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横向压电效应变形镜优化设计

吴伟彬 戴一帆 关朝亮 范占斌 钟曜宇

吴伟彬, 戴一帆, 关朝亮, 范占斌, 钟曜宇. 横向压电效应变形镜优化设计[J]. 红外与激光工程, 2016, 45(8): 818003-0818003(7). doi: 10.3788/IRLA201645.0818003
引用本文: 吴伟彬, 戴一帆, 关朝亮, 范占斌, 钟曜宇. 横向压电效应变形镜优化设计[J]. 红外与激光工程, 2016, 45(8): 818003-0818003(7). doi: 10.3788/IRLA201645.0818003
Wu Weibin, Dai Yifan, Guan Chaoliang, Fan Zhanbin, Zhong Yaoyu. Optimization design for transversal piezoelectric effect deformable mirror[J]. Infrared and Laser Engineering, 2016, 45(8): 818003-0818003(7). doi: 10.3788/IRLA201645.0818003
Citation: Wu Weibin, Dai Yifan, Guan Chaoliang, Fan Zhanbin, Zhong Yaoyu. Optimization design for transversal piezoelectric effect deformable mirror[J]. Infrared and Laser Engineering, 2016, 45(8): 818003-0818003(7). doi: 10.3788/IRLA201645.0818003

横向压电效应变形镜优化设计

doi: 10.3788/IRLA201645.0818003
基金项目: 

新世纪优秀人才资助计划(NCET-12-0144)

详细信息
    作者简介:

    吴伟彬(1992-),男,硕士生,主要从事自适应光学方面的研究。Email:459804305@qq.com

  • 中图分类号: O438

Optimization design for transversal piezoelectric effect deformable mirror

  • 摘要: 变形镜作为自适应光学系统中的关键部件,起到校正波前误差的作用。其中横向压电效应变形镜应用较为广泛,其设计参数对系统的性能有重要影响,因此需要进行优化设计。仿真表明,减小Si镜和PZT的厚度可以提高系统最大变形量,但会降低一阶固有频率。通过正交匹配两者的厚度参数可满足系统的工作要求。夹具的材料和结构参数会影响系统的热变形特性。使用与镜片材料相同的夹具,系统的热变形最小,对高度和壁厚进行优化可以减小甚至消除系统的热变形。最后,通过电压特性仿真得到了优化后变形镜各分立电极的影响函数。
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出版历程
  • 收稿日期:  2015-12-20
  • 修回日期:  2016-01-23
  • 刊出日期:  2016-08-25

横向压电效应变形镜优化设计

doi: 10.3788/IRLA201645.0818003
    作者简介:

    吴伟彬(1992-),男,硕士生,主要从事自适应光学方面的研究。Email:459804305@qq.com

基金项目:

新世纪优秀人才资助计划(NCET-12-0144)

  • 中图分类号: O438

摘要: 变形镜作为自适应光学系统中的关键部件,起到校正波前误差的作用。其中横向压电效应变形镜应用较为广泛,其设计参数对系统的性能有重要影响,因此需要进行优化设计。仿真表明,减小Si镜和PZT的厚度可以提高系统最大变形量,但会降低一阶固有频率。通过正交匹配两者的厚度参数可满足系统的工作要求。夹具的材料和结构参数会影响系统的热变形特性。使用与镜片材料相同的夹具,系统的热变形最小,对高度和壁厚进行优化可以减小甚至消除系统的热变形。最后,通过电压特性仿真得到了优化后变形镜各分立电极的影响函数。

English Abstract

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