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3D激光扫描共聚焦显微镜计量特性分析及测试

崔建军 杜华 朱小平 薛梓 闫勇刚 陈恺

崔建军, 杜华, 朱小平, 薛梓, 闫勇刚, 陈恺. 3D激光扫描共聚焦显微镜计量特性分析及测试[J]. 红外与激光工程, 2018, 47(8): 817005-0817005(8). doi: 10.3788/IRLA201847.0817005
引用本文: 崔建军, 杜华, 朱小平, 薛梓, 闫勇刚, 陈恺. 3D激光扫描共聚焦显微镜计量特性分析及测试[J]. 红外与激光工程, 2018, 47(8): 817005-0817005(8). doi: 10.3788/IRLA201847.0817005
Cui Jianjun, Du Hua, Zhu Xiaoping, Xue Zi, Yan Yonggang, Chen Kai. Measurement characteristics analysis and test of 3D laser scanning confocal microscope[J]. Infrared and Laser Engineering, 2018, 47(8): 817005-0817005(8). doi: 10.3788/IRLA201847.0817005
Citation: Cui Jianjun, Du Hua, Zhu Xiaoping, Xue Zi, Yan Yonggang, Chen Kai. Measurement characteristics analysis and test of 3D laser scanning confocal microscope[J]. Infrared and Laser Engineering, 2018, 47(8): 817005-0817005(8). doi: 10.3788/IRLA201847.0817005

3D激光扫描共聚焦显微镜计量特性分析及测试

doi: 10.3788/IRLA201847.0817005
基金项目: 

国家自然科学基金(51675497);北京市自然科学基金(3162034);国家重点研发计划专项(2017YFF0206305);河南省高等学校重点科研项目(16A413006);质检总局科研项目(ANL1617)

详细信息
    作者简介:

    崔建军(1977-),男,副研究员,博士,主要从事长度计量、干涉测量、光纤光栅传感技术方面的研究。Email:ycuijj@163.com

  • 中图分类号: TB921

Measurement characteristics analysis and test of 3D laser scanning confocal microscope

  • 摘要: 为了合理评定激光扫描共聚焦显微镜(Laser Scanning Confocal Microscope,LSCM)的测量性能,提出了一种用于检验LSCM计量特性的测试方法。首先,依据LSCM成像原理,对其技术特点,特别是轴向分辨率和横向分辨率等进行了理论分析;然后对其计量特性的参数指标进行了归纳,并提出相应的性能测试方法。具体包括采用线间隔为微纳米级的网格板等作为标准器,测试LSCM的放大倍数和光学横向分辨率;采用纳米级高度台阶样板测试LSCM的光学轴向分辨率和轴向定位特性;采用激光干涉仪测试样品台工作性能等。实验证明:该方法能够满足当前普遍应用的LSCM的性能测试需求。
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出版历程
  • 收稿日期:  2018-03-13
  • 修回日期:  2018-04-17
  • 刊出日期:  2018-08-25

3D激光扫描共聚焦显微镜计量特性分析及测试

doi: 10.3788/IRLA201847.0817005
    作者简介:

    崔建军(1977-),男,副研究员,博士,主要从事长度计量、干涉测量、光纤光栅传感技术方面的研究。Email:ycuijj@163.com

基金项目:

国家自然科学基金(51675497);北京市自然科学基金(3162034);国家重点研发计划专项(2017YFF0206305);河南省高等学校重点科研项目(16A413006);质检总局科研项目(ANL1617)

  • 中图分类号: TB921

摘要: 为了合理评定激光扫描共聚焦显微镜(Laser Scanning Confocal Microscope,LSCM)的测量性能,提出了一种用于检验LSCM计量特性的测试方法。首先,依据LSCM成像原理,对其技术特点,特别是轴向分辨率和横向分辨率等进行了理论分析;然后对其计量特性的参数指标进行了归纳,并提出相应的性能测试方法。具体包括采用线间隔为微纳米级的网格板等作为标准器,测试LSCM的放大倍数和光学横向分辨率;采用纳米级高度台阶样板测试LSCM的光学轴向分辨率和轴向定位特性;采用激光干涉仪测试样品台工作性能等。实验证明:该方法能够满足当前普遍应用的LSCM的性能测试需求。

English Abstract

参考文献 (17)

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