脉冲激光诱导TiO<sub>2</sub>/SiO<sub>2</sub>薄膜表面损伤性能实验

杨利红; 王涛; 韩锦涛; 苏俊宏

留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

脉冲激光诱导TiO₂/SiO₂薄膜表面损伤性能实验

杨利红, 王涛, 韩锦涛, 苏俊宏

文章导航 > 红外与激光工程 > 2014 > 43(2): 365-368

杨利红, 王涛, 韩锦涛, 苏俊宏. 脉冲激光诱导TiO2/SiO2薄膜表面损伤性能实验[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(2): 365-368.

引用本文:

杨利红, 王涛, 韩锦涛, 苏俊宏. 脉冲激光诱导TiO₂/SiO₂薄膜表面损伤性能实验[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(2): 365-368.

Yang Lihong, Wang Tao, Han Jintao, Su Junhong. Surface damage performance experiment of TiO2/SiO2 thin tilm by pulsed laser induced[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(2): 365-368.

Citation:

Yang Lihong, Wang Tao, Han Jintao, Su Junhong. Surface damage performance experiment of TiO₂/SiO₂ thin tilm by pulsed laser induced[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(2): 365-368.

脉冲激光诱导TiO₂/SiO₂薄膜表面损伤性能实验

1.
西安工业大学光电工程学院,陕西西安 710032

基金项目:

国家自然科学基金（61378050）;国家国际科技合作专项（2013DFR70620）;陕西省教育厅资助项目（12JK0996）

详细信息

作者简介:
杨利红（1974- ），女，副教授，硕士生导师，博士，主要从事光电检测技术、激光损伤测试等方面的研究。Email：ylh5188@163.com

中图分类号: TN248

Surface damage performance experiment of TiO₂/SiO₂ thin tilm by pulsed laser induced

1.
School of Optoelectronic Engineering,Xi'an Technological University,Xi'an 710032,China

摘要: 高功率的激光系统对光学元件的抗激光损伤性能的要求不断提高。主要研究薄膜在脉冲激光诱导作用下的损伤特性及其机理，实验采用YAG脉冲激光器对TiO2/SiO2薄膜样片进行1-on-1方式的激光诱导。实验结果表明：采用低能量激光诱导对薄膜的光学透过率影响不大。经低能量激光诱导后，薄膜的表面结构缺陷得以修复，表面结构趋于完整，变得均匀和细腻。脉冲激光诱导TiO2/SiO2薄膜样片，激光能量阶较小时，其损伤阈值随能量增加而增加，损伤阈值最大可增加1倍；激光能量阶较大时，其损伤阈值随能量增加而减小。
- 激光诱导 /
- 损伤阈值 /
- 激光能量阶
Abstract: Demand for optical element resistance of laser damage is higher and higher in the high power laser system. The damage characteristics and mechanism of film by pulse laser induced damage was researched. The experiments used by YAG pulsed laser for TiO2/SiO2 thin film were offered for 1-on-1 way of laser induced. The experimental results show that the impact on the optical transmittance of thin film is not big in low energy laser induced. Under the low energy laser induced, film surface structure defect is repaired. The surface structure tends to be complete, and becomes uniform and fine. Under pulsed laser induced TiO2/SiO2 thin film, when the laser energy order is smaller, the laser damage threshold of thin film increases with the increased energy, damage threshold maximum can increase 1 times. When the laser energy order is bigger, thin film damage threshold decreases with the increased energy order.
- laser induced /
- damage threshold /
- laser energy order

[1]
[2]	Bu Yikun, Zhao Li, Zheng Quan. Design method of high damage threshold laser mirror[J]. Infrared and Laser Engineering, 2006, 35(2): 183-186. (in Chinese)
[3]
[4]	Manfred Rahe, Reinhard Kunze, Holger Schmidt. Absorption and damage threshold of KCI and KBr at 10.6 m[C]//SPIE, 1992, 1624: 15-46.
[5]
[6]	Ephstein E M. Scattering of electrons by phonons in a strong radiation field[J]. Sov Phys -JETP, 1970, 41(10): 2213-2217.
[7]	Hu Jianping, Ma Ping, Xu Qiao. Damage threshold measurement of the optical elements[J]. Infrared and Laser Engineering, 2006, 35(2): 187-191. (in Chinese)
[8]
[9]
[10]	Ni Xiaowu, Lu Jian, He Anzhi. Study of damage mechanism of optical dieleetric film by high power laser[J]. Laser Technology, 1994, 18(6): 348-351. (in Chinese)
[11]
[12]	Huang Zuxin, Jiang Xiaodong, Ren Huan, et al. Study of laser conditioning influence on properties of optical films[J].High Power Laser And Particle Beams, 2004, 16(1): 23-26. (in Chinese)
[13]
[14]	Kaiaer N, Anton B, Janchen H, et al. Laser conditioning of LaF3/MgF2 dielectric coatings for excimer lasers[C]//SPIE, 1995, 2428: 400-409.
[15]	Cui Yun, Zhao Yuanan, Jin Yunxia, et al. Influence of laser conditioning on laser induced damage threshold of antireflection layer[J]. Chinese Journal of Vacuum Science and Technology, 2006, 26(4): 321-325. (in Chinese)
[16]
[17]
[18]	Li Xiao, Liu Xiaofeng, Zhao Yuan'an, et al. Influence of laser-conditioning on defects of SiO2 mono-layer films[J]. Chinese Journal of Lasers, 2010, 37(6): 1626-1630. (in Chinese)
[19]	Wei Chaoyang, Zhao Yuanan, He Hongbo, et al. Laser conditioning on optical thin film components[J]. Laser Optoelectronics Progress, 2005, 42(5): 51-55. (in Chinese)

