留言板

尊敬的读者、作者、审稿人, 关于本刊的投稿、审稿、编辑和出版的任何问题, 您可以本页添加留言。我们将尽快给您答复。谢谢您的支持!

姓名
邮箱
手机号码
标题
留言内容
验证码

双静电四极透镜点聚焦特性分析与仿真

袁伟 樊荣伟 于欣 陈德应

袁伟, 樊荣伟, 于欣, 陈德应. 双静电四极透镜点聚焦特性分析与仿真[J]. 红外与激光工程, 2016, 45(6): 618001-0618001(5). doi: 10.3788/IRLA201645.0618001
引用本文: 袁伟, 樊荣伟, 于欣, 陈德应. 双静电四极透镜点聚焦特性分析与仿真[J]. 红外与激光工程, 2016, 45(6): 618001-0618001(5). doi: 10.3788/IRLA201645.0618001
Yuan Wei, Fan Rongwei, Yu Xin, Chen Deying. Analysis and simulation of point-focusing property of a quadrupole lens pair[J]. Infrared and Laser Engineering, 2016, 45(6): 618001-0618001(5). doi: 10.3788/IRLA201645.0618001
Citation: Yuan Wei, Fan Rongwei, Yu Xin, Chen Deying. Analysis and simulation of point-focusing property of a quadrupole lens pair[J]. Infrared and Laser Engineering, 2016, 45(6): 618001-0618001(5). doi: 10.3788/IRLA201645.0618001

双静电四极透镜点聚焦特性分析与仿真

doi: 10.3788/IRLA201645.0618001
基金项目: 

国家重大科学仪器设备开发专项资金(2012YQ040164)

详细信息
    作者简介:

    袁伟(1991-),男,硕士生,主要从事电子光学系统方面的研究。Email:yuanwei4523691@163.com

  • 中图分类号: TN16

Analysis and simulation of point-focusing property of a quadrupole lens pair

计量
  • 文章访问数:  332
  • HTML全文浏览量:  53
  • PDF下载量:  205
  • 被引次数: 0
出版历程
  • 收稿日期:  2015-10-05
  • 修回日期:  2015-11-03
  • 刊出日期:  2016-06-25

双静电四极透镜点聚焦特性分析与仿真

doi: 10.3788/IRLA201645.0618001
    作者简介:

    袁伟(1991-),男,硕士生,主要从事电子光学系统方面的研究。Email:yuanwei4523691@163.com

基金项目:

国家重大科学仪器设备开发专项资金(2012YQ040164)

  • 中图分类号: TN16

摘要: 静电四级透镜具有优越的电子光学聚焦成像性能,单一静电四极透镜可实现电子束线聚焦,组合静电四极透镜系统拥有点聚焦的能力。文中对实现点聚焦的双静电四极透镜系统相关参数进行了计算,利用电子光学软件SIMION仿真发现,静电四极透镜之间的畸变场与两端的边缘场引起的像差会严重影响系统聚焦成像质量。仿真分析了系统像差与发射电子初动能的关系。结果表明:系统在保证点聚焦的情况下,增加电子发射初动能可以有效减小系统像差;当电子初动能增加至1105 eV时,最大发散角为2的电子束在聚焦平面上的弥散斑减小至3.2m28m。

English Abstract

参考文献 (8)

目录

    /

    返回文章
    返回