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锯齿槽闪耀光栅制作误差对衍射效率的影响

葛建平 沈为民 刘全 陈明辉

葛建平, 沈为民, 刘全, 陈明辉. 锯齿槽闪耀光栅制作误差对衍射效率的影响[J]. 红外与激光工程, 2013, 42(6): 1557-1561.
引用本文: 葛建平, 沈为民, 刘全, 陈明辉. 锯齿槽闪耀光栅制作误差对衍射效率的影响[J]. 红外与激光工程, 2013, 42(6): 1557-1561.
Ge Jianping, Shen Weimin, Liu Quan, Chen Minghui. Effect of fabrication errors on the diffraction efficiency of sawtooth blazed grating[J]. Infrared and Laser Engineering, 2013, 42(6): 1557-1561.
Citation: Ge Jianping, Shen Weimin, Liu Quan, Chen Minghui. Effect of fabrication errors on the diffraction efficiency of sawtooth blazed grating[J]. Infrared and Laser Engineering, 2013, 42(6): 1557-1561.

锯齿槽闪耀光栅制作误差对衍射效率的影响

基金项目: 

国防科工局专项课题

详细信息
    作者简介:

    葛建平(1986- ),男,硕士生,主要从事光栅衍射效率方面的研究。Email:sd.jianping.ge@163.com;沈为民(1963- ),男,研究员,博士生导师,博士,主要从事光学仪器与光学设计及空间光学方面的研究。Email:swm@suda.edu.cn

    葛建平(1986- ),男,硕士生,主要从事光栅衍射效率方面的研究。Email:sd.jianping.ge@163.com;沈为民(1963- ),男,研究员,博士生导师,博士,主要从事光学仪器与光学设计及空间光学方面的研究。Email:swm@suda.edu.cn

  • 中图分类号: O43

Effect of fabrication errors on the diffraction efficiency of sawtooth blazed grating

  • 摘要: 与矩形槽和正弦槽光栅相比,锯齿槽光栅具有高的衍射效率,可采用全息离子束刻蚀和单点金刚石车削两种方法制造。首先,介绍了这两种方法的制造误差。然后,分析了这些制造误差对用于可见近红外和长波红外成像光谱仪的光栅衍射效率的影响,指出闪耀角误差、槽顶角误差和刻刀圆弧半径是影响锯齿槽光栅衍射效率的关键因素。为制作高质量成像光谱仪用光栅奠定了理论基础和指导。
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出版历程
  • 收稿日期:  2012-10-22
  • 修回日期:  2012-11-20
  • 刊出日期:  2013-06-25

锯齿槽闪耀光栅制作误差对衍射效率的影响

    作者简介:

    葛建平(1986- ),男,硕士生,主要从事光栅衍射效率方面的研究。Email:sd.jianping.ge@163.com;沈为民(1963- ),男,研究员,博士生导师,博士,主要从事光学仪器与光学设计及空间光学方面的研究。Email:swm@suda.edu.cn

    葛建平(1986- ),男,硕士生,主要从事光栅衍射效率方面的研究。Email:sd.jianping.ge@163.com;沈为民(1963- ),男,研究员,博士生导师,博士,主要从事光学仪器与光学设计及空间光学方面的研究。Email:swm@suda.edu.cn

基金项目:

国防科工局专项课题

  • 中图分类号: O43

摘要: 与矩形槽和正弦槽光栅相比,锯齿槽光栅具有高的衍射效率,可采用全息离子束刻蚀和单点金刚石车削两种方法制造。首先,介绍了这两种方法的制造误差。然后,分析了这些制造误差对用于可见近红外和长波红外成像光谱仪的光栅衍射效率的影响,指出闪耀角误差、槽顶角误差和刻刀圆弧半径是影响锯齿槽光栅衍射效率的关键因素。为制作高质量成像光谱仪用光栅奠定了理论基础和指导。

English Abstract

参考文献 (25)

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