[1]	刘红煦, 王頔, 李晨昂, 魏智, 金光勇, 张艳鹏, 于迪. 长脉冲致硅基 QPD损伤面积及形貌实验研究 . 红外与激光工程, 2021, 50(4): 20200455-1-20200455-7. doi: 10.3788/IRLA20200455
[2]	盛泉, 司汉英, 张海伟, 张钧翔, 丁宇, 史伟, 姚建铨. 高功率光纤激光器反向光放大和损伤特性数值分析 . 红外与激光工程, 2020, 49(): 1-6.
[3]	盛泉, 司汉英, 安建民, 张海伟, 张钧翔, 丁宇, 李升才, 史伟, 姚建铨. 高功率光纤激光器反向光放大和损伤特性数值分析 . 红外与激光工程, 2020, 49(10): 20200009-1-20200009-7. doi: 10.3788/IRLA20200009
[4]	李南, 乔春红, 范承玉, 杨高潮. 大能量长脉冲激光能量计吸收体温度特性 . 红外与激光工程, 2018, 47(4): 406004-0406004(6). doi: 10.3788/IRLA201847.0406004
[5]	王彦斌, 刘艳芳, 陈前荣, 李华, 周旋风, 任广森, 朱荣臻. CCD光敏面上激光能量的网状分布 . 红外与激光工程, 2018, 47(S1): 125-131. doi: 10.3788/IRLA201847.S120005
[6]	李志明, 王玺, 聂劲松, 胡瑜泽. 飞秒激光诱导硅表面高频周期结构 . 红外与激光工程, 2018, 47(1): 106003-0106003(6). doi: 10.3788/IRLA201847.0106003
[7]	李旭东, 周益平, 闫仁鹏, 潘虎, 陈德应, 周忠祥. 应用于高速平面激光诱导荧光的激光器研究 . 红外与激光工程, 2017, 46(12): 1205001-1205001(6). doi: 10.3788/IRLA201746.1205001
[8]	徐均琪, 苏俊宏, 葛锦蔓, 基玛格拉索夫. 光学薄膜激光损伤阈值测量不确定度 . 红外与激光工程, 2017, 46(8): 806007-0806007(7). doi: 10.3788/IRLA201746.0806007
[9]	王凤蕊, 李青芝, 郭德成, 黄进, 耿锋. KDP晶体激光预处理参数的优化 . 红外与激光工程, 2017, 46(3): 321005-0321005(6). doi: 10.3788/IRLA201746.0321005
[10]	马欲飞, 何应, 于欣, 陈德应, 孙锐. 用于激光诱导等离子体点火技术的激光源研究进展 . 红外与激光工程, 2016, 45(11): 1136003-1136003(6). doi: 10.3788/IRLA201645.1136003
[11]	杨成娟, 梅雪松, 王文君, 田延岭, 张大卫, 崔良玉. 皮秒激光功率变化对激光诱导晶体硅变化的影响 . 红外与激光工程, 2016, 45(1): 106006-0106006(7). doi: 10.3788/IRLA201645.0106006
[12]	赵阳, 何宇, 焦宏飞, 张锦龙, 程鑫彬, 刘华松, 李刚正, 吴晓鸣. 铥激光器腔镜用高损伤阈值氧化物薄膜的研制 . 红外与激光工程, 2016, 45(5): 521001-0521001(5). doi: 10.3788/IRLA201645.0521001
[13]	于军立, 孟庆龙, 叶荣, 钟哲强, 张彬. 飞秒激光作用下光整流晶体的损伤阈值分析 . 红外与激光工程, 2016, 45(1): 106004-0106004(6). doi: 10.3788/IRLA201645.0106004
[14]	赵中华, 辛海燕, 王晓宇. 激光诱导声信号通信技术的初步研究 . 红外与激光工程, 2015, 44(3): 863-866.
[15]	冯爱新, 庄绪华, 薛伟, 韩振春, 孙铁囤, 陈风国, 钟国旗, 印成, 何叶. 1 064 nm、532 nm、355 nm波长脉冲激光辐照多晶硅损伤特性研究 . 红外与激光工程, 2015, 44(2): 461-465.
[16]	高永利, 何旭, 李红梅, 刘凤山, 李向荣, 刘福水. 激光能量密度对激光诱导炽光技术测试碳烟粒径的影响 . 红外与激光工程, 2014, 43(8): 2425-2430.
[17]	詹光达, 马彬, 张艳云, 马宏平. 预处理效应对1 064 nm 反射膜本征损伤性能的影响 . 红外与激光工程, 2014, 43(6): 1715-1721.
[18]	田秀芹, 肖思, 陶少华, 袁战忠, 周炎强. 飞秒超短脉冲激光对硅太阳能电池的损伤阈值研究 . 红外与激光工程, 2014, 43(3): 676-680.
[19]	戢运峰, 刘卫平, 段刘华, 姜畅, 何中敏, 徐作冬, 王飞, 王莉. 快平衡全吸收式高能激光能量计 . 红外与激光工程, 2013, 42(2): 387-391.
[20]	汤伟, 邵俊峰, 赵帅, 王挺峰, 郭劲. 高重频CO₂激光对Hg_0.826Cd_0.174Te晶体的损伤 . 红外与激光工程, 2013, 42(10): 2663-2668.

