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多维栅格标准样板的制备与表征

雷李华 蔡潇雨 魏佳斯 孟凡娇 傅云霞 张馨尹 李源

雷李华, 蔡潇雨, 魏佳斯, 孟凡娇, 傅云霞, 张馨尹, 李源. 多维栅格标准样板的制备与表征[J]. 红外与激光工程, 2019, 48(5): 503006-0503006(7). doi: 10.3788/IRLA201948.0503006
引用本文: 雷李华, 蔡潇雨, 魏佳斯, 孟凡娇, 傅云霞, 张馨尹, 李源. 多维栅格标准样板的制备与表征[J]. 红外与激光工程, 2019, 48(5): 503006-0503006(7). doi: 10.3788/IRLA201948.0503006
Lei Lihua, Cai Xiaoyu, Wei Jiasi, Meng Fanjiao, Fu Yunxia, Zhang Xinyin, Li Yuan. Development and characterization of multi-dimension grid standard template[J]. Infrared and Laser Engineering, 2019, 48(5): 503006-0503006(7). doi: 10.3788/IRLA201948.0503006
Citation: Lei Lihua, Cai Xiaoyu, Wei Jiasi, Meng Fanjiao, Fu Yunxia, Zhang Xinyin, Li Yuan. Development and characterization of multi-dimension grid standard template[J]. Infrared and Laser Engineering, 2019, 48(5): 503006-0503006(7). doi: 10.3788/IRLA201948.0503006

多维栅格标准样板的制备与表征

doi: 10.3788/IRLA201948.0503006
基金项目: 

国家重大科学仪器开发专项(2014YQ090709);国家自然科学基金面上项目(51475335);国家航空科学基金(201856Y5001)

详细信息
    作者简介:

    雷李华(1985-),男,高级工程师,主要从事微纳米几何测量技术方面的研究。Email:leilh@simt.com.cn

    通讯作者: 李源(1979-),男,教授级高级工程师,主要从事微纳米计量测试方面的研究。Email:liyuan@simt.com.cn
  • 中图分类号: TN307;TB921

