宽带啁啾镜的制备及其损伤特性研究

谢雨江; 张锦龙; 王占山; 刘华松; 焦红飞

宽带啁啾镜的制备及其损伤特性研究

谢雨江^1,2,
张锦龙^1,2, ,,
王占山^1,2,
刘华松³,
焦红飞^1,2

1.
先进微结构材料教育部重点实验室,上海 200092;
2.
同济大学精密光学工程技术研究所,上海 200092;
3.
天津津航技术物理研究所天津市薄膜光学重点实验室,天津 300192

基金项目:

国家自然科学基金(61235011)

详细信息

作者简介:
谢雨江(1988-),男,硕士生,主要从事薄膜光学相关方面的研究。Email:xieyujiang123@163.com

通讯作者: 张锦龙(1982-),男,副教授,硕士生导师,主要从事薄膜光学及激光与物质相互作用等方面的研究。Email:jinlong@tongji.edu.cn

中图分类号: O484

Preparation and damage of wideband chirp mirrors

1.
Key Laboratory of Advanced Micro-Structure Materials,Ministry of Education,Shanghai 200092,China;
2.
Institute of Precision Optical Engineering,Tongji University,Shanghai 200092,China;
3.
Tianjin Key Laboratory of Optical Thin Film,Tianjin Jinhang Institute of Technical Physics,Tianjin 300192,China

摘要: 基于损伤特性、应力特性较好的电子束蒸发技术,制备了Ta2O5/SiO2和HfO2/SiO2两种带宽不同、电场分布不同的啁啾镜,利用中心波长为1 030 nm,脉宽为350 fs的激光脉冲对两种样品进行了损伤测试。实验结果表明:材料特性及电场分布是影响啁啾镜损伤阈值的主要因素,通过膜系设计降低电场分布可以制备带宽更宽、损伤阈值与HfO2/SiO2啁啾镜相近的Ta2O5/SiO2啁啾镜。利用基于导带电子数密度的理论模型对此现象进行了解释,同时对啁啾镜的损伤形貌进行了观测、分析。
- 啁啾镜 /
- 激光诱导损伤 /
- 飞秒激光 /
- 离化作用 /
- 电场
Abstract: The HfO2/SiO2 and Ta2O5/SiO2 chirped mirrors with different electric field distribution were fabricated by electron beam evaporation with good damage characteristics and stress features. The laser-induced damage test of samples was performed by laser pulses with duration 350fs, center wavelength 1 030 nm. The results show that the material characteristics and electric field distribution are the key factors which can influence the damage threshold. Ta2O5/SiO2 chirped mirror, which has much wider GDD bandwidth and has the same damage threshold as HfO2/SiO2 chirped mirror can be fabricated by reducing the peak intensity of field in the film stack. This phenomenon was illustrated by the theoretical model of conduction band electron density while the breakdown mechanism of chirped mirrors was explained and damage morphologies of samples were analyzed.
- chirp mirrors /
- laser induced damage /
- femtosecond laser /
- ionization /
- electric field

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宽带啁啾镜的制备及其损伤特性研究

作者简介:
谢雨江(1988-),男,硕士生,主要从事薄膜光学相关方面的研究。Email:xieyujiang123@163.com

通讯作者: 张锦龙(1982-),男,副教授,硕士生导师,主要从事薄膜光学及激光与物质相互作用等方面的研究。Email:jinlong@tongji.edu.cn

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宽带啁啾镜的制备及其损伤特性研究

1. 先进微结构材料教育部重点实验室,上海 200092;

2. 同济大学精密光学工程技术研究所,上海 200092;

3. 天津津航技术物理研究所天津市薄膜光学重点实验室,天津 300192

作者简介:
谢雨江(1988-),男,硕士生,主要从事薄膜光学相关方面的研究。Email:xieyujiang123@163.com

通讯作者: 张锦龙(1982-),男,副教授,硕士生导师,主要从事薄膜光学及激光与物质相互作用等方面的研究。Email:jinlong@tongji.edu.cn

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作者简介: 谢雨江(1988-),男,硕士生,主要从事薄膜光学相关方面的研究。Email:xieyujiang123@163.com

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宽带啁啾镜的制备及其损伤特性研究

1. 先进微结构材料教育部重点实验室,上海 200092; 2. 同济大学 精密光学工程技术研究所,上海 200092; 3. 天津津航技术物理研究所 天津市薄膜光学重点实验室,天津 300192

作者简介: 谢雨江(1988-),男,硕士生,主要从事薄膜光学相关方面的研究。Email:xieyujiang123@163.com

通讯作者: 张锦龙(1982-),男,副教授,硕士生导师,主要从事薄膜光学及激光与物质相互作用等方面的研究。Email:jinlong@tongji.edu.cn

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作者简介:
谢雨江(1988-),男,硕士生,主要从事薄膜光学相关方面的研究。Email:xieyujiang123@163.com

1. 先进微结构材料教育部重点实验室,上海 200092;

2. 同济大学精密光学工程技术研究所,上海 200092;

3. 天津津航技术物理研究所天津市薄膜光学重点实验室,天津 300192

作者简介:
谢雨江(1988-),男,硕士生,主要从事薄膜光学相关方面的研究。Email:xieyujiang123@163.com