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Ge基底LaF3-ZnS-Ge高耐用中波红外增透膜

程海娟 于晓辉 彭浪 普群雁 蔡毅 李茂忠 杨伟声 白玉琢 赵劲松 王岭雪

程海娟, 于晓辉, 彭浪, 普群雁, 蔡毅, 李茂忠, 杨伟声, 白玉琢, 赵劲松, 王岭雪. Ge基底LaF3-ZnS-Ge高耐用中波红外增透膜[J]. 红外与激光工程, 2019, 48(11): 1117001-1117001(7). doi: 10.3788/IRLA201948.1117001
引用本文: 程海娟, 于晓辉, 彭浪, 普群雁, 蔡毅, 李茂忠, 杨伟声, 白玉琢, 赵劲松, 王岭雪. Ge基底LaF3-ZnS-Ge高耐用中波红外增透膜[J]. 红外与激光工程, 2019, 48(11): 1117001-1117001(7). doi: 10.3788/IRLA201948.1117001
Cheng Haijuan, Yu Xiaohui, Peng Lang, Pu Qunyan, Cai Yi, Li Maozhong, Yang Weisheng, Bai Yuzhuo, Zhao Jinsong, Wang Lingxue. LaF3-ZnS-Ge high-durability MWIR antireflective film on Ge substrate[J]. Infrared and Laser Engineering, 2019, 48(11): 1117001-1117001(7). doi: 10.3788/IRLA201948.1117001
Citation: Cheng Haijuan, Yu Xiaohui, Peng Lang, Pu Qunyan, Cai Yi, Li Maozhong, Yang Weisheng, Bai Yuzhuo, Zhao Jinsong, Wang Lingxue. LaF3-ZnS-Ge high-durability MWIR antireflective film on Ge substrate[J]. Infrared and Laser Engineering, 2019, 48(11): 1117001-1117001(7). doi: 10.3788/IRLA201948.1117001

Ge基底LaF3-ZnS-Ge高耐用中波红外增透膜

doi: 10.3788/IRLA201948.1117001
基金项目: 

国家自然科学基金(61471044)

详细信息
    作者简介:

    程海娟(1977-),女,高级工程师,博士生,主要从事红外光学镀膜、增透微纳结构方面的研究。Email:joananne@126.com

    通讯作者: 王岭雪(1973-),女,副教授,博士,主要从事红外成像和图像处理和红外光谱方面的研究。Email:neobull@bit.edu.cn
  • 中图分类号: O439

