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高灵敏紫外激光脉冲能量在线检测系统设计

李文洁 赵读亮 林颖 梁勖 方晓东

李文洁, 赵读亮, 林颖, 梁勖, 方晓东. 高灵敏紫外激光脉冲能量在线检测系统设计[J]. 红外与激光工程, 2017, 46(12): 1222002-1222002(6). doi: 10.3788/IRLA201746.1222002
引用本文: 李文洁, 赵读亮, 林颖, 梁勖, 方晓东. 高灵敏紫外激光脉冲能量在线检测系统设计[J]. 红外与激光工程, 2017, 46(12): 1222002-1222002(6). doi: 10.3788/IRLA201746.1222002
Li Wenjie, Zhao Duliang, Lin Ying, Liang Xu, Fang Xiaodong. Design of highly sensitive on-line detecting system for ultraviolet pulse lasers energy[J]. Infrared and Laser Engineering, 2017, 46(12): 1222002-1222002(6). doi: 10.3788/IRLA201746.1222002
Citation: Li Wenjie, Zhao Duliang, Lin Ying, Liang Xu, Fang Xiaodong. Design of highly sensitive on-line detecting system for ultraviolet pulse lasers energy[J]. Infrared and Laser Engineering, 2017, 46(12): 1222002-1222002(6). doi: 10.3788/IRLA201746.1222002

高灵敏紫外激光脉冲能量在线检测系统设计

doi: 10.3788/IRLA201746.1222002
基金项目: 

国家自然科学基金青年科学基金(61307112)

详细信息
    作者简介:

    李文洁(1992-),女,硕士生,主要从事准分子激光控制技术方面的研究。Email:liwenj@mail.ustc.edu.cn

  • 中图分类号: TN23;TN247;TN248.2

Design of highly sensitive on-line detecting system for ultraviolet pulse lasers energy

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出版历程
  • 收稿日期:  2017-04-05
  • 修回日期:  2017-05-03
  • 刊出日期:  2017-12-25

高灵敏紫外激光脉冲能量在线检测系统设计

doi: 10.3788/IRLA201746.1222002
    作者简介:

    李文洁(1992-),女,硕士生,主要从事准分子激光控制技术方面的研究。Email:liwenj@mail.ustc.edu.cn

基金项目:

国家自然科学基金青年科学基金(61307112)

  • 中图分类号: TN23;TN247;TN248.2

摘要: 介绍了一种基于PIN光电二极管的紫外激光脉冲能量在线检测系统。首先,采用激光主光路外的检测光实现激光脉冲能量的无损在线响应;其次,采用高速高精度积分电路将响应光电流处理为电压峰值;最后,利用激光系统的同步触发信号进行检测时序设计从而获得精确的激光脉冲前后的检测系统输出差值,经过计算后获得精确的激光脉冲能量。检测系统在248 nmKrF和308 nmXeCl准分子激光器上进行了测试,实现了对0~200 Hz重复率运行的准分子激光能量在线无损检测,测量结果与输出端外置能量计测得结果相对比,相关性与可重复性一致,满足应用需求。

English Abstract

参考文献 (16)

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