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氧化铝基体3.7 μm与4.8 μm双波段带通滤光膜研制

岳威 韩隆 张阔 韩永昶 赵明艳

岳威, 韩隆, 张阔, 韩永昶, 赵明艳. 氧化铝基体3.7 μm与4.8 μm双波段带通滤光膜研制[J]. 红外与激光工程, 2018, 47(6): 621001-0621001(6). doi: 10.3788/IRLA201847.0621001
引用本文: 岳威, 韩隆, 张阔, 韩永昶, 赵明艳. 氧化铝基体3.7 μm与4.8 μm双波段带通滤光膜研制[J]. 红外与激光工程, 2018, 47(6): 621001-0621001(6). doi: 10.3788/IRLA201847.0621001
Yue Wei, Han Long, Zhang Kuo, Han Yongchang, Zhao Mingyan. Research of 3.7 μm and 4.8 μm double band-pass filter on the surface of Al2O3[J]. Infrared and Laser Engineering, 2018, 47(6): 621001-0621001(6). doi: 10.3788/IRLA201847.0621001
Citation: Yue Wei, Han Long, Zhang Kuo, Han Yongchang, Zhao Mingyan. Research of 3.7 μm and 4.8 μm double band-pass filter on the surface of Al2O3[J]. Infrared and Laser Engineering, 2018, 47(6): 621001-0621001(6). doi: 10.3788/IRLA201847.0621001

氧化铝基体3.7 μm与4.8 μm双波段带通滤光膜研制

doi: 10.3788/IRLA201847.0621001
详细信息
    作者简介:

    岳威(1980-),男,高级工程师,硕士,主要从事光学薄膜技术方面的研究。Email:ywei2015@sohu.com

  • 中图分类号: O484

Research of 3.7 μm and 4.8 μm double band-pass filter on the surface of Al2O3

  • 摘要: 以红外光学和薄膜技术为理论背景,详细介绍了氧化铝基体表面3.7 m与4.8 m双波段带通滤光膜的特性、制备及测试方法。氧化铝(Al2O3)由于其透光区域较宽,牢固度好,便于光学系统使用而被经常应用于中波红外光学系统中。采用软件优化计算和双面镀制截止带通滤光膜的方案,通过速率控制、离子辅助等工艺方法研制成功了可靠性和光谱特性皆优的双波段带通滤光薄膜。分析认为设计结构和优化算法对于薄膜通带平坦度、截止深度以及透过率有着明显的影响。制备工艺方面,除了合适的蒸发速率外,采取缓慢蒸发和弱离子能量辅助也是很重要的关键技术,最终光谱透过率测试平均大于87%,通过了环境测试,符合使用要求。
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出版历程
  • 收稿日期:  2018-01-11
  • 修回日期:  2018-02-18
  • 刊出日期:  2018-06-25

氧化铝基体3.7 μm与4.8 μm双波段带通滤光膜研制

doi: 10.3788/IRLA201847.0621001
    作者简介:

    岳威(1980-),男,高级工程师,硕士,主要从事光学薄膜技术方面的研究。Email:ywei2015@sohu.com

  • 中图分类号: O484

摘要: 以红外光学和薄膜技术为理论背景,详细介绍了氧化铝基体表面3.7 m与4.8 m双波段带通滤光膜的特性、制备及测试方法。氧化铝(Al2O3)由于其透光区域较宽,牢固度好,便于光学系统使用而被经常应用于中波红外光学系统中。采用软件优化计算和双面镀制截止带通滤光膜的方案,通过速率控制、离子辅助等工艺方法研制成功了可靠性和光谱特性皆优的双波段带通滤光薄膜。分析认为设计结构和优化算法对于薄膜通带平坦度、截止深度以及透过率有着明显的影响。制备工艺方面,除了合适的蒸发速率外,采取缓慢蒸发和弱离子能量辅助也是很重要的关键技术,最终光谱透过率测试平均大于87%,通过了环境测试,符合使用要求。

English Abstract

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