LaF3-ZnS-Ge high-durability MWIR antireflective film on Ge substrate

  • 摘要: 研究了LaF3材料的蒸发特性及其在2.5~12 m红外波段的光学常数,并将LaF3晶体作为低折射率材料在Ge基底上制备了中波红外3.7~4.8 m波段高耐用性增透膜。SEM照片显示,基于LaF3材料的高耐用性增透膜表面纳米晶粒分布均匀致密,表面光洁度高。利用傅里叶变换红外光谱仪测试了其光谱特性,在3.7~4.8 m波段,峰值透射率达到99.4%,双面镀膜平均透射率由47.7%提高到98.8%。牢固度、耐久性等环境试验结果显示,膜层在保持高的光学性能的同时还可以在较为严苛的恶劣环境中使用
  • [1] Meenakshi B, Nautiyal B B, Bandyopadhyay P K. High efficiency antireflection coating in MWIR region (3.6-4.9m) simultaneously effective for Germanium and Silicon optics.[J]. Infrared Physics Technology, 2010, 53(1):33-36.
    [2] Behranvanda A, Davoudi Darareha M, Jannesaria M, et al. Design and fabrication of PbTe/BaF2 hydrophobic high-efficiency broa dband antireflection coating on Ge substrate in long-wave infrared region[J]. Infrared Physics and Technology, 2018, 92:163-165.
    [3] Gainutdinov I S, Yu N, Shuvalov R S, et al. Antireflection coatings on germanium and silicon substrates in the 3-5m and 8-12m windows of IR transparency[J]. Journal of Optical Technology, 2009, 76(5):302-305.
    [4] Yan Lanqin, Zhang Shuyu, Liu Wei, et al. High performance infrared wide-band (7.5-11.5m) anti-reflective film on germanium substrate[J]. Infrared and Laser Engineering, 2010, 39(5):871-874. (in Chinese)
    [5] Zhang Dawei, Huang Yuanshen, He Hongbo, et al. Antireflective film prepared by periodic ion beam assisted deposition[J]. Optics and Precision Engineering, 2007, 15(10):1463-1468. (in Chinese)
    [6] Fu Xiuhua, Yang Jinye, Liu Dongmei, et al. Design and preparation of anti-reflection and protective film in 8-11m infrafed detection system[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(12):3889-3893. (in Chinese)
    [7] Lu Yimin, Huang Guojun, Guo Yanlong, et al. Experiment research on the double-layer diamond-like carbon film prepared by double laser beams[J]. Infrared and Laser Engineering, 2018, 47(11):1121003. (in Chinese)
    [8] Sun P, Hu M, Zhang F, et al. The infrared optical and mechanical properties of germanium carbide films prepared by ion beam sputtering[J]. Journal of Infrared Millimeter Waves, 2016, 35(2):133-138.
    [9] Liu W, Tu H, Gao M, et al. High performance DLC/BP and ZnS/YbF3 double-layer protective and antireflective coatings[J]. Journal of Alloys and Compounds, 2013, 581:526-569.
    [10] Li Y P, Wang N, Che X S, et al. Infrared transmissive and rain-erosion resistant performances of GeC/GaP double-layer thin films on ZnS substrates[J]. Appl Surf Sci, 2013, 264:538-544.
    [11] Li Chun, Jin Chunshui, Jin Jingcheng, et al. Realization of antireflection coatings for 193 nm P-polarized light at large angle[J]. Chinese Journal of Lasers, 2013, 40(9):0907001. (in Chinese)
    [12] Won Tae, Seoung Jae I M, Jeon Geon H, et al. LaF3/MgO protective layer in AC-plasma display panels[J].Japanese Journal of Applied Physics, 2003, 42(7A):4501-4503.
    [13] Li Bin, Xie Ping, Su Weitao, et al. Combinatorial synthesis of BaClF-ReF3(Re=La, Pr, Er, Sm) layers with graded-index as antireflection coatings in the thermal infrared[J]. Materials Design, 2016, 107:302-310.