Development and characterization of multi-dimension grid standard template

  • 摘要: 栅格标准样板作为微纳米几何量量值溯源体系中的重要组成部分,是纳米科技发展的基础保障。为了实现微纳米尺寸栅格结构有效区域的快速循迹与校准,文中设计了一种便于快速定位有效区域并栅格结构正交扫描方向的循迹结构。为了实现不同精度、尺寸范围的校准需求,在同一基板上实现了多维、多参数的横向栅格标准样板的结构设计与集成。使用计量型纳米测量机(NMM)对微纳米栅格标准样板测量误差进行了分析与评价,以实现标准样板的溯源性表征。实验结果表明,栅格标准样板具有良好的均匀性、准确性以及稳定性,验证了研制的栅格标准样板能作为一种理想的实物标准运用于纳米几何量量值溯源体系。
  • [1] Lei Lihua, Li Yuan, Cai Xiaoyu, et al. Measurement of large step structure with a speed-variable scanning technology[J]. Infrared and Laser Engineering, 2017, 46(7):0717003. (in Chinese)
    [2] VLSI Standards Incorporated. Nanolattice pitch standard NLSM user's manual[K]. USA:VLSI Standards Incorporated, 2012:12-18.
    [3] Lei L, Li Y, Fan G, et al. The measurement of nano dimension standard by laser focus sensor[J]. Sensors Actuators A Physical, 2013, 203(6):430-433.
    [4] Lei L, Liu Y, Chen X, et al. Fast and accurate calibration of 1D and 2D gratings[J]. Advanced Materials Research, 2011, 317-319:2196-2203.
    [5] Feng C, Kajima M, Gonda S, et al. Accurate measurement of orthogonality of equal-period, two-dimensional gratings by an interferometric method[J]. Metrologia, 2012, 49(3):236-244.
    [6] Ma Q, Xi G C, Wang C, et al. Comprehensive two-dimensional separation for the analysis of alkylphenol ethoxylates employing hydrophilic interaction chromatography coupled with ion mobility-mass spectrometry[J]. International Journal of Mass Spectrometry, 2012, 315(4):31-39.
    [7] Moeder M, Martin C, Schlosser D, et al. Separation of technical 4-nonylphenols and their biodegradation products by comprehensive two-dimensional gas chromatography coupled to time-of-flight mass spectrometry.[J]. Journal of Chromatography A, 2006, 1107(1):233-239.
    [8] Li Y, Lei L, Gao J, et al. Research of the optical characterization method on the nano dimension standard sample[J]. Micronanoelectronic Technology, 2012, 49(6):406-412.
    [9] Weckenmann A, Peggs G, Hoffmann J. Probing systems for dimensional micro-and nano-metrology[J]. Measurement Science Technology, 2006, 17(3):504-509.
    [10] Manske E, Jager G, Hausotte T, et al. Recent developments and challenges of nanopositioning and nanomeasuring technology[J]. Measurement Science Technology, 2012, 23(7):074001.
    [11] Tibrewala A, Hofmann N, Phataralaoha A, et al. Development of 3D force sensors for nanopositioning and nanomeasuring machine[J]. Sensors, 2009, 9(5):3228-3239.
    [12] Manske E, Jager G, Hausotte T, et al. Multisensor technology based on a laser focus probe for nanomeasuring applications over large areas[C]//SPIE, 2011, 8082:808203.
    [13] Muhammad H B, Oddo C M, Beccai L, et al. Development of a biomimetic MEMS based capacitive tactile sensor[J]. Procedia Chemistry, 2009, 1(1):124-127.
    [14] Wuhrer M, Koeleman C A, Deelder A M. Two-dimensional HPLC separation with reverse-phase-nano-LC-MS/MS for the characterization of glycan pools after labeling with 2-aminobenzamide[J]. Methods in Molecular Biology, 2009, 534:79-91.
    [15] Hausotte T, Percle B, Gerhardt U, et al. Interference signal demodulation for nanopositioning and nanomeasuring machines[J]. Measurement Science Technology, 2012, 23(7):074004.
  • [1] 孙侨东, 黄鑫宇, 林润峰, 彭追日, 徐浪浪, 叶镭.  石墨烯摩尔超晶格的近场纳米成像(特邀) . 红外与激光工程, 2022, 51(7): 20211118-1-20211118-3. doi: 10.3788/IRLA20211118
    [2] 种波, 陈博杨, 陈长城, 田东平.  二维纳米材料磁性探测的双臂微悬臂梁设计 . 红外与激光工程, 2022, 51(4): 20210198-1-20210198-5. doi: 10.3788/IRLA20210198
    [3] 郭亚楠, 刘东, 苗成成, 孙嘉敏, 杨再兴.  半导体纳米线红外探测研究进展(特邀) . 红外与激光工程, 2021, 50(1): 20211010-1-20211010-13. doi: 10.3788/IRLA20211010
    [4] 张丽丽, 杨彦伟.  腔体与纳米金共同作用增强光谱技术 . 红外与激光工程, 2021, 50(1): 20200137-1-20200137-7. doi: 10.3788/IRLA20200137
    [5] 李明, 方明, 李震乾.  在稀薄气流中用红外热图测量中低量值热流 . 红外与激光工程, 2021, 50(4): 20200355-1-20200355-7. doi: 10.3788/IRLA20200355
    [6] 黄邵祺, 宋泽园, 潘明亮, 龙严, 戴博, 张大伟.  高填充因子微透镜阵列的快速制备及特性分析 . 红外与激光工程, 2021, 50(10): 20200476-1-20200476-5. doi: 10.3788/IRLA20200476
    [7] 吴朝, 魏文彬, 高昆, 田扬超.  快速高能X射线光栅相衬成像 . 红外与激光工程, 2019, 48(8): 825004-0825004(5). doi: 10.3788/IRLA201948.0825004
    [8] 李瑞君, 赵文楷, 何园涛, 黄强先.  一维纳米定位控制系统 . 红外与激光工程, 2018, 47(10): 1017005-1017005(6). doi: 10.3788/IRLA201847.1017005
    [9] 尤立星.  超导纳米线单光子探测现状与展望 . 红外与激光工程, 2018, 47(12): 1202001-1202001(6). doi: 10.3788/IRLA201847.1202001
    [10] 白正元, 张龙, 王康鹏.  二维金纳米阵列制备及其光学响应 . 红外与激光工程, 2017, 46(5): 534001-0534001(6). doi: 10.3788/IRLA201746.0534001
    [11] 李传生, 邵海明, 赵伟, 王家福, 张煌辉.  超大电流量值传递用光纤电流传感技术 . 红外与激光工程, 2017, 46(7): 722001-0722001(7). doi: 10.3788/IRLA201746.0722001
    [12] 胡亮亮, 米凤文, 金伟其, 盛一成, 何玉婷, 雷琼莹.  基于PI逆模型的快速微摆反射镜的开环控制 . 红外与激光工程, 2017, 46(8): 818001-0818001(7). doi: 10.3788/IRLA201746.0818001
    [13] 廖同庆, 魏小龙, 吴昇, 李杨.  利用球型微纳米颗粒结构表面减小硅基太阳能电池的光反射 . 红外与激光工程, 2016, 45(1): 116001-0116001(5). doi: 10.3788/IRLA201645.0116001
    [14] 范培迅, 钟敏霖.  超快激光制备金属表面微纳米抗反射结构进展 . 红外与激光工程, 2016, 45(6): 621001-0621001(12). doi: 10.3788/IRLA201645.0621001
    [15] 邸志刚, 贾春荣, 姚建铨, 陆颖.  基于银纳米颗粒的HCPCFSERS传感系统优化设计 . 红外与激光工程, 2015, 44(4): 1317-1322.
    [16] 陆敬辉, 王宏力, 袁宇, 崔祥祥, 许哲.  均匀快速的导航星选取方法 . 红外与激光工程, 2015, 44(1): 348-353.
    [17] 庞伟伟, 郑小兵, 李健军, 史学舜, 吴浩宇, 夏茂鹏, 高东阳, 史剑民, 戚涛, 康晴.  溯源于低温辐射计的1064nm波段探测器绝对光谱响应度定标 . 红外与激光工程, 2015, 44(12): 3812-3818.
    [18] 安盼龙, 赵瑞娟, 刘争光, 张旭峰, 李亦军.  激光线性扫频法快速标定法布里-珀罗标准具参数 . 红外与激光工程, 2015, 44(11): 3418-3423.
    [19] 马艳, 肖胜炜, 张万经.  用于研制纳米长度标准的激光准直原子技术研究 . 红外与激光工程, 2014, 43(9): 2929-2934.
    [20] 石强, 桑胜波, 张文栋, 李朋伟, 胡杰, 李刚.  纳米光波导光滑技术研究进展 . 红外与激光工程, 2013, 42(11): 3040-3046.
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出版历程
  • 收稿日期:  2018-12-19
  • 修回日期:  2019-01-26
  • 刊出日期:  2019-05-25

