对包络变化及移相误差不敏感的宽带光八步移相算法

韩志刚; 陈磊

对包络变化及移相误差不敏感的宽带光八步移相算法

韩志刚¹,
陈磊^1,2

1.
南京理工大学先进发射协同创新中心,江苏南京 210094;
2.
南京理工大学电光学院,江苏南京 210094

基金项目:

国家自然科学基金(U1231111,61108041)

详细信息

作者简介:
韩志刚(1986-),男,博士生,主要从事精密光学测试技术方面的研究.Email:hannjust@163.com

中图分类号: TH741.1

Eight-step phase shifting algorithm for broadband light interferometry insensitive to envelop variation and phase shifting error

Han Zhigang¹,
Chen Lei^1,2

1.
Advanced Lanching Co-innovation Center,Nanjing University of Science and Technology,Nanjing 210094,China;
2.
School of Electronic and Optical Engineering,Nanjing University of Science and Technology,Nanjing 210094,China

摘要: 提出了一种用于测量微观表面三维形貌的宽带光八步移相算法.该算法通过定位宽带光干涉条纹的零相位差位置实现微观轮廓的测量.计算宽带光移相干涉信号中相邻采样点的相位差得到实际移相间隔,从而实现实际移相量的在线标定以及移相误差的校正.分析了倾斜SiC平面的移相干涉条纹,计算结果的标准均方差为1.646 nm,与不存在移相误差时的计算结果吻合.宽带光八步移相算法对干涉包络的变化不敏感,能够抑制移相误差,是一种实用、高精度的微观表面轮廓测量方法.
- 光学测量 /
- 宽带光干涉 /
- 显微测量术 /
- 移相术
Abstract: An eight-step broadband light phase shifting algorithm was proposed for the determination of three dimensional micro textures. The actual phase step was calibrated to eliminate the phase shifting error, from the difference between the phase values of two neighbored sampling of the broadband light interference signal. The microscopic interference fringes with phase shifting error of the oblique SiC flat were analyzed. The standard deviation is 1.646 nm, showing excellent agreement with the result obtained without phase shifting error. The proposed method, insensitive to envelop variation and phase shifting error of the interference signal, is practical and accurate for understanding three dimensional micro textures.
- optical testing /
- broadband interferometry /
- microscopy /
- phase shifting technique

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对包络变化及移相误差不敏感的宽带光八步移相算法

1. 南京理工大学先进发射协同创新中心,江苏南京 210094;

2. 南京理工大学电光学院,江苏南京 210094

作者简介:
韩志刚(1986-),男,博士生,主要从事精密光学测试技术方面的研究.Email:hannjust@163.com

English Abstract

Eight-step phase shifting algorithm for broadband light interferometry insensitive to envelop variation and phase shifting error

1. Advanced Lanching Co-innovation Center,Nanjing University of Science and Technology,Nanjing 210094,China;

2. School of Electronic and Optical Engineering,Nanjing University of Science and Technology,Nanjing 210094,China

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作者简介: 韩志刚(1986-),男,博士生,主要从事精密光学测试技术方面的研究.Email:hannjust@163.com

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对包络变化及移相误差不敏感的宽带光八步移相算法

1. 南京理工大学 先进发射协同创新中心,江苏 南京 210094; 2. 南京理工大学 电光学院,江苏 南京 210094

作者简介: 韩志刚(1986-),男,博士生,主要从事精密光学测试技术方面的研究.Email:hannjust@163.com

English Abstract

Eight-step phase shifting algorithm for broadband light interferometry insensitive to envelop variation and phase shifting error

1. Advanced Lanching Co-innovation Center,Nanjing University of Science and Technology,Nanjing 210094,China; 2. School of Electronic and Optical Engineering,Nanjing University of Science and Technology,Nanjing 210094,China

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作者简介:
韩志刚(1986-),男,博士生,主要从事精密光学测试技术方面的研究.Email:hannjust@163.com

1. 南京理工大学先进发射协同创新中心,江苏南京 210094;

2. 南京理工大学电光学院,江苏南京 210094

作者简介:
韩志刚(1986-),男,博士生,主要从事精密光学测试技术方面的研究.Email:hannjust@163.com

1. Advanced Lanching Co-innovation Center,Nanjing University of Science and Technology,Nanjing 210094,China;

2. School of Electronic and Optical Engineering,Nanjing University of Science and Technology,Nanjing 210094,China