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硅化铂红外焦平面探测器性能改进技术分析

康冰心 蔡毅 王岭雪 薛唯 高岳

康冰心, 蔡毅, 王岭雪, 薛唯, 高岳. 硅化铂红外焦平面探测器性能改进技术分析[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(3): 742-748.
引用本文: 康冰心, 蔡毅, 王岭雪, 薛唯, 高岳. 硅化铂红外焦平面探测器性能改进技术分析[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(3): 742-748.
Kang Bingxin, Cai Yi, Wang Lingxue, Xue Wei, Gao Yue. Technologies of performance improvement for platinum silicide infrared focal plane array[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(3): 742-748.
Citation: Kang Bingxin, Cai Yi, Wang Lingxue, Xue Wei, Gao Yue. Technologies of performance improvement for platinum silicide infrared focal plane array[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(3): 742-748.

硅化铂红外焦平面探测器性能改进技术分析

基金项目: 

高等学校博士学科点专项科研基金(20131101110024)

详细信息
    作者简介:

    康冰心(1984-),女,博士生,主要从事红外探测器、红外成像等方面的研究。Email:binxin1985@163.com;蔡毅(1959-),男,研究员,博士生导师,博士,主要从事红外技术、光电系统总体的研究。Email:caiy69@163.com

    康冰心(1984-),女,博士生,主要从事红外探测器、红外成像等方面的研究。Email:binxin1985@163.com;蔡毅(1959-),男,研究员,博士生导师,博士,主要从事红外技术、光电系统总体的研究。Email:caiy69@163.com

    通讯作者: 王岭雪(1973-),女,副教授,博士,主要从事红外成像、图像处理、红外光谱方面的研究。Email:neobull@bit.edu.cn
  • 中图分类号: TN215

Technologies of performance improvement for platinum silicide infrared focal plane array

  • 摘要: 硅化铂红外焦平面探测器具有响应光谱宽、规模大、均匀性好、时间稳定性高、制造成本低等优点,在多/宽光谱成像、激光探测、天文观测、医疗检测等领域具有应用潜力,但NETD 100 mK 的灵敏度对其广泛应用有一定的限制。文中从该探测器的量子效率和填充因子两方面总结和分析了国内外的改进技术,重点分析了光腔结构、多孔硅结构、重掺杂P+和合适硅化铂膜厚提高量子效率的机理,并定量比较了提升幅度:多孔硅结构提升幅度最大,在波长4 m 处的量子效率可达27%;相比内线转移CCD,电荷扫描器件、曲流沟道CCD 和混合读出结构均能改善填充因子,其中混合读出结构的填充因子可提高为80%。微透镜列阵能将填充因子提高到85%以上。
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-07-11
  • 修回日期:  2013-08-15
  • 刊出日期:  2014-03-25

硅化铂红外焦平面探测器性能改进技术分析

    作者简介:

    康冰心(1984-),女,博士生,主要从事红外探测器、红外成像等方面的研究。Email:binxin1985@163.com;蔡毅(1959-),男,研究员,博士生导师,博士,主要从事红外技术、光电系统总体的研究。Email:caiy69@163.com

    康冰心(1984-),女,博士生,主要从事红外探测器、红外成像等方面的研究。Email:binxin1985@163.com;蔡毅(1959-),男,研究员,博士生导师,博士,主要从事红外技术、光电系统总体的研究。Email:caiy69@163.com

    通讯作者: 王岭雪(1973-),女,副教授,博士,主要从事红外成像、图像处理、红外光谱方面的研究。Email:neobull@bit.edu.cn
基金项目:

高等学校博士学科点专项科研基金(20131101110024)

  • 中图分类号: TN215

摘要: 硅化铂红外焦平面探测器具有响应光谱宽、规模大、均匀性好、时间稳定性高、制造成本低等优点,在多/宽光谱成像、激光探测、天文观测、医疗检测等领域具有应用潜力,但NETD 100 mK 的灵敏度对其广泛应用有一定的限制。文中从该探测器的量子效率和填充因子两方面总结和分析了国内外的改进技术,重点分析了光腔结构、多孔硅结构、重掺杂P+和合适硅化铂膜厚提高量子效率的机理,并定量比较了提升幅度:多孔硅结构提升幅度最大,在波长4 m 处的量子效率可达27%;相比内线转移CCD,电荷扫描器件、曲流沟道CCD 和混合读出结构均能改善填充因子,其中混合读出结构的填充因子可提高为80%。微透镜列阵能将填充因子提高到85%以上。

English Abstract

参考文献 (19)

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