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扫描镜非接触式检测系统的位置误差分析

王洋 颜昌翔 汪逸群 高志良

王洋, 颜昌翔, 汪逸群, 高志良. 扫描镜非接触式检测系统的位置误差分析[J]. 红外与激光工程, 2013, 42(7): 1804-1808.
引用本文: 王洋, 颜昌翔, 汪逸群, 高志良. 扫描镜非接触式检测系统的位置误差分析[J]. 红外与激光工程, 2013, 42(7): 1804-1808.
Wang Yang, Yan Changxiang, Wang Yiqun, Gao Zhiliang. Position error analysis on non-contact testing system of scanning mirror[J]. Infrared and Laser Engineering, 2013, 42(7): 1804-1808.
Citation: Wang Yang, Yan Changxiang, Wang Yiqun, Gao Zhiliang. Position error analysis on non-contact testing system of scanning mirror[J]. Infrared and Laser Engineering, 2013, 42(7): 1804-1808.

扫描镜非接触式检测系统的位置误差分析

基金项目: 

国家863计划(2011AA12A103);中国地质调查局工作项目(1212011120227)

详细信息
    作者简介:

    王洋(1986-),女,博士生,主要从事光学检测方面的研究。Email:wangyang11.17@163.com;颜昌翔(1973-),男,研究员,博士,主要从事空间光学遥感技术方面的研究。Email:yancx@ciomp.an.cn

    王洋(1986-),女,博士生,主要从事光学检测方面的研究。Email:wangyang11.17@163.com;颜昌翔(1973-),男,研究员,博士,主要从事空间光学遥感技术方面的研究。Email:yancx@ciomp.an.cn

  • 中图分类号: TH741

Position error analysis on non-contact testing system of scanning mirror

  • 摘要: 为了满足非接触式扫描镜检测系统的位置检测精度要求,分析系统各误差源对扫描镜位置检测精度的影响,制定详细的系统总体误差分配方案。分析系统的主要误差源,根据系统相关参数,利用齐次坐标转换法,建立系统引入误差量的数学模型,计算各误差源的误差传递系数;参考误差传递系数,根据加工、装调和检测水平相关数据,应用蒙特卡罗法分析计算,进行误差分配。结果表明,目前的加工、装调能力无法达到该系统的精度要求,提出了一种依据目前的检测水平进行误差分配的方法,最终应用误差补偿实现扫描镜位置检测极限误差优于2.5。采用一字线激光器作为光源,通过0.5莱卡经纬仪和千分表进行检测,达到系统要求的检测精度。
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出版历程
  • 收稿日期:  2012-11-04
  • 修回日期:  2012-12-09
  • 刊出日期:  2013-07-25

扫描镜非接触式检测系统的位置误差分析

    作者简介:

    王洋(1986-),女,博士生,主要从事光学检测方面的研究。Email:wangyang11.17@163.com;颜昌翔(1973-),男,研究员,博士,主要从事空间光学遥感技术方面的研究。Email:yancx@ciomp.an.cn

    王洋(1986-),女,博士生,主要从事光学检测方面的研究。Email:wangyang11.17@163.com;颜昌翔(1973-),男,研究员,博士,主要从事空间光学遥感技术方面的研究。Email:yancx@ciomp.an.cn

基金项目:

国家863计划(2011AA12A103);中国地质调查局工作项目(1212011120227)

  • 中图分类号: TH741

摘要: 为了满足非接触式扫描镜检测系统的位置检测精度要求,分析系统各误差源对扫描镜位置检测精度的影响,制定详细的系统总体误差分配方案。分析系统的主要误差源,根据系统相关参数,利用齐次坐标转换法,建立系统引入误差量的数学模型,计算各误差源的误差传递系数;参考误差传递系数,根据加工、装调和检测水平相关数据,应用蒙特卡罗法分析计算,进行误差分配。结果表明,目前的加工、装调能力无法达到该系统的精度要求,提出了一种依据目前的检测水平进行误差分配的方法,最终应用误差补偿实现扫描镜位置检测极限误差优于2.5。采用一字线激光器作为光源,通过0.5莱卡经纬仪和千分表进行检测,达到系统要求的检测精度。

English Abstract

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