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SiO2薄膜TO与LO振动模式的数值研究

刘华松 罗征 刘幕霄 姜玉刚 王利栓 季一勤 张锋 陈德应

刘华松, 罗征, 刘幕霄, 姜玉刚, 王利栓, 季一勤, 张锋, 陈德应. SiO2薄膜TO与LO振动模式的数值研究[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(11): 3746-3750.
引用本文: 刘华松, 罗征, 刘幕霄, 姜玉刚, 王利栓, 季一勤, 张锋, 陈德应. SiO2薄膜TO与LO振动模式的数值研究[J]. 红外与激光工程, 2014, 43(11): 3746-3750.
Liu Huasong, Luo Zheng, Liu Muxiao, Jiang Yugang, Wang Lishuan, Ji Yiqin, Zhang Feng, Chen Deying. Numerical experiment research on TO and LO vibrational modes of SiO2 film[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(11): 3746-3750.
Citation: Liu Huasong, Luo Zheng, Liu Muxiao, Jiang Yugang, Wang Lishuan, Ji Yiqin, Zhang Feng, Chen Deying. Numerical experiment research on TO and LO vibrational modes of SiO2 film[J]. Infrared and Laser Engineering, 2014, 43(11): 3746-3750.

SiO2薄膜TO与LO振动模式的数值研究

基金项目: 

国家自然科学基金(61235011);国家重大科学仪器设备开发专项资金(2012YQ040164);天津市科委项目(14JCQNJC02400,13JCYBJC17300)

详细信息
    作者简介:

