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锰钴镍铜氧薄膜红外探测器制备与性能研究

周炜 欧阳程 吴敬 高艳卿 黄志明

周炜, 欧阳程, 吴敬, 高艳卿, 黄志明. 锰钴镍铜氧薄膜红外探测器制备与性能研究[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(4): 1073-1079.
引用本文: 周炜, 欧阳程, 吴敬, 高艳卿, 黄志明. 锰钴镍铜氧薄膜红外探测器制备与性能研究[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(4): 1073-1079.
Zhou Wei, Ouyang Cheng, Wu Jing, Gao Yanqing, Huang Zhiming. Investigation on preparation method and performance of Mn1.56Co0.96-xNi0.48CuxO4 thin film IR detector[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(4): 1073-1079.
Citation: Zhou Wei, Ouyang Cheng, Wu Jing, Gao Yanqing, Huang Zhiming. Investigation on preparation method and performance of Mn1.56Co0.96-xNi0.48CuxO4 thin film IR detector[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(4): 1073-1079.

锰钴镍铜氧薄膜红外探测器制备与性能研究

基金项目: 

国家自然科学基金(11204336,61275111);上海市自然科学基金(12ZR1452200);中国科学院上海技术物理研究所创新专项(Q-ZY-96,Q-ZY-89)

详细信息
    作者简介:

    周炜(1987- ),男,博士生,主要从事锰氧化物半导体材料与器件研究。Email:zhouwei@mail.sitp.ac.cn;黄志明(1971- ),男,研究员,博士生导师,主要从事半导体材料与光电性质的研究。Email:zmhuang@mail.sitp.ac.cn

    周炜(1987- ),男,博士生,主要从事锰氧化物半导体材料与器件研究。Email:zhouwei@mail.sitp.ac.cn;黄志明(1971- ),男,研究员,博士生导师,主要从事半导体材料与光电性质的研究。Email:zmhuang@mail.sitp.ac.cn

  • 中图分类号: TN215

Investigation on preparation method and performance of Mn1.56Co0.96-xNi0.48CuxO4 thin film IR detector

  • 摘要: 报道了锰钴镍铜氧薄膜(Mn1.56Co0.96-xNi0.48CuxO4,MCNC,x=0,0.08,0.16,0.24)的红外探测器件的制备过程及器件性能。通过改变掺杂Cu的比例,制作了系列MCNC薄膜材料及红外探测器件。实验结果表明,对于一定厚度及尺寸的薄膜器件,铜的掺入能显著减小器件的阻值及器件噪声,弥补了负温度系数的减小的缺点。器件时间常数约为20~40ms。掺铜量为0.24的薄膜器件的探测率为0.83107cmHz1/2W-1,相比同样规格的锰钴镍器件提高了约130%。此外,对于MCNC薄膜器件的老化现象进行了初步探讨。
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-08-15
  • 修回日期:  2013-09-25
  • 刊出日期:  2014-04-25

锰钴镍铜氧薄膜红外探测器制备与性能研究

    作者简介:

    周炜(1987- ),男,博士生,主要从事锰氧化物半导体材料与器件研究。Email:zhouwei@mail.sitp.ac.cn;黄志明(1971- ),男,研究员,博士生导师,主要从事半导体材料与光电性质的研究。Email:zmhuang@mail.sitp.ac.cn

    周炜(1987- ),男,博士生,主要从事锰氧化物半导体材料与器件研究。Email:zhouwei@mail.sitp.ac.cn;黄志明(1971- ),男,研究员,博士生导师,主要从事半导体材料与光电性质的研究。Email:zmhuang@mail.sitp.ac.cn

基金项目:

国家自然科学基金(11204336,61275111);上海市自然科学基金(12ZR1452200);中国科学院上海技术物理研究所创新专项(Q-ZY-96,Q-ZY-89)

  • 中图分类号: TN215

摘要: 报道了锰钴镍铜氧薄膜(Mn1.56Co0.96-xNi0.48CuxO4,MCNC,x=0,0.08,0.16,0.24)的红外探测器件的制备过程及器件性能。通过改变掺杂Cu的比例,制作了系列MCNC薄膜材料及红外探测器件。实验结果表明,对于一定厚度及尺寸的薄膜器件,铜的掺入能显著减小器件的阻值及器件噪声,弥补了负温度系数的减小的缺点。器件时间常数约为20~40ms。掺铜量为0.24的薄膜器件的探测率为0.83107cmHz1/2W-1,相比同样规格的锰钴镍器件提高了约130%。此外,对于MCNC薄膜器件的老化现象进行了初步探讨。

English Abstract

参考文献 (23)

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