多维栅格标准样板的制备与表征

doi: 10.3788/IRLA201948.0503006
    作者简介:

    雷李华(1985-),男,高级工程师,主要从事微纳米几何测量技术方面的研究。Email:leilh@simt.com.cn

    通讯作者: 李源(1979-),男,教授级高级工程师,主要从事微纳米计量测试方面的研究。Email:liyuan@simt.com.cn
基金项目:

国家重大科学仪器开发专项(2014YQ090709);国家自然科学基金面上项目(51475335);国家航空科学基金(201856Y5001)

  • 中图分类号: TN307;TB921

摘要: 栅格标准样板作为微纳米几何量量值溯源体系中的重要组成部分,是纳米科技发展的基础保障。为了实现微纳米尺寸栅格结构有效区域的快速循迹与校准,文中设计了一种便于快速定位有效区域并栅格结构正交扫描方向的循迹结构。为了实现不同精度、尺寸范围的校准需求,在同一基板上实现了多维、多参数的横向栅格标准样板的结构设计与集成。使用计量型纳米测量机(NMM)对微纳米栅格标准样板测量误差进行了分析与评价,以实现标准样板的溯源性表征。实验结果表明,栅格标准样板具有良好的均匀性、准确性以及稳定性,验证了研制的栅格标准样板能作为一种理想的实物标准运用于纳米几何量量值溯源体系。

English Abstract

参考文献 (15)

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