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发散角对中性原子沉积特性的影响

张文涛 朱保华 汪杰君 张宝武 熊显名

张文涛, 朱保华, 汪杰君, 张宝武, 熊显名. 发散角对中性原子沉积特性的影响[J]. 红外与激光工程, 2016, 45(3): 306003-0306003(5). doi: 10.3788/IRLA201645.0306003
引用本文: 张文涛, 朱保华, 汪杰君, 张宝武, 熊显名. 发散角对中性原子沉积特性的影响[J]. 红外与激光工程, 2016, 45(3): 306003-0306003(5). doi: 10.3788/IRLA201645.0306003
Zhang Wentao, Zhu Baohua, Wang Jiejun, Zhang Baowu, Xiong Xianming. Effects of divergence angle on deposition of neutral atoms[J]. Infrared and Laser Engineering, 2016, 45(3): 306003-0306003(5). doi: 10.3788/IRLA201645.0306003
Citation: Zhang Wentao, Zhu Baohua, Wang Jiejun, Zhang Baowu, Xiong Xianming. Effects of divergence angle on deposition of neutral atoms[J]. Infrared and Laser Engineering, 2016, 45(3): 306003-0306003(5). doi: 10.3788/IRLA201645.0306003

发散角对中性原子沉积特性的影响

doi: 10.3788/IRLA201645.0306003
基金项目: 

国家自然科学基金(61565004);广西自然科学基金(2014GXNSFGA118003,2013GXNSFOA019002);广西教育厅基金(ZD2014057,KY2015B103);桂林市科学研究与技术开发项目(20140127-1,20150133-3)

详细信息
    作者简介:

    张文涛(1976-),男,教授,博士,主要从事光电检测、纳米计量方面的研究。Email:243515827@qq.com

  • 中图分类号: O436.1

Effects of divergence angle on deposition of neutral atoms

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出版历程
  • 收稿日期:  2015-07-06
  • 修回日期:  2015-08-10
  • 刊出日期:  2016-03-25

发散角对中性原子沉积特性的影响

doi: 10.3788/IRLA201645.0306003
    作者简介:

    张文涛(1976-),男,教授,博士,主要从事光电检测、纳米计量方面的研究。Email:243515827@qq.com

基金项目:

国家自然科学基金(61565004);广西自然科学基金(2014GXNSFGA118003,2013GXNSFOA019002);广西教育厅基金(ZD2014057,KY2015B103);桂林市科学研究与技术开发项目(20140127-1,20150133-3)

  • 中图分类号: O436.1

摘要: 利用激光驻波场操纵中性原子沉积纳米光栅结构是一种新颖的制备纳米计量标准技术,但采用传统的一维和二维方式对激光驻波场操纵中性原子沉积过程的分析缺乏纳米光栅的全貌信息,而采用三维分析方法则能给出纳米光栅的三维全貌信息,对结果的分析越精确。针对此,基于采用三维分析方法建立了激光驻波场与中性原子作用的模型,通过三维分析实现了不同原子束发散角条件下中性原子运动轨迹及沉积结果的三维仿真,结果显示当中性原子束发散角小于0.6 mrad时,所获得的纳米光栅的沉积质量较好,而超过0.6 mrad后所沉积的纳米光栅将会出现分裂现象。

English Abstract

参考文献 (12)

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