    刘华松(1980-),男,研究员,博士后,主要从事激光薄膜的设计、制备与测试技术方面的研究.Email:liuhuasong@hotmail.com

  • 中图分类号: O484

Numerical experiment research on TO and LO vibrational modes of SiO2 film

  • 摘要: 对Si-SiO2基底薄膜系统进行数值实验,将SiO2薄膜的能损函数与透过率光谱和反射椭圆偏振光谱进行对比,讨论了在红外透过率光谱和反射椭偏光谱中激发的SiO2薄膜TO和LO振动模式.在正入射的红外透过率光谱中,仅能发现SiO2薄膜的TO振动模式;在倾斜入射的s偏振透过率光谱中没有激发的LO模式;在倾斜入射的p偏振透过率光谱中,当入射角小于60时,三个TO振动模式全部被激发;当入射角大于60时,三个LO振动模式都被激发,而TO模式仅能激发两个.在反射椭偏光谱中,TO模式未被激发,仅能激发LO模式.在透过率光谱和反射椭偏谱中,振动频率分别具有向高波数和低波数方向频移的现象.
  • [1] Ji Yiqin, Liu Huasong, Wang Zhanshan, et al. Influence of interface layer on antireflection coating for laser optics[J]. Infrared and Laser Engineering, 2011, 40(10): 2003-2008.(in Chinese) 季一勤, 刘华松, 王占山, 等. 界面层对激光减反膜的影响研究[J]. 红外与激光工程, 2011, 40(10): 2003-2008.
    [2]
    [3]
    [4] Lisovskii I P, Litovchenko V G, Lozinskii V G, et al. IR spectroscopic investigation of SiO2 film structure[J]. Thin Solid Films, 1992, 213: 164-169.
    [5]
    [6] Tabata A, Matsuno N, Suzuoki Y, et al. Optical properties and structure of SiO2 films prepared by ion-beam sputtering [J]. Thin Solid Films, 1996, 289: 84-89.
    [7] Palik E D. Hand Book of Optical Constant of Solids II[M]. San Diego: Academic Press, 1991: 224-251.
    [8]
    [9] Pliskin W A. Comparison of properties of dielectric films deposited by various methods[J]. J Vac Sci Technol, 1977, 14(5): 1064-1081.
    [10]
    [11] Ji Yiqin, Jiang Yugang, Liu Huasong, et al. Analysis on effects of thermal treatment on structural characteristic of ion beam sputtering SiO2 films[J]. Infrared and Laser Engineering, 2013, 42(2): 418-422. (in Chinese) 季一勤, 姜玉刚, 刘华松, 等. 热处理对离子束溅射 SiO2薄膜结构特性的影响分析[J]. 红外与激光工程, 2013, 42(2): 418-422.
    [12]
    [13]
    [14] Brunet-Bruneau A, Fisson S, Vuye G, et al. Change of TO and LO mode frequency of evaporated SiO2 films during aging in air [J]. J Appl Phys, 2000, 87(10): 7303-7309.
    [15] Brunet-Bruneau A, Fisson S, Gallas B, et al. Infrared ellipsometric study of SiO2 films: relationship between LO mode frequency and porosity[J]. Thin Solid Films, 2000, 377-378(1-2): 57-61.
    [16]
    [17] Martinet C, Devin R A B. Comparison of experimental and calculated TO and LO oxygen vibrational modes in thin SiO2 films[J]. Journal of Non-Crystalline Solids, 1995, 187: 96-100.
    [18]
    [19] Macleod H A. Thin Film Optical Filters[M]. Bristol: Adam Hilger, 1986: 35.
    [20]
    [21] Gunde M K. Vibrational modes in amorphous silicon dioxide[J]. Physica B, 2000, 292: 286-295.
  • [1] 韩凯, 崔文达, 奚小明, 李志鸿.  弱导阶跃折射率光纤中的模式简并问题 . 红外与激光工程, 2020, 49(4): 0405001-0405001-11. doi: 10.3788/IRLA202049.0405001
    [2] 姜玉刚, 刘小利, 刘华松, 王利栓, 李士达, 陈丹, 刘丹丹, 姜承慧, 季一勤.  不同沉积方式SiO2薄膜的自然时效特性 . 红外与激光工程, 2019, 48(5): 521001-0521001(6). doi: 10.3788/IRLA201948.0521001
    [3] 袁宇阳, 张慧芳, 张学迁, 谷建强, 胡放荣, 熊显名, 张文涛, 韩家广.  THz超材料的明暗模式耦合效应 . 红外与激光工程, 2018, 47(1): 121002-0121002(11). doi: 10.3788/IRLA201847.0121002
    [4] 宋明珠, 曲宏松, 张贵祥, 金光.  航天相机环扫成像模式设计 . 红外与激光工程, 2018, 47(7): 718001-0718001(8). doi: 10.3788/IRLA201847.0718001
    [5] 付群健, 于淼, 常天英, 张瑾, 罗政纯, 王旭, 刘珉含, 崔洪亮.  相位敏感光时域反射系统模式识别方法综述 . 红外与激光工程, 2018, 47(7): 722001-0722001(14). doi: 10.3788/IRLA201847.0722001
    [6] 冷健, 季一勤, 刘华松, 庄克文, 刘丹丹.  热处理对双离子束溅射SiO2薄膜力学及热力学特性的影响 . 红外与激光工程, 2018, 47(6): 621002-0621002(6). doi: 10.3788/IRLA201847.0621002
    [7] 刘志超, 郑轶, 潘峰, 王震, 王健, 许乔.  1064nm激光预处理对HfO2/SiO2反射膜损伤形态转化影响研究 . 红外与激光工程, 2017, 46(6): 606003-0606003(7). doi: 10.3788/IRLA201746.0606003
    [8] 刘华松, 杨霄, 刘丹丹, 王利栓, 姜承慧, 姜玉刚, 季一勤, 张锋, 陈德应.  SiO2薄膜光学常数物理模型 . 红外与激光工程, 2017, 46(9): 921003-0921003(6). doi: 10.3788/IRLA201746.0921003
    [9] 邢尔军, 刘艳, 姜姗姗.  空心光纤的矢量模式特性分析 . 红外与激光工程, 2015, 44(9): 2795-2799.
    [10] 曲文艳, 冯飞, 宋家争, 张同意.  压缩态光场实验中的模式匹配与偏频锁定技术研究 . 红外与激光工程, 2015, 44(9): 2655-2660.
    [11] 龚绍琦, 孙海波, 王少峰, 国文哲, 李云梅.  热红外遥感中大气透过率的研究(二): 大气透过率模式的应用 . 红外与激光工程, 2015, 44(7): 2013-2020.
    [12] 龚绍琦, 孙海波, 王少峰, 国文哲, 李云梅.  热红外遥感中大气透过率的研究(一):大气透过率模式的构建 . 红外与激光工程, 2015, 44(6): 1692-1698.
    [13] 孙刚, 翁宁泉, 张彩云, 高慧, 吴毅.  基于NOAA模式的典型地区大气湍流高度分布 . 红外与激光工程, 2014, 43(2): 388-393.
    [14] 吴谨, 李斐斐, 赵志龙, 杨兆省, 王东蕾, 唐永新, 苏园园, 梁娜.  条带模式合成孔径激光雷达不依赖PGA的高分辨率成像演示 . 红外与激光工程, 2014, 43(11): 3559-3564.
    [15] 杨利红, 王涛, 韩锦涛, 苏俊宏.  脉冲激光诱导TiO2/SiO2薄膜表面损伤性能实验 . 红外与激光工程, 2014, 43(2): 365-368.
    [16] 刘华松, 傅翾, 季一勤, 张锋, 陈德应, 姜玉刚, 刘丹丹, 王利栓, 冷健, 庄克文.  离子束溅射制备氧化物薄膜沉积速率调整方法 . 红外与激光工程, 2014, 43(7): 2192-2197.
    [17] 姜玉刚, 王利栓, 刘华松, 刘丹丹, 姜承慧, 羊亚平, 季一勤.  热处理对SiO2薄膜折射率和吸收特性的影响分析 . 红外与激光工程, 2014, 43(10): 3334-3337.
    [18] 熊兴隆, 李猛, 蒋立辉, 冯帅.  极点均值型经验模式分解及其去噪应用 . 红外与激光工程, 2013, 42(6): 1628-1634.
    [19] 刘志明, 陈坤峰, 高业胜, 史学舜, 简水生.  阵列波导光栅中自由传播区模式的有效折射率 . 红外与激光工程, 2013, 42(8): 2146-2149.
    [20] 季一勤, 姜玉刚, 刘华松, 王利栓, 刘丹丹, 姜承慧, 羊亚平, 樊荣伟, 陈德应.  热处理对离子束溅射SiO2薄膜结构特性的影响分析 . 红外与激光工程, 2013, 42(2): 418-422.
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出版历程
  • 收稿日期:  2014-03-05
  • 修回日期:  2014-04-07
  • 刊出日期:  2014-11-25

