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光学薄膜减散射特性研究

潘永强 陈佳

潘永强, 陈佳. 光学薄膜减散射特性研究[J]. 红外与激光工程, 2016, 45(1): 118007-0118007(5). doi: 10.3788/IRLA201645.0118007
引用本文: 潘永强, 陈佳. 光学薄膜减散射特性研究[J]. 红外与激光工程, 2016, 45(1): 118007-0118007(5). doi: 10.3788/IRLA201645.0118007
Pan Yongqiang, Chen Jia. Anti-scattering properties of optical thin film[J]. Infrared and Laser Engineering, 2016, 45(1): 118007-0118007(5). doi: 10.3788/IRLA201645.0118007
Citation: Pan Yongqiang, Chen Jia. Anti-scattering properties of optical thin film[J]. Infrared and Laser Engineering, 2016, 45(1): 118007-0118007(5). doi: 10.3788/IRLA201645.0118007

光学薄膜减散射特性研究

doi: 10.3788/IRLA201645.0118007
基金项目: 

陕西省自然科学基础研究计划(2014JM8333);陕西省教育厅专项科研计划(2013JK1108)

详细信息
    作者简介:

    潘永强(1974-),男,教授,硕士生导师,博士,主要从事薄膜工艺与薄膜检测技术方面的研究。Email:pyq_867@163.com

  • 中图分类号: O484

Anti-scattering properties of optical thin film

  • 摘要: 为了降低光学薄膜的表面散射损耗,依据微粗糙面的一阶微扰理论,在不考虑多重散射效应的情况下,利用电磁场边界条件给出的光学薄膜任一界面粗糙度引起的散射场在入射介质中的表达式,重点讨论了单层光学薄膜实现零散射的条件以及实现减散射的条件,理论研究结果表明:当膜层的光学厚度为/4的偶数倍时,单层薄膜要实现减散射就必须使单层膜的折射率大于基底的折射率,且空气-薄膜界面的微粗糙度必须小于薄膜-基底界面之间的微粗糙度。当膜层的光学厚度为/4的奇数倍时,单层薄膜的折射率小于基底的折射率,且膜层两个界面的粗糙度必须满足特定条件,才能实现减散射的效果。
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出版历程
  • 收稿日期:  2015-05-05
  • 修回日期:  2015-06-03
  • 刊出日期:  2016-01-25

光学薄膜减散射特性研究

doi: 10.3788/IRLA201645.0118007
    作者简介:

    潘永强(1974-),男,教授,硕士生导师,博士,主要从事薄膜工艺与薄膜检测技术方面的研究。Email:pyq_867@163.com

基金项目:

陕西省自然科学基础研究计划(2014JM8333);陕西省教育厅专项科研计划(2013JK1108)

  • 中图分类号: O484

摘要: 为了降低光学薄膜的表面散射损耗,依据微粗糙面的一阶微扰理论,在不考虑多重散射效应的情况下,利用电磁场边界条件给出的光学薄膜任一界面粗糙度引起的散射场在入射介质中的表达式,重点讨论了单层光学薄膜实现零散射的条件以及实现减散射的条件,理论研究结果表明:当膜层的光学厚度为/4的偶数倍时,单层薄膜要实现减散射就必须使单层膜的折射率大于基底的折射率,且空气-薄膜界面的微粗糙度必须小于薄膜-基底界面之间的微粗糙度。当膜层的光学厚度为/4的奇数倍时,单层薄膜的折射率小于基底的折射率,且膜层两个界面的粗糙度必须满足特定条件,才能实现减散射的效果。

English Abstract

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