    [14] Tang Jinfa, Gu Peifu, Liu Xue, et al. Modern Optical Thin Film Technology[M]. Hangzhou:Zhejiang Uuiversity Press, 2006:240-240. (in Chinese)
  • [1] 邓三泳, 岳嵩, 张东亮, 刘昭君, 李慧宇, 柳渊, 张紫辰, 祝连庆.  固体浸没式红外超表面透镜设计 . 红外与激光工程, 2022, 51(3): 20210360-1-20210360-10. doi: 10.3788/IRLA20210360
    [2] 赵雨时, 贺文俊, 刘智颖, 付跃刚.  光谱维编码中红外光谱成像系统的光学设计 . 红外与激光工程, 2021, 50(12): 20210700-1-20210700-9. doi: 10.3788/IRLA20210700
    [3] 王伟平, 于佳睿, 胡小燕, 赵少宇.  中波红外集成偏振光栅结构参数对偏振性能影响仿真分析 . 红外与激光工程, 2021, 50(11): 20210132-1-20210132-8. doi: 10.3788/IRLA20210132
    [4] 刘星洋, 翟尚礼, 李靖, 汪洋, 苗锋, 杜瀚宇, 邹超凡.  制冷型中波红外偏振成像光学系统设计 . 红外与激光工程, 2021, 50(2): 20200208-1-20200208-9. doi: 10.3788/IRLA20200208
    [5] 张宝辉, 李中文, 吴杰, 吉莉, 王炜毅, 蔡璐, 时亚辉, 法静怡.  中波1 280×1 024红外成像组件设计(特邀) . 红外与激光工程, 2021, 50(4): 20211023-1-20211023-9. doi: 10.3788/IRLA20211023
    [6] 付秀华, 张功, 张静, 刘冬梅, 杨伟声, 木锐.  短中波红外探测系统宽波段高透过率薄膜 . 红外与激光工程, 2019, 48(10): 1017001-1017001(6). doi: 10.3788/IRLA201948.1017001
    [7] 李波, 王祥凤, 孙丽娜, 崔妍.  中波红外高光谱仿真中的辐射影响模型 . 红外与激光工程, 2018, 47(3): 304003-0304003(9). doi: 10.3788/IRLA201847.0304003
    [8] 罗刚银, 王弼陡, 陈玉琦, 赵义龙.  Offner型消热差中波红外成像光谱仪设计 . 红外与激光工程, 2017, 46(11): 1104004-1104004(7). doi: 10.3788/IRLA201746.1104004
    [9] 王彦, 谢晓方, 孙海文, 杨健, 徐从安.  中波段动态海洋红外视景仿真 . 红外与激光工程, 2015, 44(12): 3604-3609.
    [10] 高苗, 邵晓鹏, 王琳, 史学舜, 孙昊洋, 丁钟奎, 孙华梁, 张彦杰, 刘玉龙.  基于声光调制的中波红外激光功率稳定系统 . 红外与激光工程, 2015, 44(7): 1975-1979.
    [11] 刘书勤, 王斌永, 徐睿, 陈凯, 何志平.  基于多谱段集成检测的宽光谱AOTF性能测试系统 . 红外与激光工程, 2015, 44(4): 1343-1348.
    [12] 白瑜, 廖志远, 李华, 程习敏, 邢廷文, 蒋亚东.  折反射中波红外探测无热化成像系统设计分析 . 红外与激光工程, 2015, 44(2): 407-412.
    [13] 白瑜, 邢廷文, 李华, 蒋亚东, 冯成.  国外高变焦比中波红外镜头的研究进展 . 红外与激光工程, 2015, 44(3): 795-802.
    [14] 许元男, 李军伟, 吴开峰, 毛宏霞, 董雁冰.  采用综合信噪比的中波光谱探测波段选择 . 红外与激光工程, 2014, 43(7): 2126-2131.
    [15] 范哲源, 高立民, 张志, 陈卫宁, 杨洪涛, 张建, 武力, 曹剑中.  中波红外三视场变焦光学系统设计 . 红外与激光工程, 2014, 43(2): 523-527.
    [16] 马文坡.  中波红外与长波红外推扫成像性能分析 . 红外与激光工程, 2014, 43(12): 3861-3865.
    [17] 陈兆兵, 曹立华, 王兵, 庄昕宇, 陈宁, 郭如海.  中波红外激光器远距离干扰红外探测器的外场实验研究 . 红外与激光工程, 2013, 42(7): 1700-1705,1753.
    [18] 周昊, 刘英, 孙强.  高变焦比中波红外连续变焦光学系统 . 红外与激光工程, 2013, 42(3): 663-668.
    [19] 赵新宇, 乔彦峰, 郭汝海, 邵帅, 王思雯, 孙涛.  中波红外激光器的近场远场测试方法及应用 . 红外与激光工程, 2012, 41(1): 49-52.
    [20] 周勋, 周勇, 罗木昌, 赵文伯.  中波-长波红外双色QWIP探测器设计 . 红外与激光工程, 2012, 41(8): 1971-1978.
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出版历程
  • 收稿日期:  2019-09-11
  • 修回日期:  2019-10-21
  • 刊出日期:  2019-11-25

Ge基底LaF3-ZnS-Ge高耐用中波红外增透膜

doi: 10.3788/IRLA201948.1117001
    作者简介:

    程海娟(1977-),女,高级工程师,博士生,主要从事红外光学镀膜、增透微纳结构方面的研究。Email:joananne@126.com

    通讯作者: 王岭雪(1973-),女,副教授,博士,主要从事红外成像和图像处理和红外光谱方面的研究。Email:neobull@bit.edu.cn
基金项目:

国家自然科学基金(61471044)

  • 中图分类号: O439

摘要: 研究了LaF3材料的蒸发特性及其在2.5~12 m红外波段的光学常数,并将LaF3晶体作为低折射率材料在Ge基底上制备了中波红外3.7~4.8 m波段高耐用性增透膜。SEM照片显示,基于LaF3材料的高耐用性增透膜表面纳米晶粒分布均匀致密,表面光洁度高。利用傅里叶变换红外光谱仪测试了其光谱特性,在3.7~4.8 m波段,峰值透射率达到99.4%,双面镀膜平均透射率由47.7%提高到98.8%。牢固度、耐久性等环境试验结果显示,膜层在保持高的光学性能的同时还可以在较为严苛的恶劣环境中使用

English Abstract

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