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原子光刻制备铬原子纳米条纹的实验研究

王建波 邓晓 张萍萍 马艳 殷聪 钱进 李同保

王建波, 邓晓, 张萍萍, 马艳, 殷聪, 钱进, 李同保. 原子光刻制备铬原子纳米条纹的实验研究[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(5): 1469-1472.
引用本文: 王建波, 邓晓, 张萍萍, 马艳, 殷聪, 钱进, 李同保. 原子光刻制备铬原子纳米条纹的实验研究[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(5): 1469-1472.
Wang Jianbo, Deng Xiao, Zhang Pingping, Ma Yan, Yin Cong, Qian Jin, Li Tongbao. Depositing chromium nano lines by atom lithography[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(5): 1469-1472.
Citation: Wang Jianbo, Deng Xiao, Zhang Pingping, Ma Yan, Yin Cong, Qian Jin, Li Tongbao. Depositing chromium nano lines by atom lithography[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(5): 1469-1472.

原子光刻制备铬原子纳米条纹的实验研究

基金项目: 

国家科技支撑计划(2006BAF06B08);国家自然科学基金(10804084,91123022);上海市纳米技术专项基金(0852nm0700,0952nm0700)

详细信息
    作者简介:

    王建波(1986-),男,博士生,主要从事激光稳频与原子光刻方面研究。Email:wjb19860818@163.com

  • 中图分类号: O562

Depositing chromium nano lines by atom lithography

  • 摘要: 原子光刻技术可以制备高重复性的铬原子纳米条纹光栅,这种光栅可以作为纳米节距标准,实现对高精度的扫描探针式显微镜、电子显微镜等高端仪器的校准。高真空腔体中的固态铬原子受高温喷发出气态原子束,运动的原子束在冷却激光场和激光驻波场的分别作用下,实现原子束的准直与汇聚,沉积在位于激光驻波场后面的InP基片上。经过3h的堆积,得到间距为212.78nm,高度为9nm 的铬原子纳米条纹光栅。针对条纹生长速率较慢的问题,分析了具体原因,为后续工作提供参考。
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-09-11
  • 修回日期:  2013-10-23
  • 刊出日期:  2014-05-25

原子光刻制备铬原子纳米条纹的实验研究

    作者简介:

    王建波(1986-),男,博士生,主要从事激光稳频与原子光刻方面研究。Email:wjb19860818@163.com

基金项目:

国家科技支撑计划(2006BAF06B08);国家自然科学基金(10804084,91123022);上海市纳米技术专项基金(0852nm0700,0952nm0700)

  • 中图分类号: O562

摘要: 原子光刻技术可以制备高重复性的铬原子纳米条纹光栅,这种光栅可以作为纳米节距标准,实现对高精度的扫描探针式显微镜、电子显微镜等高端仪器的校准。高真空腔体中的固态铬原子受高温喷发出气态原子束,运动的原子束在冷却激光场和激光驻波场的分别作用下,实现原子束的准直与汇聚,沉积在位于激光驻波场后面的InP基片上。经过3h的堆积,得到间距为212.78nm,高度为9nm 的铬原子纳米条纹光栅。针对条纹生长速率较慢的问题,分析了具体原因,为后续工作提供参考。

English Abstract

参考文献 (35)

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