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32×32甚长波红外HgCdTe焦平面器件

郝立超 黄爱波 解晓辉 李辉 赖灿雄 陈洪雷 魏彦锋 丁瑞军

郝立超, 黄爱波, 解晓辉, 李辉, 赖灿雄, 陈洪雷, 魏彦锋, 丁瑞军. 32×32甚长波红外HgCdTe焦平面器件[J]. 红外与激光工程, 2017, 46(5): 504001-0504001(6). doi: 10.3788/IRLA201746.0504001
引用本文: 郝立超, 黄爱波, 解晓辉, 李辉, 赖灿雄, 陈洪雷, 魏彦锋, 丁瑞军. 32×32甚长波红外HgCdTe焦平面器件[J]. 红外与激光工程, 2017, 46(5): 504001-0504001(6). doi: 10.3788/IRLA201746.0504001
Hao Lichao, Huang Aibo, Xie Xiaohui, Li Hui, Lai Canxiong, Chen Honglei, Wei Yanfeng, Ding Ruijun. 32×32 very long wave infrared HgCdTe FPAs[J]. Infrared and Laser Engineering, 2017, 46(5): 504001-0504001(6). doi: 10.3788/IRLA201746.0504001
Citation: Hao Lichao, Huang Aibo, Xie Xiaohui, Li Hui, Lai Canxiong, Chen Honglei, Wei Yanfeng, Ding Ruijun. 32×32 very long wave infrared HgCdTe FPAs[J]. Infrared and Laser Engineering, 2017, 46(5): 504001-0504001(6). doi: 10.3788/IRLA201746.0504001

32×32甚长波红外HgCdTe焦平面器件

doi: 10.3788/IRLA201746.0504001
基金项目: 

重点实验室基金(9140C1030302150C03011);广州市珠江科技新星专项(2014J2200086);国家自然科学基金(61204116)

详细信息
    作者简介:

    郝立超(1986-),男,博士,主要从事读出电路设计及其焦平面可靠性方面的研究。Email:hao_li_chao@163.com

    通讯作者: 黄爱波(1984-),男,工程师,主要从事红外焦平面设计、测试及筛选等方面的研究。Email:hab-888@163.com
  • 中图分类号: TN215

32×32 very long wave infrared HgCdTe FPAs

  • 摘要: 甚长波红外波段富含大气湿度、CO2含量及云层结构和温度轮廓等大量信息,是大气遥感的重要组成部分。设计了一种3232甚长波红外焦平面阵列,采用在ZnCdTe衬底上液相外延生长的As掺杂p型材料上进行B+离子注入形成光敏元,通过铟柱倒焊技术和带有改进型背景抑制结构的读出电路互联,制成截止波长达到14 m的焦平面器件。该红外焦平面器件像元面积为60 m60 m,工作温度在50 K温度下。测试结果显示:读出电路性能良好,焦平面黑体响应率达到1。35107V/W,峰值探测率为2。571010 cmHz1/2/W,响应率非均匀性约为45%,盲元率小于12%。
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出版历程
  • 收稿日期:  2016-09-05
  • 修回日期:  2016-10-12
  • 刊出日期:  2017-05-25

32×32甚长波红外HgCdTe焦平面器件

doi: 10.3788/IRLA201746.0504001
    作者简介:

    郝立超(1986-),男,博士,主要从事读出电路设计及其焦平面可靠性方面的研究。Email:hao_li_chao@163.com

    通讯作者: 黄爱波(1984-),男,工程师,主要从事红外焦平面设计、测试及筛选等方面的研究。Email:hab-888@163.com
基金项目:

重点实验室基金(9140C1030302150C03011);广州市珠江科技新星专项(2014J2200086);国家自然科学基金(61204116)

  • 中图分类号: TN215

摘要: 甚长波红外波段富含大气湿度、CO2含量及云层结构和温度轮廓等大量信息,是大气遥感的重要组成部分。设计了一种3232甚长波红外焦平面阵列,采用在ZnCdTe衬底上液相外延生长的As掺杂p型材料上进行B+离子注入形成光敏元,通过铟柱倒焊技术和带有改进型背景抑制结构的读出电路互联,制成截止波长达到14 m的焦平面器件。该红外焦平面器件像元面积为60 m60 m,工作温度在50 K温度下。测试结果显示:读出电路性能良好,焦平面黑体响应率达到1。35107V/W,峰值探测率为2。571010 cmHz1/2/W,响应率非均匀性约为45%,盲元率小于12%。

English Abstract

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