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连续分振幅式高功率准分子激光角多路编码光路设计

胡云 王大辉 赵学庆

胡云, 王大辉, 赵学庆. 连续分振幅式高功率准分子激光角多路编码光路设计[J]. 红外与激光工程, 2016, 45(6): 606001-0606001(5). doi: 10.3788/IRLA201645.0606001
引用本文: 胡云, 王大辉, 赵学庆. 连续分振幅式高功率准分子激光角多路编码光路设计[J]. 红外与激光工程, 2016, 45(6): 606001-0606001(5). doi: 10.3788/IRLA201645.0606001
Hu Yun, Wang Dahui, Zhao Xueqing. Sequential amplitude divided angular multiplexing encoding optical system design for high power excimer laser system[J]. Infrared and Laser Engineering, 2016, 45(6): 606001-0606001(5). doi: 10.3788/IRLA201645.0606001
Citation: Hu Yun, Wang Dahui, Zhao Xueqing. Sequential amplitude divided angular multiplexing encoding optical system design for high power excimer laser system[J]. Infrared and Laser Engineering, 2016, 45(6): 606001-0606001(5). doi: 10.3788/IRLA201645.0606001

连续分振幅式高功率准分子激光角多路编码光路设计

doi: 10.3788/IRLA201645.0606001
基金项目: 

激光与物质相互作用国家重点实验室基金项目(SKLLIM1105)

详细信息
    作者简介:

    胡云(1983-),男,助理研究员,博士,主要从事激光技术及等离子体物理研究。Email:huyun@mail.ustc.edu.cn

  • 中图分类号: TN248.2

Sequential amplitude divided angular multiplexing encoding optical system design for high power excimer laser system

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出版历程
  • 收稿日期:  2015-10-05
  • 修回日期:  2015-11-15
  • 刊出日期:  2016-06-25

连续分振幅式高功率准分子激光角多路编码光路设计

doi: 10.3788/IRLA201645.0606001
    作者简介:

    胡云(1983-),男,助理研究员,博士,主要从事激光技术及等离子体物理研究。Email:huyun@mail.ustc.edu.cn

基金项目:

激光与物质相互作用国家重点实验室基金项目(SKLLIM1105)

  • 中图分类号: TN248.2

摘要: 在高功率准分子激光系统中,一般采用光学角多路技术来获得高能量窄脉冲输出。文中介绍了角多路技术原理,提出了一种采用矩形阵列和空间层叠光路结构的连续分振幅两次编码方式,并针对该实验室的XeCl高功率准分子激光系统进行了具体的编码光路设计,给出了设计实例。该方法具有编码结构紧凑,编码精度高,与光路准直、激光参数测量系统等兼容性好,便于加工制作和安装调节等优点,目前已在系统中应用,效果良好。

English Abstract

参考文献 (8)

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