子孔径拼接检测浅度非球面

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子孔径拼接检测浅度非球面

王宁, 贾辛, 邢廷文

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王宁, 贾辛, 邢廷文. 子孔径拼接检测浅度非球面[J]. 红外与激光工程, 2013, 42(9): 2525-2530.

引用本文:

王宁, 贾辛, 邢廷文. 子孔径拼接检测浅度非球面[J]. 红外与激光工程, 2013, 42(9): 2525-2530.

Wang Ning, Jia Xin, Xing Tingwen. Test of shallow asphere using sub-aperture stitching method[J]. Infrared and Laser Engineering, 2013, 42(9): 2525-2530.

Citation:

Wang Ning, Jia Xin, Xing Tingwen. Test of shallow asphere using sub-aperture stitching method[J]. Infrared and Laser Engineering, 2013, 42(9): 2525-2530.

子孔径拼接检测浅度非球面

王宁^1,2,
贾辛¹,
邢廷文¹

1.
中国科学院光电技术研究所,四川成都 610209;
2.
中国科学院大学,北京 100049

基金项目:

微细加工光学技术研究课题

作者简介:
王宁（1987-），女，硕士生，主要从事高精度非球面检测技术方面的研究。Email：kiko_2006@126.com；邢廷文（1965-），男，研究员，博士生导师，主要从事应用光学方面的研究。Email：xingtw@ioe.ac.cn

王宁（1987-），女，硕士生，主要从事高精度非球面检测技术方面的研究。Email：kiko_2006@126.com；邢廷文（1965-），男，研究员，博士生导师，主要从事应用光学方面的研究。Email：xingtw@ioe.ac.cn

中图分类号: TH741

Test of shallow asphere using sub-aperture stitching method

1.
Institute of Optics and Electronics,Chinese Academy of Sciences,Chengdu 610209,China;
2.
University of Chinese Academy of Sciences,Beijing 100049,China

摘要: 子孔径拼接技术可实现无需辅助元件且低成本、高精度地对大口径光学镜面的测量。针对浅度非球面，在用子孔径拼接检测平面和高陡度非球面的基础上，提出了利用圆形子孔径检测浅度非球面的算法。对其数学模型、拼接算法以及检测过程进行了分析和探讨。利用37项Zernike多项式拟合浅度非球面，用圆形子孔径进行了划分。最后完成子孔径的拼接仿真，验证了数学模型及拼接算法的可行性，同时分析了子孔径的平移、倾斜和随机误差对拼接精度的影响。
- 子孔径拼接 /
- 非球面 /
- 光学检测 /
- 误差 /
- 仿真
Abstract: Sub-aperture stitching technology can be used for testing large aperture optical mirrors with low-cost and high-precision and without supporting components. Based on planes and high steepness asphere, the algorithm of sub-aperture stitching for shallow asphere was detected. The mathematical model, stitching algorithm as well as the detection process were analyzed and discussed. A shallow asphere was fitted by 37 Zernike polynomials and divided by circular sub-apertures. Then the simulation of the sub-aperture stitching was completed as well as the analysis of the effect of the sub-aperture translation, tilt and random errors on stitching accuracy.
- sub-aperture stitching /
- asphere /
- optical test /
- error /
- simulation

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子孔径拼接检测浅度非球面

1. 中国科学院光电技术研究所,四川成都 610209;

2. 中国科学院大学,北京 100049

作者简介:
王宁（1987-），女，硕士生，主要从事高精度非球面检测技术方面的研究。Email：kiko_2006@126.com；邢廷文（1965-），男，研究员，博士生导师，主要从事应用光学方面的研究。Email：xingtw@ioe.ac.cn

王宁（1987-），女，硕士生，主要从事高精度非球面检测技术方面的研究。Email：kiko_2006@126.com；邢廷文（1965-），男，研究员，博士生导师，主要从事应用光学方面的研究。Email：xingtw@ioe.ac.cn

收稿日期: 2013-01-20
修回日期: 2013-02-21
刊出日期: 2013-09-25

基金项目:

微细加工光学技术研究课题

中图分类号: TH741

关键词:

摘要: 子孔径拼接技术可实现无需辅助元件且低成本、高精度地对大口径光学镜面的测量。针对浅度非球面，在用子孔径拼接检测平面和高陡度非球面的基础上，提出了利用圆形子孔径检测浅度非球面的算法。对其数学模型、拼接算法以及检测过程进行了分析和探讨。利用37项Zernike多项式拟合浅度非球面，用圆形子孔径进行了划分。最后完成子孔径的拼接仿真，验证了数学模型及拼接算法的可行性，同时分析了子孔径的平移、倾斜和随机误差对拼接精度的影响。

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