不同柔性衬底上CdS薄膜退火前后的性能比较

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不同柔性衬底上CdS薄膜退火前后的性能比较

丛家铭, 潘永强, 邬云华, 张传军, 王善力

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丛家铭, 潘永强, 邬云华, 张传军, 王善力. 不同柔性衬底上CdS薄膜退火前后的性能比较[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(4): 1235-1239.

引用本文:

丛家铭, 潘永强, 邬云华, 张传军, 王善力. 不同柔性衬底上CdS薄膜退火前后的性能比较[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(4): 1235-1239.

Cong Jiaming, Pan Yongqiang, Wu Yunhua, Zhang Chuanjun, Wang Shanli. Comparison of CdS thin films on different flexible substrates before and after annealing[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(4): 1235-1239.

Citation:

Cong Jiaming, Pan Yongqiang, Wu Yunhua, Zhang Chuanjun, Wang Shanli. Comparison of CdS thin films on different flexible substrates before and after annealing[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(4): 1235-1239.

不同柔性衬底上CdS薄膜退火前后的性能比较

1.
西安工业大学光电工程学院,陕西西安710032;
2.
上海太阳能电池研究与发展中心,上海201201

基金项目:

中国科学院知识创新工程重要方向项目（KGCX2-YW-384）;上海市2012年度“科技创新行动计划”节能减排领域项目（12dz1201000）

作者简介:
丛家铭（1989- ），男，硕士生，主要从事太阳能电池和材料方面的研究。Email：jiaming_smile@126.com；潘永强（1974- ），男，博士，教授，硕士生导师，主要从事光学薄膜方面的研究。Email：pyq_867@163.com

丛家铭（1989- ），男，硕士生，主要从事太阳能电池和材料方面的研究。Email：jiaming_smile@126.com；潘永强（1974- ），男，博士，教授，硕士生导师，主要从事光学薄膜方面的研究。Email：pyq_867@163.com

中图分类号: O484.4

Comparison of CdS thin films on different flexible substrates before and after annealing

1.
School of Optoelectronics Engineering,Xi'an Technological University,Xi'an 710032,China;
2.
Shanghai Center for Photovoltaics,Shanghai 201201,China

摘要: 采用磁控溅射法分别在柔性PI衬底、柔性AZO衬底和柔性ITO衬底上制备CdS薄膜，并在干燥空气中以CdCl2为源380℃退火，分别研究了不同柔性衬底及退火工艺对CdS薄膜形貌、结构和光学性能的影响。研究结果表明：退火前在不同柔性衬底上的CdS薄膜形貌依赖于衬底类型，退火后CdS薄膜的晶粒再结晶，晶粒度增大明显，且不再依赖于衬底类型。不同柔性衬底上CdS薄膜均为立方相和六角相的混相结构，退火后，六角相比例增大，薄膜的结晶质量提高。透过率退火后改善明显，其中，在柔性AZO衬底上的CdS薄膜透过率超过80%。
- 柔性衬底 /
- CdS薄膜 /
- 磁控溅射 /
- 退火处理
Abstract: The CdS thin films were prepared on Flexible PI、AZO and ITO substrates by r.f. magnetron sputtering technique,and annealed at 380℃ in CdCl2 and dry air. The morphology, structure and optical properties of all samples were characterized by the scanning electron microscopy, X-ray diffraction and ultraviolet-visible spectroscopy. The results show that the microstructures of all the CdS thin films dependent on the type of substrate by as-deposited and annealed CdS thin films on different substrates, grain recrystallizes, grain size increases significantly and no longer depend on the substrate type. The entire prepared CdS thin films show a mixed phase structure of cubic and hexagonal. After annealing, the proportion of hexagonal phase is increased, the crystallization quality of CdS thin film is improved. The optical transmittance changes obviously after annealing, among them, the optical transmittance of CdS thin film on flexible AZO substrate is over 80%.
- flexible substrate /
- CdS film /
- magnetron sputtering /
- annealing

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不同柔性衬底上CdS薄膜退火前后的性能比较

1. 西安工业大学光电工程学院,陕西西安710032;

2. 上海太阳能电池研究与发展中心,上海201201

作者简介:
丛家铭（1989- ），男，硕士生，主要从事太阳能电池和材料方面的研究。Email：jiaming_smile@126.com；潘永强（1974- ），男，博士，教授，硕士生导师，主要从事光学薄膜方面的研究。Email：pyq_867@163.com

丛家铭（1989- ），男，硕士生，主要从事太阳能电池和材料方面的研究。Email：jiaming_smile@126.com；潘永强（1974- ），男，博士，教授，硕士生导师，主要从事光学薄膜方面的研究。Email：pyq_867@163.com

收稿日期: 2013-08-05
修回日期: 2013-09-03
刊出日期: 2014-04-25

基金项目:

中国科学院知识创新工程重要方向项目（KGCX2-YW-384）;上海市2012年度“科技创新行动计划”节能减排领域项目（12dz1201000）

中图分类号: O484.4

关键词:

摘要: 采用磁控溅射法分别在柔性PI衬底、柔性AZO衬底和柔性ITO衬底上制备CdS薄膜，并在干燥空气中以CdCl2为源380℃退火，分别研究了不同柔性衬底及退火工艺对CdS薄膜形貌、结构和光学性能的影响。研究结果表明：退火前在不同柔性衬底上的CdS薄膜形貌依赖于衬底类型，退火后CdS薄膜的晶粒再结晶，晶粒度增大明显，且不再依赖于衬底类型。不同柔性衬底上CdS薄膜均为立方相和六角相的混相结构，退火后，六角相比例增大，薄膜的结晶质量提高。透过率退火后改善明显，其中，在柔性AZO衬底上的CdS薄膜透过率超过80%。

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