SiO2薄膜TO与LO振动模式的数值研究

    作者简介:

    刘华松(1980-),男,研究员,博士后,主要从事激光薄膜的设计、制备与测试技术方面的研究.Email:liuhuasong@hotmail.com

基金项目:

国家自然科学基金(61235011);国家重大科学仪器设备开发专项资金(2012YQ040164);天津市科委项目(14JCQNJC02400,13JCYBJC17300)

  • 中图分类号: O484

摘要: 对Si-SiO2基底薄膜系统进行数值实验,将SiO2薄膜的能损函数与透过率光谱和反射椭圆偏振光谱进行对比,讨论了在红外透过率光谱和反射椭偏光谱中激发的SiO2薄膜TO和LO振动模式.在正入射的红外透过率光谱中,仅能发现SiO2薄膜的TO振动模式;在倾斜入射的s偏振透过率光谱中没有激发的LO模式;在倾斜入射的p偏振透过率光谱中,当入射角小于60时,三个TO振动模式全部被激发;当入射角大于60时,三个LO振动模式都被激发,而TO模式仅能激发两个.在反射椭偏光谱中,TO模式未被激发,仅能激发LO模式.在透过率光谱和反射椭偏谱中,振动频率分别具有向高波数和低波数方向频移的现象.

English Abstract

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