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基于虚拟仪器的多通道MEMS 加速度计自动化测试系统

明安杰 谭振新 吴健 赵敏 欧文 陈大鹏

明安杰, 谭振新, 吴健, 赵敏, 欧文, 陈大鹏. 基于虚拟仪器的多通道MEMS 加速度计自动化测试系统[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(6): 1955-1959.
引用本文: 明安杰, 谭振新, 吴健, 赵敏, 欧文, 陈大鹏. 基于虚拟仪器的多通道MEMS 加速度计自动化测试系统[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(6): 1955-1959.
Ming Anjie, Tan Zhenxin, Wu Jian, Zhao Min, Ou Wen, Chen Dapeng. Automatic testing system for multi-channel MEMS accelerometers based on virtual instrument technique[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(6): 1955-1959.
Citation: Ming Anjie, Tan Zhenxin, Wu Jian, Zhao Min, Ou Wen, Chen Dapeng. Automatic testing system for multi-channel MEMS accelerometers based on virtual instrument technique[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(6): 1955-1959.

基于虚拟仪器的多通道MEMS 加速度计自动化测试系统

基金项目: 

国家自然科学基金重点项目(61136006;61335008);国家863计划(2013AA041101);江苏省面上项目(BK21031099)

详细信息
    作者简介:

    明安杰(1980-),男,博士,主要从事MEMS传感器及其封测技术研究。Email:minganjie@ime.ac.cn

  • 中图分类号: TP23;TP312

Automatic testing system for multi-channel MEMS accelerometers based on virtual instrument technique

