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子孔径拼接检测浅度非球面

王宁 贾辛 邢廷文

王宁, 贾辛, 邢廷文. 子孔径拼接检测浅度非球面[J]. 红外与激光工程, 2013, 42(9): 2525-2530.
引用本文: 王宁, 贾辛, 邢廷文. 子孔径拼接检测浅度非球面[J]. 红外与激光工程, 2013, 42(9): 2525-2530.
Wang Ning, Jia Xin, Xing Tingwen. Test of shallow asphere using sub-aperture stitching method[J]. Infrared and Laser Engineering, 2013, 42(9): 2525-2530.
Citation: Wang Ning, Jia Xin, Xing Tingwen. Test of shallow asphere using sub-aperture stitching method[J]. Infrared and Laser Engineering, 2013, 42(9): 2525-2530.

子孔径拼接检测浅度非球面

基金项目: 

微细加工光学技术研究课题

详细信息
    作者简介:

    王宁(1987-),女,硕士生,主要从事高精度非球面检测技术方面的研究。Email:kiko_2006@126.com;邢廷文(1965-),男,研究员,博士生导师,主要从事应用光学方面的研究。Email:xingtw@ioe.ac.cn

    王宁(1987-),女,硕士生,主要从事高精度非球面检测技术方面的研究。Email:kiko_2006@126.com;邢廷文(1965-),男,研究员,博士生导师,主要从事应用光学方面的研究。Email:xingtw@ioe.ac.cn

  • 中图分类号: TH741

Test of shallow asphere using sub-aperture stitching method

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出版历程
  • 收稿日期:  2013-01-20
  • 修回日期:  2013-02-21
  • 刊出日期:  2013-09-25

子孔径拼接检测浅度非球面

    作者简介:

    王宁(1987-),女,硕士生,主要从事高精度非球面检测技术方面的研究。Email:kiko_2006@126.com;邢廷文(1965-),男,研究员,博士生导师,主要从事应用光学方面的研究。Email:xingtw@ioe.ac.cn

    王宁(1987-),女,硕士生,主要从事高精度非球面检测技术方面的研究。Email:kiko_2006@126.com;邢廷文(1965-),男,研究员,博士生导师,主要从事应用光学方面的研究。Email:xingtw@ioe.ac.cn

基金项目:

微细加工光学技术研究课题

  • 中图分类号: TH741

摘要: 子孔径拼接技术可实现无需辅助元件且低成本、高精度地对大口径光学镜面的测量。针对浅度非球面,在用子孔径拼接检测平面和高陡度非球面的基础上,提出了利用圆形子孔径检测浅度非球面的算法。对其数学模型、拼接算法以及检测过程进行了分析和探讨。利用37项Zernike多项式拟合浅度非球面,用圆形子孔径进行了划分。最后完成子孔径的拼接仿真,验证了数学模型及拼接算法的可行性,同时分析了子孔径的平移、倾斜和随机误差对拼接精度的影响。

English Abstract

参考文献 (21)

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