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光学元件表面洁净度对其表面散射特性的影响

黄聪 游兴海 张彬

黄聪, 游兴海, 张彬. 光学元件表面洁净度对其表面散射特性的影响[J]. 红外与激光工程, 2019, 48(1): 120002-0120002(7). doi: 10.3788/IRLA201948.0120002
引用本文: 黄聪, 游兴海, 张彬. 光学元件表面洁净度对其表面散射特性的影响[J]. 红外与激光工程, 2019, 48(1): 120002-0120002(7). doi: 10.3788/IRLA201948.0120002
Huang Cong, You Xinghai, Zhang Bin. Influence of surface cleanliness of optical element on its surface scattering characteristics[J]. Infrared and Laser Engineering, 2019, 48(1): 120002-0120002(7). doi: 10.3788/IRLA201948.0120002
Citation: Huang Cong, You Xinghai, Zhang Bin. Influence of surface cleanliness of optical element on its surface scattering characteristics[J]. Infrared and Laser Engineering, 2019, 48(1): 120002-0120002(7). doi: 10.3788/IRLA201948.0120002

光学元件表面洁净度对其表面散射特性的影响

doi: 10.3788/IRLA201948.0120002
基金项目: 

天津市薄膜光学重点实验室开放基金课题(kjwx170620);合肥知常光电科技有限公司超光滑表面无损检测安微省重点实验室资助课题(CGHBMWSJC06)

详细信息
    作者简介:

    黄聪(1993-),男,硕士生,主要从事光学系统优化与杂光分析等方面的研究。Email:huangcongplus@163.com

  • 中图分类号: O436

Influence of surface cleanliness of optical element on its surface scattering characteristics

  • 摘要: 针对光学系统在实际工作中元件表面污染粒子对光的散射问题,以空气中Al2O3污染粒子为例,基于米氏散射理论,模拟和分析了元件表面双向反射分布函数(BRDF)随散射角的变化规律,进而定量计算了元件表面全积分散射值(TIS)。在此基础上,进一步分析了影响表面洁净度的三个主要因素(空气洁净度、工作面朝向和曝露时间)对元件表面BRDF及其TIS值的影响。结果表明,空气洁净度等级、工作面放置方向和曝露时间等对元件表面散射量的影响均较为明显。其中,工作面的放置方向对元件表面的散射影响尤为突出,水平向上放置(TIS=1.9310-4)较之垂直放置时(TIS=8.0710-5)散射量增大一个量级,而较之工作面水平向下放置时(TIS=3.1210-6)增大两个量级。最后,以卡塞格伦望远镜为例,针对其主镜的污染容限问题,分析了不同空气洁净度条件下主镜表面洁净度达到污染容限所用的曝露时间,可为实际工作中污染控制和保证系统对微弱目标信号的有效探测提供参考。
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出版历程
  • 收稿日期:  2018-08-05
  • 修回日期:  2018-09-10
  • 刊出日期:  2019-01-25

光学元件表面洁净度对其表面散射特性的影响

doi: 10.3788/IRLA201948.0120002
    作者简介:

    黄聪(1993-),男,硕士生,主要从事光学系统优化与杂光分析等方面的研究。Email:huangcongplus@163.com

基金项目:

天津市薄膜光学重点实验室开放基金课题(kjwx170620);合肥知常光电科技有限公司超光滑表面无损检测安微省重点实验室资助课题(CGHBMWSJC06)

  • 中图分类号: O436

摘要: 针对光学系统在实际工作中元件表面污染粒子对光的散射问题,以空气中Al2O3污染粒子为例,基于米氏散射理论,模拟和分析了元件表面双向反射分布函数(BRDF)随散射角的变化规律,进而定量计算了元件表面全积分散射值(TIS)。在此基础上,进一步分析了影响表面洁净度的三个主要因素(空气洁净度、工作面朝向和曝露时间)对元件表面BRDF及其TIS值的影响。结果表明,空气洁净度等级、工作面放置方向和曝露时间等对元件表面散射量的影响均较为明显。其中,工作面的放置方向对元件表面的散射影响尤为突出,水平向上放置(TIS=1.9310-4)较之垂直放置时(TIS=8.0710-5)散射量增大一个量级,而较之工作面水平向下放置时(TIS=3.1210-6)增大两个量级。最后,以卡塞格伦望远镜为例,针对其主镜的污染容限问题,分析了不同空气洁净度条件下主镜表面洁净度达到污染容限所用的曝露时间,可为实际工作中污染控制和保证系统对微弱目标信号的有效探测提供参考。

English Abstract

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