精密检测系统，实现了对口径100~300 mm，曲率半径500~2 000 mm光学元件曲率半径的高精度，非接触式测量。并分析了影响曲率半径测量结果的各项不确定度，进行不确定度合成。最终完成曲率半径精密检测系统的装调，进行验证实验，曲率半径测量结果相对不确定度约710-6，满足了1010-10的设计要求。
- 曲率半径测量 /
- 激光干涉 /
- 不确定度 /
- 干涉检验
Abstract: In order to meet the demand of precision measurement of radius of curvature, precision ROC measurement system was designed based on laser interferometry. High precision, non-contact ROC measurement of optic elements was achieved, whose diameter was 100-300 mm and ROC 500-200 mm. The factors of ROC measurement results was analyzed and combination of standard uncertainty was caculated. Installation and adjustment of the system and verification experiments was finished. The relative uncertainty of ROC experiment results is above 710-6, it can meet the design demand of 1010-10.
- radius of curvature /
- laser interference /
- uncertainty /
- interferometry

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1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室,吉林长春 130033;

2. 空军航空大学航空航天情报系,吉林长春 130022

作者简介:
代雷（1986-），男，硕士，主要从事光学元件加工与检测方面的研究。Email：xiaomao_566@cimop.ac.cn

English Abstract

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1. State Key Laboratory of Applied Optics,Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China;

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出版历程

基于激光干涉法的曲率半径精密检测系统

1. 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 应用光学国家重点实验室,吉林 长春 130033; 2. 空军航空大学 航空航天情报系,吉林 长春 130022

作者简介: 代雷（1986-），男，硕士，主要从事光学元件加工与检测方面的研究。Email：xiaomao_566@cimop.ac.cn

English Abstract

Precision of measuring system of radius of curvature using laser interference method

1. State Key Laboratory of Applied Optics,Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China; 2. Air and Space Intelligence Faculty,Air Force Aviation University,Changchun 130022,China

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代雷（1986-），男，硕士，主要从事光学元件加工与检测方面的研究。Email：xiaomao_566@cimop.ac.cn

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2. 空军航空大学航空航天情报系,吉林长春 130022

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代雷（1986-），男，硕士，主要从事光学元件加工与检测方面的研究。Email：xiaomao_566@cimop.ac.cn

1. State Key Laboratory of Applied Optics,Changchun Institute of Optics,Fine Mechanics and Physics,Chinese Academy of Sciences,Changchun 130033,China;

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