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基于干涉测量的Ф1.3 m非球面反射镜定心

王聪 陈佳夷 栗孟娟 王海超 李斌

王聪, 陈佳夷, 栗孟娟, 王海超, 李斌. 基于干涉测量的Ф1.3 m非球面反射镜定心[J]. 红外与激光工程, 2020, 49(1): 0113001-0113001(6). doi: 10.3788/IRLA202049.0113001
引用本文: 王聪, 陈佳夷, 栗孟娟, 王海超, 李斌. 基于干涉测量的Ф1.3 m非球面反射镜定心[J]. 红外与激光工程, 2020, 49(1): 0113001-0113001(6). doi: 10.3788/IRLA202049.0113001
Wang Cong, Chen Jiayi, Li Mengjuan, Wang Haichao, Li Bin. Centering of Ф1.3 m aspheric reflector based on interferometry[J]. Infrared and Laser Engineering, 2020, 49(1): 0113001-0113001(6). doi: 10.3788/IRLA202049.0113001
Citation: Wang Cong, Chen Jiayi, Li Mengjuan, Wang Haichao, Li Bin. Centering of Ф1.3 m aspheric reflector based on interferometry[J]. Infrared and Laser Engineering, 2020, 49(1): 0113001-0113001(6). doi: 10.3788/IRLA202049.0113001

基于干涉测量的Ф1.3 m非球面反射镜定心

doi: 10.3788/IRLA202049.0113001
基金项目: 

国家重点研发计划(2016YFB0500802)

详细信息
    作者简介:

    王聪(1985-),女,工程师,硕士,主要从事光学加工与检测方面的研究。Email:272411076@qq.com

  • 中图分类号: TB96

Centering of Ф1.3 m aspheric reflector based on interferometry

  • 摘要: Ф1.3 m凹椭球面反射镜是某遥感器光学系统的主镜,其定心精度要求苛刻。由于该反射镜口径大、顶点曲率半径长,利用定心仪法进行定心的实现难度大,精度低。通过分析非球面的两种偏心之间的补偿现象,可知激光跟踪仪接触测量定心的精度仅为0.15°。三坐标仪接触测量定心的精度能够达到0.005°,不过其量程受限,且在光学加工时的反复搬运会造成不便。利用Offner零位补偿检验光路进行干涉法定心,干涉法将反射镜偏心转换为检测系统波前的初级像差,同样可以达到0.005°的精度。该检测方法的误差来源主要是干涉仪焦点位置误差,是系统误差,可以通过旋转反射镜进行多次定心测量的方法予以消除。完成了该反射镜的定心,其结果与三坐标仪的测量结果对比,两种偏心的最大偏差仅为0.023 mm和0.002°。实现了大口径凹非球面反射镜的原位定心测量。
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出版历程
  • 收稿日期:  2019-10-05
  • 修回日期:  2019-11-15

基于干涉测量的Ф1.3 m非球面反射镜定心

doi: 10.3788/IRLA202049.0113001
    作者简介:

    王聪(1985-),女,工程师,硕士,主要从事光学加工与检测方面的研究。Email:272411076@qq.com

基金项目:

国家重点研发计划(2016YFB0500802)

  • 中图分类号: TB96

摘要: Ф1.3 m凹椭球面反射镜是某遥感器光学系统的主镜,其定心精度要求苛刻。由于该反射镜口径大、顶点曲率半径长,利用定心仪法进行定心的实现难度大,精度低。通过分析非球面的两种偏心之间的补偿现象,可知激光跟踪仪接触测量定心的精度仅为0.15°。三坐标仪接触测量定心的精度能够达到0.005°,不过其量程受限,且在光学加工时的反复搬运会造成不便。利用Offner零位补偿检验光路进行干涉法定心,干涉法将反射镜偏心转换为检测系统波前的初级像差,同样可以达到0.005°的精度。该检测方法的误差来源主要是干涉仪焦点位置误差,是系统误差,可以通过旋转反射镜进行多次定心测量的方法予以消除。完成了该反射镜的定心,其结果与三坐标仪的测量结果对比,两种偏心的最大偏差仅为0.023 mm和0.002°。实现了大口径凹非球面反射镜的原位定心测量。

English Abstract

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