  • 摘要: 提出了一种7 通道并行测试的MEMS 加速度计自动化测试分析系统,该系统高度集成多种功能,实现了加速度计高效率测试与分析。在常规测试系统基础上,该系统通过上层应用程序Labview 实现了单一人机交互终端对振动台、高低温交变湿热试验箱和供电电源等设备的控制。灵敏度、线性度、重复性、滞回特性、温度特性、频响特性等参数指标,能够在控制终端通过分析测试数据同时获得,并以报表形式输出。在一般情况下,传感器测试效率可达50 只/h,大大高于传统的非自动化测试系统。经过评估测试,该测试系统还表现出较高的测试精度及稳定性和可靠性,测试误差小于2.5%。该自动化测试系统为进一步降低MEMS 传感器成本,促进其在物联网领域的大规模应用奠定了基础。
  • [1] Bishop Robert H. Practical Guide of LabVIEW 8[M]. Beijing: Electronic Industry Press, 2008: 32-132. (in Chinese) Bishop Robert H. LabVIEW 8实用教程[M]. 北京: 电子工业出版社, 2008: 32-132.
    [2]
    [3]
    [4] Fan Fuling, Han Jianxun. Performance analysis test system of piezoelectric accelerometer based on LabVIEW[J]. Instrument Technique and Sensor, 2009, 1: 21-25. (in Chinese) 范福玲, 韩建勋. 基于LabVIEW 的压电加速度传感器性能分析测试系统[J]. 仪表技术与传感器, 2009, 1: 21-25.
    [5]
    [6] Wang Lei, Dong Jingxin, Zhao Changde, et al. Design of spectrum analyzer based on visual instrument technique[J]. Journal of Chinese Inertial Technology, 2009, 17(1): 81-84. (in Chinese)王嫘, 董景新, 赵长德, 等. 基于虚拟仪器的微机电系统动态特性测试仪设计[J]. 中国惯性技术学报, 2009, 17(1):81-84.
    [7] Ruan Qizhen. I and LabVIEW: 10 Years of Programming Experience of an NI Engineer[M]. Beijing: Beijing University of Aeronautics and Astronautics Press, 2009: 3-33. (in Chinese) 阮奇桢. 我和LabVIEW: 一个NI 工程师的十年编程经验[M]. 北京: 北京航空航天大学出版社, 2009: 3-33.
    [8]
    [9]
    [10] Lei Zhenshan, Zhao Chenguang, Wei Li, et al. Based Tutoria of LabVIEW8.2[M]. Beijing: China Railway Publishing, 2008. (in Chinese) 雷振山, 赵晨光, 魏丽, 等. LabVIEW8.2 基础教程[M].北京: 中国铁道出版社, 2008.
    [11]
    [12] Zhou Yi, Zhao Xiuliang. Multi-channel temperature and humidity measurement system based on LabV I EW[J]. Journal of Hunan Institute of Science and Technology, 2009, 30(8): 56-59. (in Chinese) 周熠, 赵修良. 基于LabVIEW 的多路温湿度测量系统[J].湖南科技学院学报, 2009, 30(8): 56-59.
    [13] Yu Chengbo, Tao Hongyan. Sensors and Modern Detection Technology[M]. Beijing: Tsinghua University Press, 2009. (in Chinese) 余成波, 陶红艳. 传感器与现代检测技术[M]. 北京: 清华大学出版社, 2009.
  • [1] 王家伟, 李斌, 张检民, 冯国斌, 刘卫平, 韦成华, 韩永超, 王娜.  基于均匀化激光双面辐照的热力耦合测试方法研究 . 红外与激光工程, 2023, 52(1): 20220329-1-20220329-8. doi: 10.3788/IRLA20220329
    [2] 孙茜, 薛庆生, 张冬雪, 白皓轩.  水下目标物三维激光重建方法研究 . 红外与激光工程, 2022, 51(8): 20210693-1-20210693-7. doi: 10.3788/IRLA20210693
    [3] 张允祥, 李新, 黄冬, 张艳娜, 韦玮, 潘琰.  红外通道式野外辐射计的光机设计及性能测试 . 红外与激光工程, 2022, 51(12): 20220246-1-20220246-11. doi: 10.3788/IRLA20220246
    [4] 俞兵, 范纪红, 袁林光, 李燕, 郭磊, 王啸, 储隽伟, 秦艳, 孙宇楠, 张灯, 尤越, 金伟其.  4 K低温辐射计的吸收腔吸收率测试技术研究 . 红外与激光工程, 2022, 51(9): 20210984-1-20210984-8. doi: 10.3788/IRLA20210984
    [5] 史屹君, 武鸿涛, 刘文皓, 苏子博, 刘洋.  近红外光谱吸收技术的无线电子鼻设计 . 红外与激光工程, 2022, 51(5): 20210374-1-20210374-6. doi: 10.3788/IRLA20210374
    [6] 魏杨, 王绪泉, 魏永畅, 刘煦, 黄张成, 黄松垒, 方家熊.  微型近红外物联网节点的传感器输出数字化应用研究 . 红外与激光工程, 2019, 48(9): 904002-0904002(6). doi: 10.3788/IRLA201948.0904002
    [7] 黄婷, 缪存孝, 万双爱, 田晓倩, 李瑞, 叶建川.  基于LabVIEW的Xe核自旋横向弛豫时间自动测试系统 . 红外与激光工程, 2019, 48(10): 1013005-1013005(7). doi: 10.3788/IRLA201948.1013005
    [8] 吕淑媛, 杜绍勇.  基于LabVIEW的空芯光子晶体光纤CO2气体检测系统 . 红外与激光工程, 2018, 47(11): 1117002-1117002(6). doi: 10.3788/IRLA201847.1117002
    [9] 张法业, 姜明顺, 隋青美, 张雷, 曹玉强, 马国文, 魏钧涛.  基于柔性铰链结构的高灵敏度低频光纤光栅加速度传感器 . 红外与激光工程, 2017, 46(3): 317004-0317004(8). doi: 10.3788/IRLA201746.0317004
    [10] 吴伟辉, 肖冬明, 毛星.  金属零件自动超轻结构化设计及激光增材制造 . 红外与激光工程, 2016, 45(11): 1106009-1106009(8). doi: 10.3788/IRLA201645.1106009
    [11] 李营营, 江志坤, 王安琪.  用于稳定激光功率的数字控制系统 . 红外与激光工程, 2016, 45(4): 406004-0406004(5). doi: 10.3788/IRLA201645.0406004
    [12] 安其昌, 张景旭, 杨飞.  基于加速度信号的TMT三镜镜面jitter测量 . 红外与激光工程, 2015, 44(10): 2970-2974.
    [13] 范锦彪, 李玺, 徐鹏, 祖静.  g 值加速度校准激励脉冲的横向激光干涉测量方法 . 红外与激光工程, 2015, 44(2): 497-502.
    [14] 曹岚, 邓若汉, 龚海梅.  红外探测器寿命试验自动化真空系统设计 . 红外与激光工程, 2015, 44(6): 1712-1715.
    [15] 唐涛, 张桐, 黄永梅, 付承毓.  惯性稳定平台中的加速度反馈控制技术 . 红外与激光工程, 2014, 43(10): 3462-3466.
    [16] 彭鹏, 温廷敦, 许丽萍.  一种新结构介观压光型微加速度计 . 红外与激光工程, 2014, 43(10): 3363-3367.
    [17] 张晞, 张声艳.  数字闭环石英挠性加速度计信号检测技术 . 红外与激光工程, 2014, 43(10): 3356-3362.
    [18] 孙杜娟, 胡以华, 李乐.  金属化花粉红外、微波特性测试与分析 . 红外与激光工程, 2013, 42(9): 2531-2535.
    [19] 张来线, 孙华燕, 樊桂花, 赵延仲, 郑勇辉.  基于LabVIEW的高性能激光主动探测控制与处理系统设计 . 红外与激光工程, 2013, 42(12): 3239-3244.
    [20] 姜庆辉, 邱跃洪, 文延, 汪欢, 许维星.  AOTF偏振光谱成像数据采集系统设计 . 红外与激光工程, 2012, 41(1): 218-222.
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出版历程
  • 收稿日期:  2013-10-13
  • 修回日期:  2013-11-03
  • 刊出日期:  2014-06-25

基于虚拟仪器的多通道MEMS 加速度计自动化测试系统

    作者简介:

    明安杰(1980-),男,博士,主要从事MEMS传感器及其封测技术研究。Email:minganjie@ime.ac.cn

基金项目:

国家自然科学基金重点项目(61136006;61335008);国家863计划(2013AA041101);江苏省面上项目(BK21031099)

  • 中图分类号: TP23;TP312

摘要: 提出了一种7 通道并行测试的MEMS 加速度计自动化测试分析系统,该系统高度集成多种功能,实现了加速度计高效率测试与分析。在常规测试系统基础上,该系统通过上层应用程序Labview 实现了单一人机交互终端对振动台、高低温交变湿热试验箱和供电电源等设备的控制。灵敏度、线性度、重复性、滞回特性、温度特性、频响特性等参数指标,能够在控制终端通过分析测试数据同时获得,并以报表形式输出。在一般情况下,传感器测试效率可达50 只/h,大大高于传统的非自动化测试系统。经过评估测试,该测试系统还表现出较高的测试精度及稳定性和可靠性,测试误差小于2.5%。该自动化测试系统为进一步降低MEMS 传感器成本,促进其在物联网领域的大规模应用奠定了基础。

English Abstract

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