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超光滑表面缺陷的分类检测研究

解格飒 王红军 王大森 田爱玲 刘丙才 朱学亮 刘卫国

解格飒, 王红军, 王大森, 田爱玲, 刘丙才, 朱学亮, 刘卫国. 超光滑表面缺陷的分类检测研究[J]. 红外与激光工程, 2019, 48(11): 1113003-1113003(7). doi: 10.3788/IRLA201948.1113003
引用本文: 解格飒, 王红军, 王大森, 田爱玲, 刘丙才, 朱学亮, 刘卫国. 超光滑表面缺陷的分类检测研究[J]. 红外与激光工程, 2019, 48(11): 1113003-1113003(7). doi: 10.3788/IRLA201948.1113003
Xie Gesa, Wang Hongjun, Wang Dasen, Tian Ailing, Liu Bingcai, Zhu Xueliang, Liu Weiguo. Study on classification and detection of supersmooth surface defects[J]. Infrared and Laser Engineering, 2019, 48(11): 1113003-1113003(7). doi: 10.3788/IRLA201948.1113003
Citation: Xie Gesa, Wang Hongjun, Wang Dasen, Tian Ailing, Liu Bingcai, Zhu Xueliang, Liu Weiguo. Study on classification and detection of supersmooth surface defects[J]. Infrared and Laser Engineering, 2019, 48(11): 1113003-1113003(7). doi: 10.3788/IRLA201948.1113003

超光滑表面缺陷的分类检测研究

doi: 10.3788/IRLA201948.1113003
基金项目: 

总装备部项目(JCKY2016208A001);西安市智能探视感知重点实验室项目(201805061ZD12CG45);陕西省科技计划项目(2019JM-373);激光与物质相互作用国家重点实验室基金(SKLLIM1703)

详细信息
    作者简介:

    解格飒(1994-),女,硕士生,主要从事光学检测技术方面的研究。Email:1103287447@qq.com

  • 中图分类号: O436.2

Study on classification and detection of supersmooth surface defects

  • 摘要: 为了区分超光滑表面上方存在的微小粒子、亚表面缺陷、微粗糙度三种缺陷产生的散射光,并得到能够探测这三种缺陷的最佳区域,将双向反射分布函数(Bidirectional Reflection DistributionFunction,BRDF)与琼斯矩阵结合,给出了三种缺陷在ss、sp、ps、pp四种偏振状态下的偏振系数。在此基础上,模拟和分析了三种缺陷在四种偏振状态下与散射方位角的关系。结果表明:利用p偏振入射光引起的p偏振散射光能将这几种缺陷区分开。根据三种缺陷与散射方位角变化关系的不同,给出了三种缺陷的最佳探测区域及实现方法。
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出版历程
  • 收稿日期:  2019-07-05
  • 修回日期:  2019-08-15
  • 刊出日期:  2019-11-25

超光滑表面缺陷的分类检测研究

doi: 10.3788/IRLA201948.1113003
    作者简介:

    解格飒(1994-),女,硕士生,主要从事光学检测技术方面的研究。Email:1103287447@qq.com

基金项目:

总装备部项目(JCKY2016208A001);西安市智能探视感知重点实验室项目(201805061ZD12CG45);陕西省科技计划项目(2019JM-373);激光与物质相互作用国家重点实验室基金(SKLLIM1703)

  • 中图分类号: O436.2

摘要: 为了区分超光滑表面上方存在的微小粒子、亚表面缺陷、微粗糙度三种缺陷产生的散射光,并得到能够探测这三种缺陷的最佳区域,将双向反射分布函数(Bidirectional Reflection DistributionFunction,BRDF)与琼斯矩阵结合,给出了三种缺陷在ss、sp、ps、pp四种偏振状态下的偏振系数。在此基础上,模拟和分析了三种缺陷在四种偏振状态下与散射方位角的关系。结果表明:利用p偏振入射光引起的p偏振散射光能将这几种缺陷区分开。根据三种缺陷与散射方位角变化关系的不同,给出了三种缺陷的最佳探测区域及实现方法。

English Abstract

参考文献 (15)

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