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非蒸散型吸气剂维持红外焦平面探测器杜瓦组件工作真空度的性能与应用

李建林 李惟夏 徐世春

李建林, 李惟夏, 徐世春. 非蒸散型吸气剂维持红外焦平面探测器杜瓦组件工作真空度的性能与应用[J]. 红外与激光工程, 2018, 47(10): 1004001-1004001(9). doi: 10.3788/IRLA201847.1004001
引用本文: 李建林, 李惟夏, 徐世春. 非蒸散型吸气剂维持红外焦平面探测器杜瓦组件工作真空度的性能与应用[J]. 红外与激光工程, 2018, 47(10): 1004001-1004001(9). doi: 10.3788/IRLA201847.1004001
Li Jianlin, Li Weixia, Xu Shichun. Performance of non-evaporable getter to maintain vacuum of Dewar module of infrared focal plane detector and its application[J]. Infrared and Laser Engineering, 2018, 47(10): 1004001-1004001(9). doi: 10.3788/IRLA201847.1004001
Citation: Li Jianlin, Li Weixia, Xu Shichun. Performance of non-evaporable getter to maintain vacuum of Dewar module of infrared focal plane detector and its application[J]. Infrared and Laser Engineering, 2018, 47(10): 1004001-1004001(9). doi: 10.3788/IRLA201847.1004001

非蒸散型吸气剂维持红外焦平面探测器杜瓦组件工作真空度的性能与应用

doi: 10.3788/IRLA201847.1004001
详细信息
    作者简介:

    李建林(1963-),男,高级工程师,主要从事红外探测器封装和测试技术方面的研究。Email:lijianlin12@21cn.com

  • 中图分类号: TN215

Performance of non-evaporable getter to maintain vacuum of Dewar module of infrared focal plane detector and its application

  • 摘要: 实漏、虚漏、出气和渗透等气体源引起封离真空杜瓦腔体压力升高,活性气体H2、H2O、CO占的份额较大,H2的份额可达80%以上,NEG抽出活性气体获得和维持红外焦平面探测器杜瓦组件工作真空度。封离真空杜瓦寿命周期内产生的气体量与设计制造技术水平和真空获得工艺能力有关,不正确使用St 172将导致NEG不能发挥最大效能。根据文献和工程实践经验,分析探讨在特定使用工况下NEG的抽气性能参数和激活与再激活条件对真空维持性能的影响,指出大多数用户不允许电再激活NEG修理、必须正确使用无颗粒St 172/NP和注意相关的问题。
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出版历程
  • 收稿日期:  2018-05-20
  • 修回日期:  2018-06-11
  • 刊出日期:  2018-10-25

非蒸散型吸气剂维持红外焦平面探测器杜瓦组件工作真空度的性能与应用

doi: 10.3788/IRLA201847.1004001
    作者简介:

    李建林(1963-),男,高级工程师,主要从事红外探测器封装和测试技术方面的研究。Email:lijianlin12@21cn.com

  • 中图分类号: TN215

摘要: 实漏、虚漏、出气和渗透等气体源引起封离真空杜瓦腔体压力升高,活性气体H2、H2O、CO占的份额较大,H2的份额可达80%以上,NEG抽出活性气体获得和维持红外焦平面探测器杜瓦组件工作真空度。封离真空杜瓦寿命周期内产生的气体量与设计制造技术水平和真空获得工艺能力有关,不正确使用St 172将导致NEG不能发挥最大效能。根据文献和工程实践经验,分析探讨在特定使用工况下NEG的抽气性能参数和激活与再激活条件对真空维持性能的影响,指出大多数用户不允许电再激活NEG修理、必须正确使用无颗粒St 172/NP和注意相关的问题。

English Abstract

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