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HeNe激光双折射外腔回馈位移测量仪研究

邓勇 马志强 江奕 张松 蔡婷

邓勇, 马志强, 江奕, 张松, 蔡婷. HeNe激光双折射外腔回馈位移测量仪研究[J]. 红外与激光工程, 2017, 46(2): 206007-0206007(6). doi: 10.3788/IRLA201746.0206007
引用本文: 邓勇, 马志强, 江奕, 张松, 蔡婷. HeNe激光双折射外腔回馈位移测量仪研究[J]. 红外与激光工程, 2017, 46(2): 206007-0206007(6). doi: 10.3788/IRLA201746.0206007
Deng Yong, Ma Zhiqiang, Jiang Yi, Zhang Song, Cai Ting. Research on displacement measurement in HeNe laser with birefringent external cavity feedback[J]. Infrared and Laser Engineering, 2017, 46(2): 206007-0206007(6). doi: 10.3788/IRLA201746.0206007
Citation: Deng Yong, Ma Zhiqiang, Jiang Yi, Zhang Song, Cai Ting. Research on displacement measurement in HeNe laser with birefringent external cavity feedback[J]. Infrared and Laser Engineering, 2017, 46(2): 206007-0206007(6). doi: 10.3788/IRLA201746.0206007

HeNe激光双折射外腔回馈位移测量仪研究

doi: 10.3788/IRLA201746.0206007
基金项目: 

国家自然科学基金(51375262,61475082);北京市科委项目(Z151100002415027)

详细信息
    作者简介:

    马志强(1990-),男,硕士生,主要从事测试技术与仪器方面的研究。Email:mazq13@163.com

  • 中图分类号: TN243;TN248.1

Research on displacement measurement in HeNe laser with birefringent external cavity feedback

  • 摘要: 基于单模激光器的双折射外腔回馈位移测量系统能输出两路回馈条纹信号,且条纹相位差不受回馈外腔长的影响,因此在研制大量程、高分辨位移测量系统方面极具潜力。开展了双折射外腔回馈的相关现象研究,研制了性能优良的位移测量仪器。稳频和回馈外腔扫描技术相结合,进一步提高了系统的频率稳定度(优于10-7)和抗干扰性能力。试验对系统进行了零漂、拍频和比对测试,其量程超过200 mm,分辨率为15.82 nm,线性度优于2.310-7。分析了系统的主要误差来源,估算了总的测量误差为0.21 m。回馈位移测量仪具有结构简单、分辨率高、线性度好以及测量范围大的优点,工业应用前景广阔。
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出版历程
  • 收稿日期:  2016-06-05
  • 修回日期:  2016-07-10
  • 刊出日期:  2017-02-25

HeNe激光双折射外腔回馈位移测量仪研究

doi: 10.3788/IRLA201746.0206007
    作者简介:

    马志强(1990-),男,硕士生,主要从事测试技术与仪器方面的研究。Email:mazq13@163.com

基金项目:

国家自然科学基金(51375262,61475082);北京市科委项目(Z151100002415027)

  • 中图分类号: TN243;TN248.1

摘要: 基于单模激光器的双折射外腔回馈位移测量系统能输出两路回馈条纹信号,且条纹相位差不受回馈外腔长的影响,因此在研制大量程、高分辨位移测量系统方面极具潜力。开展了双折射外腔回馈的相关现象研究,研制了性能优良的位移测量仪器。稳频和回馈外腔扫描技术相结合,进一步提高了系统的频率稳定度(优于10-7)和抗干扰性能力。试验对系统进行了零漂、拍频和比对测试,其量程超过200 mm,分辨率为15.82 nm,线性度优于2.310-7。分析了系统的主要误差来源,估算了总的测量误差为0.21 m。回馈位移测量仪具有结构简单、分辨率高、线性度好以及测量范围大的优点,工业应用前景广阔。

English Abstract

参考文献 (15)

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