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短中波红外探测系统宽波段高透过率薄膜

付秀华 张功 张静 刘冬梅 杨伟声 木锐

付秀华, 张功, 张静, 刘冬梅, 杨伟声, 木锐. 短中波红外探测系统宽波段高透过率薄膜[J]. 红外与激光工程, 2019, 48(10): 1017001-1017001(6). doi: 10.3788/IRLA201948.1017001
引用本文: 付秀华, 张功, 张静, 刘冬梅, 杨伟声, 木锐. 短中波红外探测系统宽波段高透过率薄膜[J]. 红外与激光工程, 2019, 48(10): 1017001-1017001(6). doi: 10.3788/IRLA201948.1017001
Fu Xiuhua, Zhang Gong, Zhang Jing, Liu Dongmei, Yang Weisheng, Mu Rui. Short-medium infrared detection system broadband high transmittance film[J]. Infrared and Laser Engineering, 2019, 48(10): 1017001-1017001(6). doi: 10.3788/IRLA201948.1017001
Citation: Fu Xiuhua, Zhang Gong, Zhang Jing, Liu Dongmei, Yang Weisheng, Mu Rui. Short-medium infrared detection system broadband high transmittance film[J]. Infrared and Laser Engineering, 2019, 48(10): 1017001-1017001(6). doi: 10.3788/IRLA201948.1017001

短中波红外探测系统宽波段高透过率薄膜

doi: 10.3788/IRLA201948.1017001
基金项目: 

“十三五”装备预研基金

详细信息
    作者简介:

    付秀华(1963-),女,教授,博士生导师,博士,主要从事光学薄膜方面的研究。Email:goptics@126.com

    通讯作者: 张功(1991-),女,博士生,主要从事光学薄膜方面的研究。Email:zgoptics@126.com
  • 中图分类号: O484

Short-medium infrared detection system broadband high transmittance film

  • 摘要: 短中波红外探测系统能够同时响应短波红外及中波红外两个波段,可以满足复杂探测环境的使用要求,在军用及民用方面获得了广泛应用。为提高红外探测器的精度,缩短响应时间,需要研制满足系统要求的宽波段高透过率薄膜。结合Baumesiter减反射膜设计理论,对变尺度算法的评价函数进行了优化,建立了新型加权评价函数模型,在2.6~3.3 m的水吸收波段,根据模型设计了低敏感度高容差的膜系结构。并针对水吸收波段优化制备技术,研究了不同离子源辅助沉积参数对MgF2光谱特性的影响,同时采用阶梯性退火工艺,得到了一种有效降低水吸收的方法。最终所制备的薄膜在1.5~5 m波段范围内光谱透过率大于96.5%。
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出版历程
  • 收稿日期:  2019-05-11
  • 修回日期:  2019-06-21
  • 刊出日期:  2019-10-25

短中波红外探测系统宽波段高透过率薄膜

doi: 10.3788/IRLA201948.1017001
    作者简介:

    付秀华(1963-),女,教授,博士生导师,博士,主要从事光学薄膜方面的研究。Email:goptics@126.com

    通讯作者: 张功(1991-),女,博士生,主要从事光学薄膜方面的研究。Email:zgoptics@126.com
基金项目:

“十三五”装备预研基金

  • 中图分类号: O484

摘要: 短中波红外探测系统能够同时响应短波红外及中波红外两个波段,可以满足复杂探测环境的使用要求,在军用及民用方面获得了广泛应用。为提高红外探测器的精度,缩短响应时间,需要研制满足系统要求的宽波段高透过率薄膜。结合Baumesiter减反射膜设计理论,对变尺度算法的评价函数进行了优化,建立了新型加权评价函数模型,在2.6~3.3 m的水吸收波段,根据模型设计了低敏感度高容差的膜系结构。并针对水吸收波段优化制备技术,研究了不同离子源辅助沉积参数对MgF2光谱特性的影响,同时采用阶梯性退火工艺,得到了一种有效降低水吸收的方法。最终所制备的薄膜在1.5~5 m波段范围内光谱透过率大于96.5%。

English Abstract

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