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平差理论在大口径光学元件轮廓检测中的应用

杨飞 刘国军 安其昌

杨飞, 刘国军, 安其昌. 平差理论在大口径光学元件轮廓检测中的应用[J]. 红外与激光工程, 2015, 44(10): 2965-2969.
引用本文: 杨飞, 刘国军, 安其昌. 平差理论在大口径光学元件轮廓检测中的应用[J]. 红外与激光工程, 2015, 44(10): 2965-2969.
Yang Fei, Liu Guojun, An Qichang. Application of adjustment theory in large aperture mirror surface profile metrology[J]. Infrared and Laser Engineering, 2015, 44(10): 2965-2969.
Citation: Yang Fei, Liu Guojun, An Qichang. Application of adjustment theory in large aperture mirror surface profile metrology[J]. Infrared and Laser Engineering, 2015, 44(10): 2965-2969.

平差理论在大口径光学元件轮廓检测中的应用

基金项目: 

国家自然科学基金(11403022)

详细信息
    作者简介:

    杨飞(1982-),男,副研究员,博士生,主要从事大口径光电望远镜光机系统方面的研究。Email:yangflying@163.com;刘国军(1964-),男,教授,博士,主要从事光电子器件与技术方面的研究。Email:gjliu626@126.com

    杨飞(1982-),男,副研究员,博士生,主要从事大口径光电望远镜光机系统方面的研究。Email:yangflying@163.com;刘国军(1964-),男,教授,博士,主要从事光电子器件与技术方面的研究。Email:gjliu626@126.com

  • 中图分类号: TH751

Application of adjustment theory in large aperture mirror surface profile metrology

  • 摘要: 为了更好地进行大口径光学元件轮廓测量,以激光跟踪仪作为测量的工具,引入测量平差理论对测量数据进行处理,以提高光学元件毛坯制作、铣磨加工阶段的轮廓测量精度。首先,对拟合误差的公式进行了推导,得出影响拟合精度的因素;之后,对于大口径元件轮廓测量的具体检测模型提出了提高拟合精度的方法;最后,对于实际的2 m量级口径的SiC主镜进行了实际的测量与拟合,并从F数、拟合残差、结构函数等角度分析了平差结果。所提出的方法对于大口径元件的加工检测具有较好的指导意义。
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出版历程
  • 收稿日期:  2015-02-05
  • 修回日期:  2015-03-11
  • 刊出日期:  2015-10-25

平差理论在大口径光学元件轮廓检测中的应用

    作者简介:

    杨飞(1982-),男,副研究员,博士生,主要从事大口径光电望远镜光机系统方面的研究。Email:yangflying@163.com;刘国军(1964-),男,教授,博士,主要从事光电子器件与技术方面的研究。Email:gjliu626@126.com

    杨飞(1982-),男,副研究员,博士生,主要从事大口径光电望远镜光机系统方面的研究。Email:yangflying@163.com;刘国军(1964-),男,教授,博士,主要从事光电子器件与技术方面的研究。Email:gjliu626@126.com

基金项目:

国家自然科学基金(11403022)

  • 中图分类号: TH751

摘要: 为了更好地进行大口径光学元件轮廓测量,以激光跟踪仪作为测量的工具,引入测量平差理论对测量数据进行处理,以提高光学元件毛坯制作、铣磨加工阶段的轮廓测量精度。首先,对拟合误差的公式进行了推导,得出影响拟合精度的因素;之后,对于大口径元件轮廓测量的具体检测模型提出了提高拟合精度的方法;最后,对于实际的2 m量级口径的SiC主镜进行了实际的测量与拟合,并从F数、拟合残差、结构函数等角度分析了平差结果。所提出的方法对于大口径元件的加工检测具有较好的指导意义。

English Abstract

参考文献 (21)

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