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电调谐波长移相干涉术

丁煜 陈磊 王志华 朱文华 刘致远

丁煜, 陈磊, 王志华, 朱文华, 刘致远. 电调谐波长移相干涉术[J]. 红外与激光工程, 2018, 47(5): 506003-0506003(7). doi: 10.3788/IRLA201847.0506003
引用本文: 丁煜, 陈磊, 王志华, 朱文华, 刘致远. 电调谐波长移相干涉术[J]. 红外与激光工程, 2018, 47(5): 506003-0506003(7). doi: 10.3788/IRLA201847.0506003
Ding Yu, Chen Lei, Wang Zhihua, Zhu Wenhua, Liu Zhiyuan. Wavelength phase shifting interferometry based on current modulation[J]. Infrared and Laser Engineering, 2018, 47(5): 506003-0506003(7). doi: 10.3788/IRLA201847.0506003
Citation: Ding Yu, Chen Lei, Wang Zhihua, Zhu Wenhua, Liu Zhiyuan. Wavelength phase shifting interferometry based on current modulation[J]. Infrared and Laser Engineering, 2018, 47(5): 506003-0506003(7). doi: 10.3788/IRLA201847.0506003

电调谐波长移相干涉术

doi: 10.3788/IRLA201847.0506003
基金项目: 

国家自然科学基金(U1731115);国家重大科学仪器开发专项(2013YQ150829)

详细信息
    作者简介:

    丁煜(1994-),男,硕士生,主要从事光干涉测量方面的研究。Email:dingyu@njust.edu.cn

    通讯作者: 陈磊(1964-),男,教授,博士生导师,博士,主要从事光学计量测试与光电智能化仪器等方面的研究。Email:chenlei@njust.edu.cn
  • 中图分类号: O436

Wavelength phase shifting interferometry based on current modulation

  • 摘要: 为了实现一体化结构干涉仪的现场数字化检测,提出了一种电调谐波长移相干涉术,通过控制注入电流,调制半导体激光器(LD)的波长,从而实现时域移相干涉。通过优化传统的随机移相干涉模型,采用最小二乘求解线性回归模型迭代算法求解相位,抑制了电调谐的控制精度有限、LD非线性引起的不等间隔移相,以及环境震动引起的各采样点位相变化不同步的干扰。将该方法应用于现场检测的便携式斐索干涉仪上,利用其与Zygo GPI XP/D型干涉仪测量同一块光学平晶,测量结果的峰谷值偏差为9.91 nm,均方根值偏差为5.22 nm,能满足现场定量检测的精度要求。该方法还可以应用于其他类型的激光干涉仪中。
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出版历程
  • 收稿日期:  2017-12-10
  • 修回日期:  2018-01-15
  • 刊出日期:  2018-05-25

电调谐波长移相干涉术

doi: 10.3788/IRLA201847.0506003
    作者简介:

    丁煜(1994-),男,硕士生,主要从事光干涉测量方面的研究。Email:dingyu@njust.edu.cn

    通讯作者: 陈磊(1964-),男,教授,博士生导师,博士,主要从事光学计量测试与光电智能化仪器等方面的研究。Email:chenlei@njust.edu.cn
基金项目:

国家自然科学基金(U1731115);国家重大科学仪器开发专项(2013YQ150829)

  • 中图分类号: O436

摘要: 为了实现一体化结构干涉仪的现场数字化检测,提出了一种电调谐波长移相干涉术,通过控制注入电流,调制半导体激光器(LD)的波长,从而实现时域移相干涉。通过优化传统的随机移相干涉模型,采用最小二乘求解线性回归模型迭代算法求解相位,抑制了电调谐的控制精度有限、LD非线性引起的不等间隔移相,以及环境震动引起的各采样点位相变化不同步的干扰。将该方法应用于现场检测的便携式斐索干涉仪上,利用其与Zygo GPI XP/D型干涉仪测量同一块光学平晶,测量结果的峰谷值偏差为9.91 nm,均方根值偏差为5.22 nm,能满足现场定量检测的精度要求。该方法还可以应用于其他类型的激光干涉仪中。

English Abstract

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