点击查看大图

计量

文章访问数: 270
HTML全文浏览量: 32
PDF下载量: 148
被引次数: 0

脉冲激光诱导TiO₂/SiO₂薄膜表面损伤性能实验

1. 西安工业大学光电工程学院,陕西西安 710032

作者简介:
杨利红（1974- ），女，副教授，硕士生导师，博士，主要从事光电检测技术、激光损伤测试等方面的研究。Email：ylh5188@163.com

收稿日期: 2013-06-17
修回日期: 2013-07-10
刊出日期: 2014-02-25

基金项目:

国家自然科学基金（61378050）;国家国际科技合作专项（2013DFR70620）;陕西省教育厅资助项目（12JK0996）

中图分类号: TN248

关键词:

摘要: 高功率的激光系统对光学元件的抗激光损伤性能的要求不断提高。主要研究薄膜在脉冲激光诱导作用下的损伤特性及其机理，实验采用YAG脉冲激光器对TiO2/SiO2薄膜样片进行1-on-1方式的激光诱导。实验结果表明：采用低能量激光诱导对薄膜的光学透过率影响不大。经低能量激光诱导后，薄膜的表面结构缺陷得以修复，表面结构趋于完整，变得均匀和细腻。脉冲激光诱导TiO2/SiO2薄膜样片，激光能量阶较小时，其损伤阈值随能量增加而增加，损伤阈值最大可增加1倍；激光能量阶较大时，其损伤阈值随能量增加而减小。

English Abstract

全文HTML

参考文献 (19)

下载: 全尺寸图片幻灯片

返回文章

用微信扫码二维码

分享至好友和朋友圈

留言板

脉冲激光诱导TiO2/SiO2薄膜表面损伤性能实验

作者简介: 杨利红（1974- ），女，副教授，硕士生导师，博士，主要从事光电检测技术、激光损伤测试等方面的研究。Email：ylh5188@163.com

Surface damage performance experiment of TiO2/SiO2 thin tilm by pulsed laser induced

计量

出版历程

脉冲激光诱导TiO2/SiO2薄膜表面损伤性能实验

1. 西安工业大学 光电工程学院,陕西 西安 710032

作者简介: 杨利红（1974- ），女，副教授，硕士生导师，博士，主要从事光电检测技术、激光损伤测试等方面的研究。Email：ylh5188@163.com

English Abstract

Surface damage performance experiment of TiO2/SiO2 thin tilm by pulsed laser induced

1. School of Optoelectronic Engineering,Xi'an Technological University,Xi'an 710032,China

全文HTML

目录

脉冲激光诱导TiO₂/SiO₂薄膜表面损伤性能实验

作者简介:
杨利红（1974- ），女，副教授，硕士生导师，博士，主要从事光电检测技术、激光损伤测试等方面的研究。Email：ylh5188@163.com

Surface damage performance experiment of TiO₂/SiO₂ thin tilm by pulsed laser induced

脉冲激光诱导TiO₂/SiO₂薄膜表面损伤性能实验

1. 西安工业大学光电工程学院,陕西西安 710032

作者简介:
杨利红（1974- ），女，副教授，硕士生导师，博士，主要从事光电检测技术、激光损伤测试等方面的研究。Email：ylh5188@163.com

Surface damage performance experiment of TiO₂/SiO₂ thin tilm by pulsed laser induced