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基于叉丝阵列的准分子激光MOPA系统多路光束自动准直

邵碧波 马连英 钱航 王大辉 赵学庆 张永生 冯刚 易爱平

邵碧波, 马连英, 钱航, 王大辉, 赵学庆, 张永生, 冯刚, 易爱平. 基于叉丝阵列的准分子激光MOPA系统多路光束自动准直[J]. 红外与激光工程, 2015, 44(12): 3507-3511.
引用本文: 邵碧波, 马连英, 钱航, 王大辉, 赵学庆, 张永生, 冯刚, 易爱平. 基于叉丝阵列的准分子激光MOPA系统多路光束自动准直[J]. 红外与激光工程, 2015, 44(12): 3507-3511.
Shao Bibo, Ma Lianying, Qian Hang, Wang Dahui, Zhao Xueqing, Zhang Yongsheng, Feng Gang, Yi Aiping. Automatic alignment of multiplexed beams of excimer laser MOPA system based on crosshair array[J]. Infrared and Laser Engineering, 2015, 44(12): 3507-3511.
Citation: Shao Bibo, Ma Lianying, Qian Hang, Wang Dahui, Zhao Xueqing, Zhang Yongsheng, Feng Gang, Yi Aiping. Automatic alignment of multiplexed beams of excimer laser MOPA system based on crosshair array[J]. Infrared and Laser Engineering, 2015, 44(12): 3507-3511.

基于叉丝阵列的准分子激光MOPA系统多路光束自动准直

基金项目: 

激光与物质相互作用国家重点实验室基金(SKLLIM1106)

详细信息
    作者简介:

    邵碧波(1962-),女,高级实验师,主要从事激光技术及激光参数测量等方面的研究。Email:shaobibo@nint.ac.cn

  • 中图分类号: TN248.2

Automatic alignment of multiplexed beams of excimer laser MOPA system based on crosshair array

  • 摘要: 为了实现激光在放大器多程放大及靶面高指向精度,介绍了高效准分子激光系统多路光束自动准直技术的研究工作。提出利用双叉丝阵列像传递光路,分别在输入光路和输出光路上设置叉丝阵列作为近远场基准,解决了光路中无天然准直基准及多路并行准直等问题。搭建了预放大器II的三路双程激光自动准直系统,验证了该方法的可行性,并利用成像系统和反馈控制结构实现了自动准直系统的联调实验。
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出版历程
  • 收稿日期:  2015-04-09
  • 修回日期:  2015-05-08
  • 刊出日期:  2015-12-25

基于叉丝阵列的准分子激光MOPA系统多路光束自动准直

    作者简介:

    邵碧波(1962-),女,高级实验师,主要从事激光技术及激光参数测量等方面的研究。Email:shaobibo@nint.ac.cn

基金项目:

激光与物质相互作用国家重点实验室基金(SKLLIM1106)

  • 中图分类号: TN248.2

摘要: 为了实现激光在放大器多程放大及靶面高指向精度,介绍了高效准分子激光系统多路光束自动准直技术的研究工作。提出利用双叉丝阵列像传递光路,分别在输入光路和输出光路上设置叉丝阵列作为近远场基准,解决了光路中无天然准直基准及多路并行准直等问题。搭建了预放大器II的三路双程激光自动准直系统,验证了该方法的可行性,并利用成像系统和反馈控制结构实现了自动准直系统的联调实验。

English Abstract

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